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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 JpS}X\]i }JFTe
g 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） %:aXEjm@ u HU@j(&c 所需工具：Grating Toolbox Basic t"$~o:U&) m(8Tup| 相关Tutorials：G.001; G.014 :)#;0o5 建模任务 coAXYn =z FROB\ 理想平面波照射 krfXvQJwJ _v&fIo CyIlv0fd}  BpIyw
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*&\5rPb 镀膜倾斜光栅 目标平面 _)45G"M sqKx?r72 周期：10um J Y 厚度：10um Et 3]n$ 倾斜角度：20度 [rx9gOOa& _V$'nz#>e 光栅的参数 7Bj,{9^aJ Z8E<^<| —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 F'XQoZ* 1 —填充因子 2—后面的介质 -+ByK#<% —膜层厚度 3—膜层材料 (p2`ofj —光栅厚度 I HTim T? @bg9
}Z%\h !R8%C!=a  d<-f:}^k0
%O`@}Tg HTh? &u\QG 设置层数和转折点 n%3!)/$ ?L }>9$" vx9!KWy}  2 设置层数和转折点以确定膜层 G!j 9D +RJ{)Nec S1$^ _S
= 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ,1ev2T ^BF}wQb :j xJ3C^b%H 实现可编程光栅 SXw r$)4_ lg ews" gC?}1]9 c  uq3pk3
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k>ErD v8 O1v)*&NAI 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u
8o !  m]?Z_*1 IRbyW?/Xv 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） h@ `Rk V ,KIi_Z R%.`h D =ej%]@iw  vYRY?~8 C ^/#+0/Bn 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） d [t0K]  a{ST4d'T Bj 7* 2} 2 双击Data Series Diagram !` 1h *} +,spC`M6h 采样结果 c~U0&V_`j  w> 2lG3H<
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 4 $R!) k^}[+IFJ
QQ：2284816954 备注：光学
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