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摘要 F^!D[:;jK `oRyw6Sko 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 .i0K-B ^FCXcn9
Ky3mzw| E)b$;' 1. 建模任务 So%X(,
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]8G 'R-8} l;8t%JV5 2. 结果 P^Hgm ~ |G&cg
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4jT6h9% a@}.96lStD 3. 文件和技术信息 0KA*6]h t s 6Wp"V(
MT6p@b5 "8za'@D"f R'c*CLaiE QQ:2987619807
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