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摘要 WKpHb:H dL")E|\\k 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 +v&+8S`+ rQK2&37-,@
*Yov>lO ltHC+8aZ 1. 建模任务 `c{i+ ^zqz$G#
<acAc2 Zx5vIm 2. 结果 R\yw9!ESd xYRL4
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4MRHz{`wa ,Mc}U9)F 3. 文件和技术信息 eUqsvF}l! av
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qX:54$t $K\\8$Z 7P]_03 QQ:2987619807 n?aogdK$V
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