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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 * RO ~%g gMbvH lT 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） N INiX( ( Lp-3Xx 所需工具：Grating Toolbox Basic Y u=^ `I >J1o@0tk 相关Tutorials：G.001; G.014 n_Z8%|h 建模任务 Gmb57z&: jWz-7BO 理想平面波照射 yY+2;`CH NKRXY~zHh 7>'F=}6[Y  =@'"\
"Nh t9}XO M* Z I1RB fR 镀膜倾斜光栅 目标平面 tkmW\ ,\M'jV"S K 周期：10um T-\,r 厚度：10um a5iMCmL+ 倾斜角度：20度 TJ< PT 1NTe@r!y 光栅的参数 DCm;dh (bw;z NW —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 4}CRM# W2 —填充因子 2—后面的介质 yQ}~ aA#h —膜层厚度 3—膜层材料 {2nXItso —光栅厚度 :1iw_GhJf
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2b f  2 设置层数和转折点以确定膜层 k }/:
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\nFJ6+ 3B0%:Jj 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 buoz La -'nx7wnj2 _YY)-H 实现可编程光栅 } 8svd#S+ ,%C$~+xjM sw&Qks? V  y |aWUX/a
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# ^ey\ c1 K 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） OV[-m;h|  YP7<j*s8 " n\!y~: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） o^ 4+eE M]W4S4&Y= MLDuo|? dcA0k  A- ~)7- ~7m+cWC-+ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U t%ie=c  L]V K9qB 4 (yHD 2 双击Data Series Diagram ("aYjK k 3S,pd0; 采样结果 ~UnfS};U  3lJK[V{'#'
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. (*EN! -/ 1^,r S
QQ：2284816954 备注：光学
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