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摘要 +# GQ, A6GE,FhsG 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 <.pU,T/ GN-mrQo P/xKnm~ 9UKp?SIF 1. 建模任务 '6Ay&A3N] >wb'QzF: io,M{Ib T6H}/#*tK 2. 结果 U"q/rcA A:aE|v/T& S>.SSXlM V2$h8\a @7n/Q( 7:9.&W/KE 3. 文件和技术信息 ]04e1F1J H2Z1TIh D<8HZ%o _cy2z ?47@o1 QQ:2987619807 >y.%xK
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