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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 k
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s!!Sbpq 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Z%5nVsm:G MziZN^( 所需工具：Grating Toolbox Basic @>fO;* X' ) Zm+ 相关Tutorials：G.001; G.014 ]osx. 建模任务 poQdI?ed, {(z(NgXG/ 理想平面波照射 S2&9# 6 hzQ+9-qA +rsl(
08FY  2Za ,4' 8VuZ,!WH# o"#TZB+k 镀膜倾斜光栅 目标平面 B3 dA%\' o)#q9Vk%b 周期：10um & &" 'dL 厚度：10um nx-1* 倾斜角度：20度 w3<"g&n| L n= >@ 光栅的参数 | 7 m5P@X sB( `[5I —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 p:J RQT"A —填充因子 2—后面的介质 p ,w|=@= —膜层厚度 3—膜层材料 B6ed,($& —光栅厚度 6h2x~@ ,2,SG/BB @P_C%}(<  4 `8IFK
* H5PT t=Z& eKDC 设置层数和转折点 >+:r ' my ; \D,M2vC~G  2 设置层数和转折点以确定膜层 ]-um\A4f 8
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8!=~K 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 [ `.3f'")j .-SF$U_P*a %2Epgh4? 实现可编程光栅 9H h~ n R? -BA"3 S -DP8NTl"  IXZ(]&we
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j:3EpD@GS 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） A p]4QqU  ,`<^F:xl f?%qUD_# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (2z% U VQ`,#`wV uAu( +zV2 (8CCesy&  !2} rt DE hZAG (Z 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） IQ3n @  Z#-k.|} 99^A T*ByY 2 双击Data Series Diagram >0P UWr$8 /Q?~Q0{)es 采样结果 aS,a_b]  +0]'| t F>
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. !|B3i_n $
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QQ：2284816954 备注：光学
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