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摘要 K]0:?h;%Ld CcFn.omA 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 `-l6S db6b-Y{
ie\"$i.98H ?$^2Umt0 1. 建模任务 -}=%/|\FG Vz)`nmO}5\
L>%o[tS r{ef .^&: 2. 结果 +W\f(/ q0 &[/w_|b
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7:3$Ey &LVn6zAba 3. 文件和技术信息 PGBQn#c< |