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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ]y0Y ( 2FIL@f|\7z 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 0kkDlWkzo p'K`K\X 所需工具：Grating Toolbox Basic j<p.# jkT ,dIev < 相关Tutorials：G.001; G.014 pZnp!!G 建模任务 ,;`f* # &zEQbHK6 理想平面波照射 =u< :'\_ ~#pATPW@( vgwpuRL5b  oACAC+ CP w 9dkJ o .Kb3VNgwvm 镀膜倾斜光栅 目标平面 5R P kAC $'J3
/C7 周期：10um =>$)F 4LW 厚度：10um 6X \g7bg 倾斜角度：20度 AQ~ xjU %_OjmXOfe 光栅的参数 +hyOc |5 FnO@\{M"A —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Hb)FeGsd). —填充因子 2—后面的介质 Y sM*d —膜层厚度 3—膜层材料 OEW'bT) —光栅厚度 /WuYg
OI ']M/'CcM Pyo|Sgk  F$7!j$
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yb`PMj j15 U+Y (: 设置层数和转折点 - -5F*a{R| :X0L6y)u QQ(}71U  2 设置层数和转折点以确定膜层 - vvyG '2(m%X\6 6Tl6A>%s 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 [9; @1I<x 4b;Mb M8/a laoT 实现可编程光栅 /(dP)ysc 02-ql
F@i i>m%hbAk  }Hg G<.H>
M+ /G >U b($hp%+yJ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -%asHDQ{  I 3 t5S;_8 ~7] V^tG 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .U1wVIM :Jd7q. \-\>JPO~< 1dH|/9  l1 +l@r\ fUT[tkb/! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Rlq7.2cP  $RD~,<oEm -&Rv=q> 2 双击Data Series Diagram DH(<{ #u 2dn ^K3 采样结果 _#8hgwf>  j}+3+ 8D
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. LF dvz0 AxEyXT( h5
QQ：2284816954 备注：光学
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