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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 PYCN3s#Gi v~mVf.j1 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） uSfHlN4l i.mv`u Dm 所需工具：Grating Toolbox Basic <K0epED _[HZ[ 9c! 相关Tutorials：G.001; G.014 AR [m+E 建模任务 DhE-g< W %*#rcdq 理想平面波照射 afrF%! D40 vCax^J =v:?rY}  hhU_kI syw1Z*WK d"XZlEV 镀膜倾斜光栅 目标平面 @1*^ttC 9L>?N:%5 周期：10um WZ' Z"' 厚度：10um #
55>? 倾斜角度：20度 %axr@o[ <{#_;7h" 光栅的参数 \OW:- 3X gJZ
—倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 x0# B c7y —填充因子 2—后面的介质 q;68tEupR —膜层厚度 3—膜层材料 6l\5J6x —光栅厚度 }y6|H, t9 fOi
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uU^D Ygs O h@z<1eYZ 设置层数和转折点 Y:DopKRD W]po RTJ: _*AI1/>`  2 设置层数和转折点以确定膜层 !FgZI4?/Y= m z0{eO -_ 9k+AV 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 \WiCI: >` s"C t=Oq<r 实现可编程光栅 E
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DuYJI 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） )^(gwE  { { \oC$ y_9\07va< 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 'pt ( @ZI Sv'F ~|" Vl<9 ]zYIblpde  f7*Qa!!2p] <6(0ZO%,C! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 6_%Cd`4Z  Z#}sK5s ! t!4CY 2 双击Data Series Diagram N }5 JL,Y9G*]s 采样结果 y hKH}
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 0PkX- . E7O3$B8
QQ：2284816954 备注：光学
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