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摘要 72,rFYvpK RW P<B0) 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 : g.46dp4 $k$4%
7 'fL"txW 1. 建模任务 "al`$ %( D0N9Ksq 2. 干涉条纹的变化 EJ`T$JD h`MF#617 m%PC8bf`S 3. VirtualLab Fusion概览 Xj*vh
m%i %r+vSGt;5 vpU#xm.K 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 vaon{2/I 设置输入场 =v*.p=r - Basic Source Models [教程视频] +NFzSal 定义组件的位置和方向 Dn>%%K@0 - Basic Source Models [教程视频] C^)*Dsp 正确设置通道以进行非顺序跟踪 ko^\HSXl - Basic Source Models [使用案例] Ks\ NE=;5 使用参数运行检查影响/变化 w4LScvBg - Usage of the Parameter Run Document [用例] %2V-~.Ro6 hTbI -u7BF
!u]1dxa lHV[Ln`\x 5. VirtualLab Fusion 技术 ,y%3mR_~ #);[mW{F c=AOkX3UD 6. 文件和技术信息 1 n%?l[o &)oOeRwi]. \RVW
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