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摘要 Ms=5*_J2Jk (fA>@5n 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 S4 j5- I|n?32F ~ECIL7, 1. 建模任务 8NnGN(a*D z( \4{Y
2. 干涉条纹的变化 zsM2R"[X ThvgYv--B b1TIVK3m 3. VirtualLab Fusion概览 g?.y7!m 9epMw-)k e j,)<* 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 =fRC$ 设置输入场 tgyW:<iv - Basic Source Models [教程视频]
s5/u>d 定义组件的位置和方向 J8'1 ~$6 - Basic Source Models [教程视频] k=W~ot& 正确设置通道以进行非顺序跟踪 0Ra%>e(I^ - Basic Source Models [使用案例] K<rv|bJ 使用参数运行检查影响/变化 9r.h^ - Usage of the Parameter Run Document [用例] H@xHkqan LD*XNcE Uiv4'vYg ?:tk8Kgf 5. VirtualLab Fusion 技术 ))%f"=:wt DaS~bweMw )2lB 6. 文件和技术信息 2$OV`qy@? J`]9n>G )IVk4|
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