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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 HmpV;
<t3 sv*xO7D. 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） peU1
t:k? n{E + r 所需工具：Grating Toolbox Basic jAD{?/RB} %U$%x 相关Tutorials：G.001; G.014 lW @i,1 建模任务 4hV~
ir WoWBZ;+ U 理想平面波照射 GV
SVNT}I MLn?t^v- ld'A axl&  h{Y#. j~aS ;hPo5uZQ j`"cU$NRM 镀膜倾斜光栅 目标平面 7/Mhz{o;W wk6tdY{&s 周期：10um h!1CsLd[ 厚度：10um
av!~B, 倾斜角度：20度 #]Q.B\\ g8;JpP w 光栅的参数 o
n?8l?iQ 8KS9!*.iZ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 qo0]7m 7| —填充因子 2—后面的介质 @RS|}M^4 —膜层厚度 3—膜层材料 ON$-g_s>) —光栅厚度 4";[Xr{pW t/:]\|]WB _qh YG1t  q0QB[)AP
Og<UW^V R Y&`nB,' 设置层数和转折点 n&}ILLc 9@z"~H jiAN8t*P  2 设置层数和转折点以确定膜层 ~D\ V! )Waz bT@ (: T\< 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 n>I
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9p<Z Sh 5J<ghv>\P 实现可编程光栅 Tg.}rNA4 9 !oNyqQ
Zae$M0)  v/WvT!6V`
p/ inATH Az>gaJ/_ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 2:l8RH!Y  gEU|Bx/!= >~k"C,6 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Q#rj>+? ln6Hr^@5 .`K<Iug1 S&Y C"  Do 5)ilt ]J7.d$7T 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |\MgE .N  T#e ;$\ qA6;Q$ 2 双击Data Series Diagram /^<Uy3F[p Sq,x57- 采样结果 -(]s!,  6vQCghI
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. lUd;u*A &z(E-w/S
QQ：2284816954 备注：光学
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