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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 eb.O#Y DBPRGQ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） V" *O =h >*]Hq.& 8 所需工具：Grating Toolbox Basic '>&^zgr &0='r;*i 相关Tutorials：G.001; G.014 g}f`,r9 建模任务 *FC=X) _&W 9S-Z& 2L 理想平面波照射 N03HQp)g 7l'6g g B-.gI4xa  aa?w:3 :E _g"_ E}Y!O"CAV 镀膜倾斜光栅 目标平面 3^R&:|, p<zSJLN 周期：10um %1H[Wh (U 厚度：10um ?3*l{ [@J 倾斜角度：20度 6I1,:nLL< 'SCidN(n 光栅的参数 vV[eWd.o6M 7[I}*3Q' —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ` &KwtvkdI —填充因子 2—后面的介质 5|l* `J) —膜层厚度 3—膜层材料 "]z-: \ V —光栅厚度 o=21|z 2W/?q!t ~MS\
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|p><'Q% * eln&] d; 设置层数和转折点 ]3VI|f$$ 7bk%mQ k )#.<]&P }  2 设置层数和转折点以确定膜层 D$bIo " hvA^n@nr LUuZ9$t0J" 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 > ?6 &c / x5rf p8Q, @ql. 实现可编程光栅 Hj:r[/ T(e!_VY|m c}y [[EX  FP;Ccl"s
&m |wH4 \ Sg6"WV{< 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Eve.QAl|  4zJtOK?r" "kMguK}c 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） DTa N"{ 4d8B `Fa9 Z$0 uH* h |`lzfe  SI LQ F'B8v 3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7Garnd b  'h^0HE\~p l~6?kFy9h 2 双击Data Series Diagram } p&&_? tZ^Ou89:rG 采样结果 0JlZs]  !1q 9+e
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. t ?9v^vFR Y}uCP 1v
QQ：2284816954 备注：光学
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