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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 > ]^ 'h
r9})~>
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） KRC"3Qt
nwUz}em?O 所需工具：Grating Toolbox Basic 7<]
EH:9 @ i; )`k5b 相关Tutorials：G.001; G.014 ()?83Xj[c 建模任务 h7UNmwj gE#'Zv {7 理想平面波照射 MkPQ@so ;: 2U}p^- h&$h<zL[  =,#--1R7g YiDO V) b TaKB- 镀膜倾斜光栅 目标平面 L!If~6oD( j, +]tH C- 周期：10um I'BhN#GhX 厚度：10um F`QViZ'n># 倾斜角度：20度 Km8aHc]O~ ~I@ls Ch 光栅的参数 WI/ tWj0 Tn#Co$< —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 $ItjVc@U —填充因子 2—后面的介质 W w2@!ng —膜层厚度 3—膜层材料 w>&*-}XX —光栅厚度 a,c!#iyl3 +y?Ilkk;j :lcq3iF n  0- )K_JV
[7FG;}lB- 4 V')FGB$ 设置层数和转折点 0
Uropam `x`[hJ?i o[Jzx2 A<  2 设置层数和转折点以确定膜层 ,KW
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6 |h\7Q1,1~2 S' j g#*$ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 TJO$r6& h^yqrDyJ USz~ l7Xs 实现可编程光栅 ,RV
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s{Z)<n03 ' rcqy1-& 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (90/,@6 6l  ZD]1C ~) EO&Q 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） MEiP&=gX! li r=0oq< ::|~tLFu v wU1}H  t; e&[eg t<!;shH,s 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 'dLw8&T+W  0@
Y# P|QF s<9g3Gh 2 双击Data Series Diagram Q d[_W^QI
9r!8BjA 采样结果 cu hp4!!  E7:xPNU
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. %;,fI'M ^,>w` 8
QQ：2284816954 备注：光学
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