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摘要 Ud?d. {xx;zjt%}} 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ]3cf}Au GHrT?zEX
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LS. 1. 建模任务 5/VB'N#7s &wC.?w$
_ r)hr7 aD`e]K ^L 2. 结果 [t\Mu}b OehB"[;+
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yxq!.72 KTREOOu .t 3. 文件和技术信息 DY27' `n6 :fQ*'m,
QU;C*}0Zl nff ]Y$FB GM92yi!8 QQ:2987619807 `SbX`a0p2
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