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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 R'1"`@f G s;[64ca]Q 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \iwUsv>SB ^^Q> AfTR. 所需工具：Grating Toolbox Basic A.P*@}9 d/?0xL W 相关Tutorials：G.001; G.014 Yj>\WH 建模任务 G|$n,X1O( MIv,$ 理想平面波照射 >&qa T*_g BGT`) WP ,+g0#8?p^x  mc6W" M
w+4atO4[ ~;uW)
[ 镀膜倾斜光栅 目标平面 OdJ=4 x> n22OPvp 周期：10um wB*}XJah 厚度：10um j62oA$z 倾斜角度：20度 0[O lJMVf 6<Z k%[7t 光栅的参数 wMiRN2\^ "8yD qm —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 u z>V —填充因子 2—后面的介质 8g
2'[ci$q —膜层厚度 3—膜层材料 kh*td(pfP9 —光栅厚度 <C7/b#4>\ cT^x^% SL%
Ec%9Y  < d hBO
^t)alN Gos I#t# %!InH 设置层数和转折点 C'0=eel [ oo,3mat2C H h;o<N>U  2 设置层数和转折点以确定膜层 N%8a LD o,y {fv:ki 2W`<P2IA 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 a`Q KN rA2 W#[3a4%m ![@\p5-e 实现可编程光栅 g(zoN0~ /T/7O []eZO_o6j  RjQdlr6 *
!p"Ij z 5 ]a=Bc~g9 1 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7tz #R :
 0f|nI8,z u'EzY J7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EPwM+#|e- `BZX\LPHm |zSoA=7? FZhjI 8+,~  0_-NE4SM/ nHi6$ }
I 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） h/F,D_O>ZO  ~C2[5r{So 0 (dXU\Y 2 双击Data Series Diagram Ni 5Su ZnYoh/ 采样结果 ZYX(Cf  <swY o<?J#
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 5 %Q [X
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QQ：2284816954 备注：光学
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