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摘要 tTe:Oq HmpV;
<t3 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 AH
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a{iG0T.{Yh ={nuz-3 1. 建模任务 >&|/4`HSB 2J7JEv|
Z15b'^)?9 1c $iW>0K 2. 结果 CHM+@lD N4,!b_1
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^^( 4xHN B=2f-o 3. 文件和技术信息 y/ah<Y0( QsPL^ Ny
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