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摘要 !K~L&.\T >@T(^=Q 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 JOA_2qa>\ +1]xmnts
-$8M#n, Bv)4YU 1. 建模任务 } XJZw|n 5V($|3PI
=q4QBAW ~:|qdv%\ 2. 结果
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6$l6>A x9Qa.Jmj 3. 文件和技术信息 [p%OIqC`pB G3.MS7J
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