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摘要 Z%h _g-C [w0@7p"7 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 R`IFKmA EJ +XaRwcLC.
Se0!-NUK0 O)0}yF$0 1. 建模任务 }OQaQf9V{
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t?3M d|P,e;m- 2. 结果 I:~KF/q cRR[ci34k
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Dd: TFZo iy<|<*s2D 3. 文件和技术信息 lpjeEawo4 [`F}<L."
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