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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 u>:j$@56 L* ScSxw 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ~S$ex,~ Htfq?\ FD 所需工具：Grating Toolbox Basic +11 oVW /B|"<`-H 相关Tutorials：G.001; G.014 h>p,r\X 建模任务 q E8Di\? 9<
S 理想平面波照射 b`ksTO`}x m_FTg)_= c~}FYO$  ;9q$eK%d $.31<@T7 y'n<oSB} 镀膜倾斜光栅 目标平面 GIfs]zVr` [^XD @ 周期：10um F 5OQM?J 厚度：10um !)}D_9{ 倾斜角度：20度 %Aa_Bumf*: "ZA`Lp;%w 光栅的参数 j,Qb'|f5 1#8~@CQ :: —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 T5}5uk9 —填充因子 2—后面的介质 t3C#$ > —膜层厚度 3—膜层材料 ,Ek6X)|@ —光栅厚度 1 lJ^$ U ;F"Tu AP8J28I  54/ZGaonz
(cI@# x Cv/3-&5S 设置层数和转折点 /<dl"PWkJv :9(w~bB9$ prB :E[1  2 设置层数和转折点以确定膜层 ca,c+5 7HL23Vr k v&7x ~!O 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 XpA| <s F!2VTPm9z JeAyT48!M 实现可编程光栅 3$BO=hI/- (a~V <v" ;&kZ7 %  <y"lL>JR
NxB/U_j {UF|-VaG 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） " Lh XR  ^K
9jJS9K Ye^ xV,U@ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @&9< )1F 3M'Y'Szm [|YJg]i- 1 {
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An+ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） JD AX^]  }VVtv1 Jq+@%#G 2 双击Data Series Diagram Z'm( M[2K f9'dZ}B 采样结果 L:jv%;DM  @v.?z2h
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. W;U<,g
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QQ：2284816954 备注：光学
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