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摘要 C;u8qVI $qoh0$ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 J73B$0FP .3{PgrZ
]/o0p Ac0^` 1. 建模任务 i|@lUXBp $*%ipD}f
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JmEI9n2 2. 结果 R::0.*FF \Bg;^6U
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( 5^bU< bJ[{[|yEd 3. 文件和技术信息 E@/yg(?d= FD}hw9VyF@
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