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摘要 hcgMZT!<5 .t{MIC 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 8LyD7P1\ ]q;Emy
FTX=Wyr mi=Q{>rb 1. 建模任务 /'Ass(=6 ?5+.`L9H
"fQ~uzg=" .!Qki@ 2. 结果 p09HL%~R z#zI1Am(O
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Y#]+Tm(+ 9`T)@Uj2n 3. 文件和技术信息 ~xbe~$$Q@ b[sx_b
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