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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 z$%tw Bg}# =b %}x >> 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） e?]5q ez Gaix6@X6' 所需工具：Grating Toolbox Basic 9 =>fx 1|MRXK 相关Tutorials：G.001; G.014 5daq}hsQs 建模任务 7=CkZ&(? z% wh|q 理想平面波照射 t%lat./yT ?R)]D:` R@o&c%K"  U N9hZ> 9 bE _8NA"2 tqGrhOt 镀膜倾斜光栅 目标平面 K;R H,o1 Al-` }g+^ 周期：10um Y %"Ji[ 厚度：10um L^sjV/\oW 倾斜角度：20度 FH~:&; 5'} V`?S 光栅的参数 bF"l0
jS :o'x?] —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 5R P kAC —填充因子 2—后面的介质 entU+O r —膜层厚度 3—膜层材料 BX >L7 n —光栅厚度 "?8)}"/f za_b jE = s&Rk~2b/  IO \4dU)
<u64 )8' J usU5 e| 设置层数和转折点 YZol4q|ic /{^k8
Q #a8kA"X  2 设置层数和转折点以确定膜层 <Riz!(G m y?Ly(# >+2&7u 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 U2
*ORd 5;a*Xf%V b,xZY1a 实现可编程光栅 jeC=s~ /I%z 7f91O kBo:)Vej4  cLtVj 2Wb
b#VtPn] 5n@YNaoIb 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） J&xZN8jW  Yuv i{ 0 7r:h_r- 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '75T2 Ud WK{`_c
U^ ^tB 1Nu % T c WC r  s3 >a SVCh!/qe\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） y9:4n1fg  =X$ ieXq| hOj{y2sc 2 双击Data Series Diagram H [=\_X1o( yXJhOCa 采样结果 KkJqqO"EL  ]VI^ hhf
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 4EB\R"rWXf .U1wVIM
QQ：2284816954 备注：光学
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