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摘要 c=K
.|g, r1yz ?Y_P 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 L]3 V)`} (PE x<r1
Fx*iAH\e [O>}% 1. 建模任务 1WRQjT=o *Fb]lM7D
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B S$xW {M96jjiInf 2. 结果 Pk !RgoWF D |kdk;Xv
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$'}rBPA/ _]@ 3. 文件和技术信息 U}<5%"!; _o/LFLq
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