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摘要 hUQ,z7- &R|/t:DN 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
s cuHmY0 IKMeJ(:S IW8+_#d 1. 建模任务 I)q,kP@yY q#Zs\PD 2. 干涉条纹的变化 ihh4pD27g 2)#K+O3c E3@QI?n^^ 3. VirtualLab Fusion概览 e__@GBG 1Gt/Tq$_b {7cX#1 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 )&era` e[ 设置输入场 P o jmC - Basic Source Models [教程视频] n .!Ym
X4 定义组件的位置和方向 |9"p|6G?B - Basic Source Models [教程视频] !3mA0-!+ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 5qg2Zc~ - Basic Source Models [使用案例] (>mI'!4d 使用参数运行检查影响/变化 AC
O)Dt(Y - Usage of the Parameter Run Document [用例] ml@2wGyf Wv__ wZ
jENr>$$ <APB11 5. VirtualLab Fusion 技术 B!gGK|8 t1VH doNN i>EgG5iJ 6. 文件和技术信息 y%sroI('y 7'wS\/e4a &U+ _ -Ph
QQ:2987619807
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