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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 W!<U85-#S 0$nj MnB2l 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） vv7I_nK? W9)&!&<o 所需工具：Grating Toolbox Basic pJ {Y
lS{ Debv4Gr;^ 相关Tutorials：G.001; G.014 f!"w5qC^ 建模任务 7o4\oRGV > P)w?:k 理想平面波照射 cZ06Kx.. cNH7C"@GVu ElXFeJ%[G  HTtnXBJ)*H r/1(]#kOX \Cj B1] I 镀膜倾斜光栅 目标平面 o(HbGHIP Y ay?=Y{ 周期：10um O@P"MXEG 厚度：10um NO3/rJ6- 倾斜角度：20度 *`U~?q} Z{R> 光栅的参数 'Vbi VLWD h$*!8=M —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 [gB+C84%% —填充因子 2—后面的介质 F5Va+z,j g —膜层厚度 3—膜层材料 y)pk6d —光栅厚度 ix$bRdl Y0>y8U V ;bG>ZqJCVA  rGO8!X 3d
]?*wbxU0 z:;CX@)* 设置层数和转折点 "}!G!k: HV.t6@\}; =Uh$&m  2 设置层数和转折点以确定膜层 Jb(H %NJ #S(Hd?34, KSvE~h[#+ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 <q SC#[xu 40/Y\ rKn~qV ls 实现可编程光栅 0mn w{fE8_ G?ZXWu. /NlGFO *Z  /\Ef%@
Z7#+pPt! /ouPg=+Nl 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !?XC1xe~R  ;I*o@x_ {FG j] * 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） k\IbIv7?i s >en RpK@?[4s Jv i #)  ^"g~- hc1N ~$3!G 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Rv=YFo[B  ~zgGa:uU y*? Jui Q 2 双击Data Series Diagram yuVs
YV@" ?(PKeq6 采样结果 y(&Ac[foS}  phK/
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 4JEpl'5^Q F:VIzyMq<
QQ：2284816954 备注：光学
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