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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 H[S[ y Qq+$ea?> 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Bq@_/*'*Y /fv;`?~d* 所需工具：Grating Toolbox Basic ^ZuwUuuf "n'kv!?\ 相关Tutorials：G.001; G.014 Lh\ 1L 建模任务 ~>SqJ&-moo RzhAX I= 理想平面波照射 stQ Rl_(' %\$~B?At =S#9\W& 6Q  |kG j}v3 , Ox$W )xm[m vt 镀膜倾斜光栅 目标平面 ]-g9dV_[>j 3n_N^q} 周期：10um ur\<NApT; 厚度：10um >UNx<=ry 倾斜角度：20度 Q ? xA))0 ? `hA :X< 光栅的参数 h(C@IIO^;G V$0mcwH —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 [8jIu&tJf —填充因子 2—后面的介质 =hY 9lxW —膜层厚度 3—膜层材料 'Y2ImSWj —光栅厚度 '2XIeR @k+ K_gR /Vdu|k=  y7^E`LKK
z=/&tRe
W {;5\ #VFg 设置层数和转折点 7w\L<vFm ;x.5_Xw{. ZSvU1T8  2 设置层数和转折点以确定膜层 g>E.Snj} oZ5 ,y+L4 Nnx dO0X 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 n{$! ]^> B@k2lHks( xciwKIpS 实现可编程光栅 3!M|Sf<s dOX"7kZ >npTUOGL=n  u+
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18,;2Sr44 fU<_bg 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） C <Pd_&  uN&UYJ' B
XFSHl[uS1 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） =O%'qUj`q NK\0X5##. nvB< pSm LEuDDJ -  <
v1 .+ )LAG $Cn 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） jP#I](\eG  t |P+^SL u-M Td 2 双击Data Series Diagram @>*r2=#14 }Q a 采样结果 BdB9M8fM  os n ,kD*
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 9zl-C*9vj \
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QQ：2284816954 备注：光学
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