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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 UCrh/b Tm 8{U-m0v 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) !33#. @[ Z!xVgM{ 所需工具:Grating Toolbox Basic -u!qrJ*Z OIHz I2{ 相关Tutorials:G.001; G.014 .Jb$l$5'w 建模任务 Dz=k7zRg" a\uie$"cr] 理想平面波照射 /(I*,.d ~\nBjM2 v}G]X Z8 kU5.iK' et,GrL)l jt~Qu- 镀膜倾斜光栅 目标平面 egR9AEJvz 6< J
#^ 6 周期:10um !
ueN|8' 厚度:10um "yziXT@V 倾斜角度:20度 7fp(R&)1 h.rD}N\L 光栅的参数 +YOKA* j;yf8Nf —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 *x~xWg9^ —填充因子 2—后面的介质 P=L$;xgp —膜层厚度 3—膜层材料 iVtl72O —光栅厚度 q+SD6qM gV1[3dW V=I"-k}RL gIWrlIV{9 F1;lQA*7K. <[aDo%,A 设置层数和转折点 eC
DIwB28 :_<_[Y]1
r#PMy$7L 2 设置层数和转折点以确定膜层 5OIc(YhYf mN`YuR~ o 6 {\Zzp 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 {",MCu_V @YvOoTyb }F6<w{| 实现可编程光栅 148V2H) 5F+APz7 PW(\4Q\ dBsX*}C JG`Q;K [./6At&| 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) I-D^>\k+ 72W,FU~OD $aCd/& 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) p Y)5bSA p1pQU={< iq#b#PYA sRVIH A, 6\7ncFO3 h/eR 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) tbo>%kn \ b
V6@#, DF]9@{ 2 双击Data Series Diagram :nHKl
ha@L94Lq 采样结果 ^{$FI`P Tl]e%A`| 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. Ok5<TZ6t4k a?}
.Fs QQ:2284816954 备注:光学
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