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摘要 #/WjKr n ~0 L:c&V 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 #3-hE 6/|"y B(pHo&ox
1. 建模任务 J 77*Ue^ !6*4^$i#o 2. 干涉条纹的变化 <-!'V,c lp5b&I_ ?MJ5GVeH 3. VirtualLab Fusion概览 nY?X@avo> ,.,Y{CP wKy4Ic+RV 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 ^ANz=`N5, 设置输入场 'V*8'? - Basic Source Models [教程视频] ^I!gteU; 定义组件的位置和方向 u6P U(f - Basic Source Models [教程视频] *G,r:Bnb 正确设置通道以进行非顺序跟踪 !)uXCg9U - Basic Source Models [使用案例] PML84*K - 使用参数运行检查影响/变化 2Zi&=Zj" - Usage of the Parameter Run Document [用例] T!Uf
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4?~Ei[KgQn SSr2K 5. VirtualLab Fusion 技术 $+HS^m `aaT
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Zv| |8p 6. 文件和技术信息 rXnG"A DZX4c 2J _2Fa.gi
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