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摘要 {kGcZf3h }}Gz3>?24= 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 g.![>?2$8 o RT<h
=\;yxl w E^6DNh 1. 建模任务 $^|I?5xD Id`?yt
H'N$Vv2q TX7B (JZD 2. 结果 #jdo54- "/ G^+u
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!Z+4FwF ] .Mr&@ 3. 文件和技术信息 jx _n$D Wez"E2J`
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QQ:2987619807 ;4DqtR"7Y
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