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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ~9?cn ~< P
0]ju 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） qsF<!'m7` ZWii)0'PV 所需工具：Grating Toolbox Basic K}2Erm%A@y $[9%QQk5<L 相关Tutorials：G.001; G.014 LnFdhrB@x 建模任务 eiuSvyY Zvhsyz| 理想平面波照射 pny11 C `^91%f `0rd26Qro  Jx_cf9{ c4!^nk] g(nPQOs$u 镀膜倾斜光栅 目标平面 zuP B6W ^ LO'**}vm 周期：10um #:%&x@@c3P 厚度：10um rjl`&POqc 倾斜角度：20度 @(l^]9(V\ y9_V 光栅的参数 -Bt k 3 Z<U6<{b —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 iz5CAxm —填充因子 2—后面的介质 rI{=WPI&WU —膜层厚度 3—膜层材料 @<<<C?CTv —光栅厚度 ^m
L@e'r ;1#H62Z* ?8HHA: GP  E"\/ M
m 2 -Sx xE1 eT, 设置层数和转折点 ai}mOyJs (VS5V31" L%">iQOG#  2 设置层数和转折点以确定膜层 }{M#EP8q+ fz;iOjr>
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H!28h 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 -\+s#kE: CF&NFSti^ YTAmgkF\4 实现可编程光栅 ;V@WtZv xrlmKSPa tM2 )k+fg  $J4 *U
J5*tJoCYS YZP(tn 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @HT% n  0WT {,/> MRQ.`IoS 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "b?v?V0%C 0?sRDYaX;c J~=n`pW |}2 3>l7  gHhh>FFAq _,q) hOI 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Y;n Z=9Sw  Kqun^"Df og4UhP^UET 2 双击Data Series Diagram syk!7zfK za#s/b$[ 采样结果 +U_=* "@|  ]e >R K'
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. cQG
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QQ：2284816954 备注：光学
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