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摘要 [83>T , A$:|Qd7F1 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ;t!9]1 p(?g-
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3B`Krh <%&_#<C) 1. 建模任务 _ ~[M+IO
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Z vRxi&Z{? Bq;1^gtpe 2. 结果 4kh8W~i;/ fK"iF@=Z`
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&oEyixe K[]K53Nk 3. 文件和技术信息 ^e%k~B^ gH'3 dS!{
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