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摘要 ki[;ZmQqY "o\6k"_c> 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 +Z 93` wc<2Uc a}5vY 1. 建模任务 a-z23$3 #U?EOm 2. 干涉条纹的变化 xm<5S;E5U4 hW0,5>[7% ?#VP)A 3. VirtualLab Fusion概览 'DL;c@}37 [oQ`HX1g #U",,*2 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 j6&zRFX 设置输入场 $Nt=gSWw5 - Basic Source Models [教程视频] 'U|MM;( 定义组件的位置和方向 |x _-I#H - Basic Source Models [教程视频] /tI d#/Y 正确设置通道以进行非顺序跟踪 *tq|x[< - Basic Source Models [使用案例] ZaukMEq 使用参数运行检查影响/变化 9E->;0- - Usage of the Parameter Run Document [用例] C }h<ldlY [[*0MA2Y
=\ti< g6[/F-3Qlf 5. VirtualLab Fusion 技术 )$gsU@H - eB(S+p? DWm;&RPJ 6. 文件和技术信息 1OiZNuI:E x8SM,2ud 5Gw!9{ke
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