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摘要 .*f;v4! B`WfJ2*2 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 cwD0 ~B .ClCP?HG
)N6R# Mu (Y6 1. 建模任务 HcVPJuD 0Fw\iy1o
|l?ALP_g PRLV1o1# 2. 结果 -'N#@Wdr Q* 4q3B&
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Ly<;x^D j(BS;J$i 3. 文件和技术信息 !Q3Snu= -#o+x Jj
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