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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ! D \u 2h }~akVh`3 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Il8,g+W] 'f
"KV | 所需工具：Grating Toolbox Basic 1FPt%{s 3 c@&`!e 相关Tutorials：G.001; G.014 m 4r!Ck| 建模任务 $GI
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G 9YfJ?I 理想平面波照射 bzC| aUGM eF06B'uL ?b,x;hIO  2d:5~fEJp P L}c1Ud C@ns`Eh8w 镀膜倾斜光栅 目标平面 H?a1XEY/ h;lg^zlTb 周期：10um &|
guPZ 厚度：10um |n/qJIE6 倾斜角度：20度 e{}o QK GI
; 光栅的参数 li +MnL t T! F 0_< —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Af`qe+0E —填充因子 2—后面的介质 Ob~7r*q —膜层厚度 3—膜层材料 {: H&2iF —光栅厚度 .:U`4 ->E |RS(QU<QE ~B2,edkM  S!r,p };
4]P5k6 nV CBrC
设置层数和转折点 d7
W[.M$] #=81`u pOKs VS%fT  2 设置层数和转折点以确定膜层 tF&g3)D:NV }NgevsV>; 9()d7Y#d/` 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Q/2(qD; u |vUjoa'.7E Zai:?%^ 实现可编程光栅 oWP3 Y. _X e" + -L6YLe%w  [zw0'-h.
0hB9D{`,{ >DSD1i+N 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9!u&8#i  # ^q87y x Rp;y* 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Taqq EL 921 m'WE 1. S?(1e" 9:v0gE+.  W3M1> ( 3X>x` 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u$%;03hJ  ]K!NLvz \ y}!yrQ 2 双击Data Series Diagram gZ W(z =g3o@WD/G 采样结果 7Z R0cJw;  +v{g'
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. M7PG s-l /YrBnccqD
QQ：2284816954 备注：光学
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