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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 o90SXa&l/ ZKzXSI4 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) j!q5 Bc? h>-JXuN 所需工具:Grating Toolbox Basic &,4]XT A`Q'I$fj 相关Tutorials:G.001; G.014 Ev* b 建模任务 |Ak>kQJ(1z AN7WMX 理想平面波照射 :#0uy1h (mz5vzyw 8:;_MBt .CdaOWM7 La48M'u }dw`[{cm 镀膜倾斜光栅 目标平面 C`+g:qT |!{Q4< 周期:10um :VP4|H#SP 厚度:10um Yr5A,-s 倾斜角度:20度 ?Y+xuY/t s:lar4>kM 光栅的参数 F+,X%$A#? O&l(`*P —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 []:;8fY —填充因子 2—后面的介质 !|_b}/ —膜层厚度 3—膜层材料 vK6YU9W~J —光栅厚度 >Z?fX 4@OnMj{M |7]7~ 6l
RR!(,j^M y
,isK J_YbeZ] 设置层数和转折点 1MHP#X;| \}xK$$f2, GdG1e%y]z 2 设置层数和转折点以确定膜层 Cj%SW <v| F>jPr8& E*ybf' 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 >JwdVy^ H+vONg }qmBn`3R 实现可编程光栅 _Z+tb] ,/6V ^K 'ah|cMRn EQ`;=I3J9y %<$CH],% 4"1OtBU3 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) QEL^0c8 ~ ! utgo/n I2kqA5>)j 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) `GOxFDB. zy`4]w$Lj+ 0i\ol9,bf D
7 l&L '`?\CXX J XKps#,(# 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) %AW5\ EX XRXKO>4q 7vUfA" 2 双击Data Series Diagram uXq?Z@af|f b\NWDH7} 采样结果 J0zudbP `q* 0^} 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. /+4Dq4{t) 6-va;G9Fc QQ:2284816954 备注:光学
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