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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 tW;:- DK m Z 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 6q>+!kXh RL[E X5U 所需工具：Grating Toolbox Basic Xe+,wW3YF 4m-I5!=O 相关Tutorials：G.001; G.014 LG]3hz9^9 建模任务 C;~*pMAYe p#KW$OQ]8 理想平面波照射 ~l~Tk6E M mNYl@+:psj 7P7b8 ]  QjPj[c i5F:r| w-$[>R[hw 镀膜倾斜光栅 目标平面
d^|0R ^ZTGJ(j7~ 周期：10um H UWxPIu 厚度：10um 6>
{r6ixs1 倾斜角度：20度 B%\g kl &2I*0 光栅的参数 :!zC "d9@ y/c%+ Ca/ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 $ex!!rqN| —填充因子 2—后面的介质 ~]L}p —膜层厚度 3—膜层材料 W0cgI9=9 —光栅厚度 Wd(86idnc 4O{Avt7C 'YSuQP>  vs&8wb S)
Z"I/ NG iU KbxR
Lx]w 设置层数和转折点 y:}sD_m0W o!&W sD T,JA#Rk|1N  2 设置层数和转折点以确定膜层 \.s` n2.w w>~M}Ahj u2sR.%2U< 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 RHNk%9 QYThW7 S +3^Na Y`Y 实现可编程光栅 $EBb"+Y'T )%JD8;[Jq P -Fg^tl  +2T! z=
-p# ,5} b1 !@v+ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {0's~U+@  ehOs9b 6f] r Q9 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） p#H]\ P' 68 x}w
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^Omfe 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9 qH[o?]  {j6g@Vd6lx 8B@J Fpg^ 2 双击Data Series Diagram zk>h u<_ =s[ &;B`s 采样结果 elbG\qXBp  (fXq<GXAn/
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. T"W9YpZ /PC` 0/b
QQ：2284816954 备注：光学
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