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摘要 O#89M% VS@rM<K{ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ]#Z$jq{, z|4@nqqX
ybuSqFy`$ mc[_>[m 1. 建模任务 E6KBpQcd[ 'yAoZ P\|
c# 4ZDjvm6 IWbp^l+!t 2. 结果 {)dEO0 p nms<6kfzL
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p<^/T,&I &@.=)4Y 3. 文件和技术信息 dA!fv`,6- 'E6gEJ
e]y=]}A3{ j]]ziz,E 1k70>RQ&69 QQ:2987619807
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