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摘要 3vx*gfr3 BS<5b*wG 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ER0nrTlB< M\5aJ:cQ+ ^Glmg}>q 1. 建模任务 ((i%h^tGa; @]r,cPx0Y 2. 干涉条纹的变化 ZdbZ^DUR<( {E*dDv 3 @XkO 3. VirtualLab Fusion概览 XOsPKq TR:V7d {+~}iF<% 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 FncK#hZ. 设置输入场 LQT^1|nq - Basic Source Models [教程视频] po@=$HK 定义组件的位置和方向 <GoUth.# - Basic Source Models [教程视频] QkbXm[K.Z 正确设置通道以进行非顺序跟踪 HGqT"NJr - Basic Source Models [使用案例] 1}1.5[4d 使用参数运行检查影响/变化 -#Xo^-& - Usage of the Parameter Run Document [用例] &DoYz[q &NbhQY`k
A$gP: 1&m -xg$qvK 5. VirtualLab Fusion 技术 \"!Fw)wj ,l-tLc x6Q,$B 6. 文件和技术信息 &'{6_-kh \.c 13
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