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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 nca ttp 5!F\ h'E 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） -
SS r F|l`YtZZd 所需工具：Grating Toolbox Basic
xs'kO= +K%pxuVh 相关Tutorials：G.001; G.014 #)0Tt>d6 建模任务 D!}K)T1~R w,Zx5bBg% 理想平面波照射 oU0
h3 Pc)VK>.fc $iqi :vY  N3 g NOq& L;
q)8Pb l]Ui@ X 镀膜倾斜光栅 目标平面 g T XW2S oWDSK^ 周期：10um )ojx_3j8 厚度：10um |vfujzRZ 倾斜角度：20度 'sRg4?PT Kr /h`RM 光栅的参数 C~{NKMeC/m TTZ['HP
oI —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 SgpZ ;\_ —填充因子 2—后面的介质 M_h8#7 {G —膜层厚度 3—膜层材料 IAP/G5'Q —光栅厚度 }2q l?K 0AK?{y U ,$h(fM8GC  *O+R|Cdp/
sK@Y!oF}\ . Q XG"R 设置层数和转折点 u3Usq=I j{ X<~k =qwA N^ h |h  2 设置层数和转折点以确定膜层 SqXy;S@ (@)2PO / ^n&]HzT`y 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 -,QKTxwo> Y ^R?Q' nA o8uWG 实现可编程光栅 g.I(WJX0 |*^8~u3J" Aq V09 $  tYs8)\{
Z+Yeg UrO=!G k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） R=-+YBw7/  j)jCu ;` |7 &| > 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "7=bL7wM& )v%l0_z{ K;oV"KRK H L jvKE=W  x3Nkp4=Xd )]%e 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） [34zh="o  zlH28V tNK^z7D m 2 双击Data Series Diagram !|:RcH[ P}HC (S1 采样结果 r5o@+"!  tY/En-&t
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Hx$.9'Oq\Q A -Mj|V
QQ：2284816954 备注：光学
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