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摘要 &_-,Nxsf ,m| :U 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 *f% u c B{UL(6\B 'c[[H3s!; 1. 建模任务 nRYHp7` |,*N>e 2. 干涉条纹的变化 L|hdV\
h0}=C_.^ F?UI8 3. VirtualLab Fusion概览 S V2DvrIR `nAR/Ye s}8(__| 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 qPEtMvL
# 设置输入场 <L4.* - Basic Source Models [教程视频] WmO.&zp 定义组件的位置和方向 k3F*D - Basic Source Models [教程视频] lSGtbSyDI 正确设置通道以进行非顺序跟踪 $#3O:aW - Basic Source Models [使用案例] p"A2N+
使用参数运行检查影响/变化 i3bH^WwE&k - Usage of the Parameter Run Document [用例] ]ow$VF{y 42* y27Dtm
nQe^Bn K(&I8vAp 5. VirtualLab Fusion 技术 2YT1]x 3 xLxXc!{J5 5*M3sN 6. 文件和技术信息 {+`'ZU6C ;DQ{6( ,t"?~Hl".
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