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摘要 l5{60$g z_$c_J 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Wn(!6yid ,SR7DiYg
Q:(mK* _ iAu/ t 1. 建模任务 b?i+nhqI d^aVP
Kq3c Kp4 &L+uu',M0c 2. 结果 1RYrUg"s" @./h$]6
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CLrX!JV> #{q.s[g*+1 3. 文件和技术信息 T?pS2I~ W\~^*ny
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