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摘要 v :]y#y x.ZV<tDi7 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 :~loy' PETrMu< 8r / ]Q 1. 建模任务 X5U.8qI3 "|RP_v2 2. 干涉条纹的变化 ^_3idLE rb%P30qc4 ghd~p@4 3. VirtualLab Fusion概览 /3:R{9S% Ous[{" -J PCnE-$QH 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 W"4E0!r 设置输入场 i+T#z - Basic Source Models [教程视频] $7gzu4f 定义组件的位置和方向 'qQ 5K
o - Basic Source Models [教程视频] P,!si# 正确设置通道以进行非顺序跟踪 !zLd,` - Basic Source Models [使用案例] r=4'6! 使用参数运行检查影响/变化 J]i=SX+ 9 - Usage of the Parameter Run Document [用例] /Ik_U?$* yXS ~PG
'p-jMD}O Yo@>O98 5. VirtualLab Fusion 技术 uSbOGhP 4IG=mG) X!&DKE 6. 文件和技术信息 *3WK:0 0F=UZf& Q6Y1Jr">X
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