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摘要 9jrlB0 t8S,C4 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Ga$EM 2L?Pw
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Ndqhc 1. 建模任务 oz\r0: J ?H|"
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%[_W +FtL_7[v 3. 文件和技术信息 R>`TV(W`9 A*+KlhT
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