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摘要 L]a|vp @s?oJpo 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Y/!0Q6<[2Y x6~Fb~aP
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t 1. 建模任务 I@c0N*( (F_7%!g1d
H;X~<WN&AW tl2Lq0 2. 结果 vkh;qPD L7[X|zmy*x
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<6gU2@1 hkLw&;WJr 3. 文件和技术信息 w`"W3( Dj/Q1KY$m
lTd+{TF. WoJ]@Me8 N_|YOw6 QQ:2987619807 ~ 6TfW~V
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