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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 s? irT;= 'fqX^v5n 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ?B dhn{_ Br,^4w[Hq 所需工具：Grating Toolbox Basic Nzo; j0 [ ^4\h Z 相关Tutorials：G.001; G.014 B`)gXqBt 建模任务 j<HBzqP%6 ds*N1[
* 理想平面波照射 r ^m8kYezQ nI_43rG:Uf QQnpy.`:/  =u5a'bp0;; IsC`r7 d=q& % gqN 镀膜倾斜光栅 目标平面 !Rq.L R8*z}xy{ 周期：10um j0XS12eM 厚度：10um 8K]5fkC| 倾斜角度：20度 ) H'SU_YU n I63Ns 光栅的参数 0I`)<o- VDyQv^= # —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 s?:&# —填充因子 2—后面的介质 )nK-39,G —膜层厚度 3—膜层材料 #s\ HiO$BT —光栅厚度 cL ]vJ`?Ih Q||v U j>{Dbl:#2  YPV@/n[N
Em%0C@C &tAh RMa 设置层数和转折点 x'4q`xDa ?>p (* xksd&X:  2 设置层数和转折点以确定膜层 y .O% X{ZcJ8K E=H>|FgS 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 g[NmVY-o b6mSPH @ \-]zXKl2k 实现可编程光栅 e;*GbXd| = 02$ Dwr :"vW;$1
}  4dEfXrMf
0bR)]"K B#|c$s{ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H 8'q Y  %M=Ob k _V.Mm A 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EO_:C9=d{ y.xyr"-Q nRE(Rb Re tRl01&0S  ho'Ihep,L U9*uXD 1\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #cnh
~O  ^5MPK@)c,/ \W,,@ - 2 双击Data Series Diagram pM|m*k Y-&SZI4H 采样结果 oc^j<!Rh  vhEqHjR:
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 3.t
j%+ }MCh$
QQ：2284816954 备注：光学
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