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摘要 F8.Fp[_tM s<tdn[d 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 "|(+~8[ RaKL KZn
[/6IEt3}B [26"?};"% 1. 建模任务 y~jTI[kS c)+IX;q-C
y1B3F5 t\S}eoc 2. 结果 M{1't uee2WGD
M{Wla7 slXk <
gCW.;|2 ohOze\T)= 3. 文件和技术信息 C([TolZ ["kk.*&
xbSix:R=Z X*/jna"* N.l+9L0b QQ:2987619807 %TP0i#J
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