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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 i6r%;ueLb UUv&X+ Y 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） mqk~Pno|< BpCzmU 所需工具：Grating Toolbox Basic .F.4fk @4h .? 相关Tutorials：G.001; G.014 N40.GL0s 建模任务 fL"-K KEsMes(* 理想平面波照射 '@HW p 8+ DJrE[wI !$St=!  XN]kNJX 4NwGP^ n lcvWx%/o@ 镀膜倾斜光栅 目标平面 /g'F +{v Qm,| 'y:Tg 周期：10um (I, PC*: 厚度：10um 1c,$D5# 倾斜角度：20度 aD3'g c,l J}KATpHs 光栅的参数 mN_RB{g{ ^Ebaq`{V\' —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Ve7[ U_" —填充因子 2—后面的介质 e UVE8pZl —膜层厚度 3—膜层材料 2#ha Icm" —光栅厚度 d/- f] \x)T_]Gcm =4/lJm``  r_ I7Gd
KCDEMs}}zM 3yDa 5q{ 设置层数和转折点 bKmR
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"m _wYX
N4}/n  2 设置层数和转折点以确定膜层 znFa4 ~0|Hw.OK n'1pNL: 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ed2QGTgR hPx=3L$ p-y, OG 实现可编程光栅 5X nA.?F^ tH2y:o 72 6 N :fq  3F[z]B
Bh"o{-$p8` B@A3T8' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :Y0*P  -2w\8]u YT}m
8Y 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H{ E223 @ bPQhn#(g W'-B)li %w=*4!NWb  0tC+ ? GG5wiN*2S 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 6^s=25>p  xYRN~nr votv rZ= 2 双击Data Series Diagram
7pMrYIP k!>MZ 采样结果 a"0X am  w{UVo1r:
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. BEx?
bf@|] H.hF`n
QQ：2284816954 备注：光学
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