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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ;qVG
\wQq CveWl$T12 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） GEi
MmH? {_ 6t4h} 所需工具：Grating Toolbox Basic 9L =;KtE1 G"f du(.@ 相关Tutorials：G.001; G.014 M 5rwoyn 建模任务 gN\*Y 4^ MSX+zt 理想平面波照射 gL,"ef+nM x?>!UqgkY ;x RjQR  <"NyC?b+G hwZ6 . |)'; CBb 镀膜倾斜光栅 目标平面 :>ZzP: QD 67 ZYtA|t 周期：10um \SzGzCJ 厚度：10um :D^ Y? 倾斜角度：20度 P[1m0!,B {SHqW5VX 光栅的参数 x{QBMe` @C<d2f|8 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 d"p2Kx'*3 —填充因子 2—后面的介质 '@S,V/jy0z —膜层厚度 3—膜层材料 J(&Gmk9& —光栅厚度 j`+0.Zlq E.U0qK], zdT ->%  CElPU`J,\[
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}/<I @q pYDnJ: 设置层数和转折点 a]{uZG n@i VEr 6uvB oFwG+W /  2 设置层数和转折点以确定膜层
}Olr >9(7h &[Y PGMv(}%; 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 '[n)N@h 3a/[."W
u c-ttds 实现可编程光栅 .O;!W<Ef $ tu7+LwF7 ?L8&(&1@VD  ;! ^ +N
, uKs>T^ tru;;.lj8K 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） `X3Xz!  .Kg|f~InO P} +2>EU 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） w K2yt? V^9$t/c & ^l&nB . #?L(#a$k  C,9)V5!tP2 :~WPY9i` 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 3$M YS^D  [0d-CEp[ &e/@yu)x, 2 双击Data Series Diagram |E"Xavi> 782[yLyv 采样结果 cZCGnzy  MT;SRAmUr
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. z"G`o"4
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QQ：2284816954 备注：光学
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