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摘要 'MBXk2?b _aBy>=2c$ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 h"/'H)G7_& \yZVn6GVr seRf q& 1. 建模任务 ' Ttsscv rS+) )! 2. 干涉条纹的变化 G.^)5!By e!o\AB%d 5gII|8>rQ 3. VirtualLab Fusion概览 "}#%h&, }+bo?~2E& 7qZC+x6_L 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 /qMnIo
设置输入场 Tl'wA^~H - Basic Source Models [教程视频] B- $?5Ft! 定义组件的位置和方向 S3i p?9 - Basic Source Models [教程视频] 93:oXyFjD 正确设置通道以进行非顺序跟踪 D[?;+g/ - Basic Source Models [使用案例] *W2)!C| 使用参数运行检查影响/变化 M nZljB - Usage of the Parameter Run Document [用例] fQ~TZ:UrU SDV#p];u
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-T _hJdC|/ 5. VirtualLab Fusion 技术 3 o$zT9j a!/\:4-uc Jwfb%Xge~ 6. 文件和技术信息 U\B9Ab |m6rF7Q WcoA)we
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