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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 E,[v%Xw DMT2~mh 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） z{qn|# } %i&\ X[ 所需工具：Grating Toolbox Basic ^_o:Ddz?l" Qe=eer~jI 相关Tutorials：G.001; G.014 Ky{C;7X 建模任务 ] .c$(. yI's=Iu` 理想平面波照射 R#/0}+-M 'he&h4fm 83Fmu/(  7Y^2JlZu= I5g!c|#y
pwV {@h! 镀膜倾斜光栅 目标平面 i.+ #a2 T7*p! 0 周期：10um u6*mHkM 厚度：10um >
Cx;h= 倾斜角度：20度 fJn4'Q*U i\\, Z
L 光栅的参数 SuA`F|7?P I@q4 D1g —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 @ oFuX. —填充因子 2—后面的介质 `~LaiN. —膜层厚度 3—膜层材料 !r+S E —光栅厚度 <:~'s]`zf _\AT_Zmy {-s7_\|p(  E\~!E20^
5Veybchy " }vQ Y+O 设置层数和转折点 <Kq!)) J' $9< P3J 1 P L*kjrLu7  2 设置层数和转折点以确定膜层 g]}E1H6- "@&I*1& y-vB C3 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 T28Q(\C:} ](^BQc
aP +) 实现可编程光栅 Ga $EM %<'PSri NSQf@o  MJ`BlE,Fmb
oz\r0: J ?H| " 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） c +]5[6  *7!*kq g!u G+j cR; s 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qISzn04 `xu/|})KI =/qj vY ~@EBW3>~5  1EA} [x R>`TV(W`9 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） `Z~\& r=  /Wm3qlv +L<x0-& 2 双击Data Series Diagram Ck^jgB.7 5\P3JoH:Yg 采样结果 1$rrfg  M9dUo7
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. MNsgD3 G:?l;+P1
QQ：2284816954 备注：光学
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