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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 q<
XFw-Pv TP
rq:"K 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） *S ag B/wD~xC?x 所需工具：Grating Toolbox Basic i%-yR DIX kk /# &b2 相关Tutorials：G.001; G.014 Z)s
!p 建模任务 In1W/ ? WT'-.UX m 理想平面波照射 2g =
6 s :C*}Y g DK74s  lxyTh'
w7Yu} JY^ p^pd7)sBr 镀膜倾斜光栅 目标平面 M- nRhso EB}B75)x 周期：10um l+9RPJD/: 厚度：10um ubM1Q r 倾斜角度：20度 Kk8wlC k24I1DlR8 光栅的参数 9^XZ|` ,^([aK —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 f'oTN!5WF —填充因子 2—后面的介质 gw)4P tb! —膜层厚度 3—膜层材料 Cw,a )XB —光栅厚度 < D.E .^Y ^3dc#5]Xf 1eD#-tzV  < o?ua}
, Vi_~b nK;d\DO 设置层数和转折点 VW*%q0i- :^]Po$fl 3+Lwtb}XPF  2 设置层数和转折点以确定膜层 D`p2a eI P8YnKyI,. hl:Ba2_E
+ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 u& l ;\w jA1S|gV QZVyU 8j3 实现可编程光栅 9K& $8aD aH"d~Y^ 8'Q+%{?1t 
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8XH;<z<oJ 2E-Kz?,:[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） lf( +]k30  -U2Su|:\N8 2!6hB sEr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） l -XfUjJ &E]) sJ0 2?ue.1C )zWu\ JRp 
c k;:84 vE[d& b[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） e)H FI|>  D\G 8p; \;- Yz 2 双击Data Series Diagram L"YQji! :7(fBf5 采样结果 #b d=G(o~6  c^_+<C-F
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Tcy9oYh!Pn A5R"|<UPR
QQ：2284816954 备注：光学
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