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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 +<E#_)}`D6 r5j$FwY 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） T!jh`;D+ v `4w=!4 所需工具：Grating Toolbox Basic @<W` w e:G ~P
u` 相关Tutorials：G.001; G.014 DAw1S$dM 建模任务 W|< c [S +^7cS6"L 理想平面波照射 *R 6lK& l!p`g>$&f FVXsu!R  k+_>`Gre} vP{i+s18B . X!!dx1< 镀膜倾斜光栅 目标平面 )G48,.
" Yc#Uu8f - 周期：10um ;lmg0dtJ 厚度：10um ~(GvjB/C8 倾斜角度：20度 :hICe+2ca )"TVR{I%B 光栅的参数 qGX@mo({ a?gF;AYk —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 e;6:U85LS —填充因子 2—后面的介质 bd /A0i?C —膜层厚度 3—膜层材料 kF1$ —光栅厚度 CaYb}.:AX JE O$v|X [#KY.n  9d 1k m~
O/eZ1YAC ]t<=a6 <P 设置层数和转折点 IJf%OA>v >33=0< ;Tbo \Wp9  2 设置层数和转折点以确定膜层 QN8+Uj/zx K+H im]
b 8*-)[+s9il 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ]*NYuE gc -aT-<+? s DVd8Ix <
实现可编程光栅 n1\$|[^6 kw59`z Es }hy4EJ  |-JG _i
7c_2.T@4 .5 E)dU 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） r
(m3"Xu6O  - O &>HA >|S@twy 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EUSM4djL j+3 \I > F,vkk{Z> X !h>13fW  ,|c;x1|O B-g uz[v 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~Jf(M ^E  ^m7y=CJM R.i ]6H! 2 双击Data Series Diagram OK4 r ) bEF2- FO 采样结果 M? 8 sy  =b66H]h?
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. &Sb)a 1{/Cr K/o
QQ：2284816954 备注：光学
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