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摘要 m?vAyi Kz^ hQd 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 },3R%?89% SD I,M
PDZ)*$EE g{&PrE'e9 1. 建模任务 8 )`5P\ g[<uwknf
~p!QSRu~,b }'_ :XKLj 2. 结果 73#9NZR n(# c`t*
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~pwY6Q F13%)G( 3. 文件和技术信息 > hesxC! Xa6qvg7/
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