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摘要 "h$D7 mL 0f{IE@-b 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 5c)wZ "raj>2@ dX0x
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ZRO.bMgZF 1. 建模任务 gkLr]zv h~:H?pj3g g&P9UW>qS TD%WJ9K\ 2. 结果 i6F P[6H1 [:B W+6 'h k @>" 5uzpTNAMM1 Xz"
JY ?nY/, q& 3. 文件和技术信息 $:P[v+Uy L^&do98 h|)2'07 ,d5ia4\K )|Jr|8 QQ:2987619807 95VqaR,
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