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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Qj=l OhM w&H
?; 1 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） zso.?`85 ?T^$,1 - 所需工具：Grating Toolbox Basic S:5Nh^K /Ly%-p y-$ 相关Tutorials：G.001; G.014 xJ 3#k; 建模任务 kxdLJ_ a"v D+r7Ol 理想平面波照射 dRu@5
:BP /0r2v/0 n8iN/Y<%U  W OwIJrP 5~sJ$5<, XGUF9arN 镀膜倾斜光栅 目标平面 f EpY3od jeW0;Cz
J~ 周期：10um A$oYw(m# 厚度：10um N\vc<Zpn 倾斜角度：20度 sz)3
z W<x2~HW( 光栅的参数 Y, 0O&' > {
~Cqb7 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 4Q]+tXes —填充因子 2—后面的介质 3*; {C|]S —膜层厚度 3—膜层材料 )kkO:j —光栅厚度 B!Qdf8We "ex?
#qD& UyJ5}fBJ  J>+Dv?Ni$
ny MA%9,B 8n'C@#{WV 设置层数和转折点 YsT fv1~z# ^+P]_< 43
\n`]QN  2 设置层数和转折点以确定膜层 / '7WL[< :H?p^ d
e {o]OxqE@ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 1.';:/~( E]g KJVf9[
e%qMrR 实现可编程光栅 7f`jl/ plp).Gq C 4n5U^  P= ]ZXj[
L $jR g a|fyo# L 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EJ86k>]  3w0m:~KS6V Dm 5UQe 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #!5GGe{I gz$=\=%>RL A5nu`e9& =XYfzR  Jw86P= 'Oq}BVR& 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） | g7E*1Ie  ZkK +?:9 HL_Muy E 2 双击Data Series Diagram a1Gy I Xe%n.DW m 采样结果 u{ \`*dNx  TM"i9a? ;
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. S#ven& 'T.> oP0>
QQ：2284816954 备注：光学
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