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摘要 |NpP2|4h i[?Vin 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 BFo5\l:q8 y#q?A,C@n
paKSr|O P@9t;dZN 1. 建模任务 dvt9u9Vg= [uI|DUlI6o
X{\F;Cb* iZM+JqfU|D 2. 结果 v"#mzd.tW fSs4ZXC
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{\c(ls{ aB7+Tb 3. 文件和技术信息 UFp,a0| w+1|9Y
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