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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 r h*Pl]'3z ZQT14. $L 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Gy9+-7"V 1 cE3uA7 所需工具：Grating Toolbox Basic x1m J&D ubV|s|J 相关Tutorials：G.001; G.014 Hno:"k? 建模任务 $73j*@EQA 8>Xyz`$kH 理想平面波照射 f>)k<-<yj 6#xP[hlR[ q$EicH}k8  K~A$>0c L\||#w l`L}*Q- 5 镀膜倾斜光栅 目标平面 #>-_z QE&rpF7l{ 周期：10um ^CUeq"GYoZ 厚度：10um AZ)H/#be 倾斜角度：20度 4h >Dpml bk E4{P" 光栅的参数 *0)vsBi hKw4 [wB] —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 5;+OpB —填充因子 2—后面的介质 N" 2Ire —膜层厚度 3—膜层材料 U2=l; R{ —光栅厚度 ]/!#: ? 5e:w?&g@ Sx Lu<  k%V#{t.
75 ~>[JM )s6pOxWx 设置层数和转折点 .P\wE"; *TY?*H $LLkYOwI  2 设置层数和转折点以确定膜层 SMVn 2H@ V`Z-m-V~1 DVxW2 J 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 V 6Kw71'9 Q=lQ y u1F@VV{ 实现可编程光栅 Jrd: 6Z 1BK-uv: G2Eke;  : T(3!}4
1.YDIB|| (]0JI1
d 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） lz.ta!6  p \66`\\l GGcN aW' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） M=hxOta mGZ^K,)&OR FU9q|!2Y F$P8"q+  Md_S};!QN6 ,)3%@MwO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 6m_
fEkS[  UU')V '+LbFGrO3 2 双击Data Series Diagram \<WRk4D ~;nh|v/e 采样结果 /?<o?IR~6  ]ovP^]]V
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. S%zn {1F Tg|0!0qD]F
QQ：2284816954 备注：光学
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