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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 _#@n^c B.CUk. 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） L;zwqdI i2KN^"v?N 所需工具：Grating Toolbox Basic .?R~!K{` K}"xZy Tm1 相关Tutorials：G.001; G.014 P' .MwS 建模任务 i^Vb42 %y [P.M> "c\ 理想平面波照射 51j5AbFQ" 1=(jpy /5A um ?~  $U%M]_ }U3+xl6g T<(1)N1H` 镀膜倾斜光栅 目标平面 hw! l{yv |{ W4JFKJ 周期：10um ~_opU(;f 厚度：10um _DsA<SJ] 倾斜角度：20度 FJ0Ity4u6 ;6S,|rC ] 光栅的参数 j6v|D>I K"u-nroHW —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 G165grGFd —填充因子 2—后面的介质 8G$ %DZ $ —膜层厚度 3—膜层材料 X[/>{rK —光栅厚度 d: D`rpcC 3FRz&FS:j -]""Jl^  sd4eJ
HJ#3wk "W <vMna< /d 设置层数和转折点 ql"&E{u? Zoe>Ow8mE` o6`4y^Q{/  2 设置层数和转折点以确定膜层 ,=sbK ?& Ku;|Dz/=o PWeCk2 xH 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ^u'hl$`^ k1tJ$} _)|_KQQu 实现可编程光栅 l-s%3E3 8vQGpIa, +;z^qn  kc*zP=
^n8ioL\*i | OW/-&) 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） q5
eyle6  V{ !fa g m( 0sG(A~ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） + *u'vt? _N8Tu~lqV F`!B!uY (al.7VA;9  6Gt~tlt:L %
mP%W< 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） N:R6
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=}  ;]*V6!6RR Xge]3Ub 2 双击Data Series Diagram hxG= g6:G s|er+-' 采样结果 [6 d~q]KH  &6]+a4
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 8: # \g ~ZrSoVP=
QQ：2284816954 备注：光学
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