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摘要 L {i|OK^e :E9 @9>3S 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 *e-+~/9~ 7(= 09z
6m{1im= wS1zd? 1. 建模任务 0j|JyS:}G Z\M8DZW8Y
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s" .Cf`D tK 2. 结果 G^Yg[*bJ^$ rwou[QU
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wi/dR}*A Vnq&lz%QqC 3. 文件和技术信息 6o/!H w[wrZ:[
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