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摘要 ]9w)0iH Evm3Sm!S 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 b=MW;]F {*O+vtir%
/Ls|'2J<$ }'x)e 1. 建模任务 T2w4D! %+j/nA1%S
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"0;WYw? }?mSMqnB 3. 文件和技术信息 e7xv~C>g IWq\M,P
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