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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 >#kzPYsp !q/?t XM! 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） zX5p'8- 3 wr ~ P 所需工具：Grating Toolbox Basic O}D]G%,m J|I |3h<T 相关Tutorials：G.001; G.014 }vm17`Gfy 建模任务 a. gu ad"&c*m[ 理想平面波照射
e%qMrR OixQlAb{ xWV_Do)z  XjX<?W #<?j784 s{CSU3vYmi 镀膜倾斜光栅 目标平面 e0h T ; `xu)08a 周期：10um AQ Fx>:in 厚度：10um G q:7d]c~T 倾斜角度：20度 x^SE>dy ?z X/.|S57 光栅的参数 hZ%Ie% ~n ha(hG3C —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 i=SX_#b^ —填充因子 2—后面的介质 c
s hZR(b —膜层厚度 3—膜层材料 4BCZ~_ —光栅厚度 k1%Ek#5 ZLO _5#< Oo#wPT;1^(  eR3!P8t
7#<|``]zNf zKI(yC 设置层数和转折点 CE?R/uNo{ jsL'O;K/ z~X] v["d  2 设置层数和转折点以确定膜层
r_ o2d 8 7&+Gv6E . Wb) , 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 AU
>d1S. "cti(0F-d 3nG (z> 实现可编程光栅 O [8Lp? ~JBQjb] Bg34YmZ 
D@0eYX4s
]zD/W%c sSvQatwS 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） %5uuB4P&|$  4S 9AXE6 ] e&"CF
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H p 1cVs < ' T6k\ #%x4^A9 q l v{Qn~\y&  xo?f90+( 9m8`4%y= 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,. E:mm  es xU44 zf^!Zqn[8z 2 双击Data Series Diagram ##FN0|e& AR)&W/S)7, 采样结果 X3q'x}{  gBrIqM i5
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. `<
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QQ：2284816954 备注：光学
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