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摘要 z>]P_E~`} \~X:ffb = 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ^m
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6 D,\hRQ /#}o19(-d 1. 建模任务 pF/s5z <c3Te$. `:.a5 CFXr=.yz 2. 结果 rHiBW! Y6G`p *Za'^ Z2 7y4jk #(7^V y& O!se-h5mW8 3. 文件和技术信息 zb3,2D+P F1*xY%Jv^M /Bq4! n+ v`hn9O qr4.s$VGs* QQ:2987619807 i0nu5kD+d
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