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摘要 M0% ):P?x #r)c@?T@j 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 R|AGN*. e[8p /hId j^~WAWbFh 1. 建模任务 ~3 z10IG Nl1v*9_x 2. 干涉条纹的变化 "-TIao# SuW_[6] KArnNmJ9 3. VirtualLab Fusion概览 aOj5b>> qN_jsJ =jmn 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 =lG5Kc{B 设置输入场 UvOB`Vj - Basic Source Models [教程视频] ,*V{gpC7 定义组件的位置和方向 [0}^w[ - Basic Source Models [教程视频]
B9^@] 正确设置通道以进行非顺序跟踪 <H~ (iQ - Basic Source Models [使用案例] 3u8H F- 使用参数运行检查影响/变化 o^},L? - Usage of the Parameter Run Document [用例] A_@#V)D2
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7@Qz fF8g3|p: 5. VirtualLab Fusion 技术 eW+z@\d9Gz 0BIH.ZV# cQUmcK/, 6. 文件和技术信息 t{K1ht$[: 'on, YEp |k> _
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