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摘要 qQ0C ? 2HD]?:Fk7 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 J=W0Xi! #!2k<Q*5uT ytz SAbj 1. 建模任务 K_/zuTy Rp9fO?ZjHt 2. 干涉条纹的变化 T ?Fcohz( zYY$D. c{+A J8 3. VirtualLab Fusion概览 uI~S=;o %+)o'nf"U N|g;W 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 #R0A= ! 设置输入场 a:TvWzX, - Basic Source Models [教程视频] !y:%0{l 定义组件的位置和方向 ;%C'FV e] - Basic Source Models [教程视频] 'XrRhF
( 正确设置通道以进行非顺序跟踪 }n_p$g[Nj/ - Basic Source Models [使用案例] 5yZ TcS z 使用参数运行检查影响/变化 d[ >`")2) - Usage of the Parameter Run Document [用例] ulFzZHJ >'uU)Y{
}@1q@xU /iC;%r1L 5. VirtualLab Fusion 技术 ^ KK_qC &,\=3' N,dT3we 6. 文件和技术信息 g>rp@M / $ :j CT9
QQ:2987619807
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