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摘要 vdT+,x` >mFX^t_, 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 n!ZP?]FR >=~Fo)V!(V $FQcDo|[ 1. 建模任务 HKiVEg |5~wwL@LW7 2. 干涉条纹的变化 nl'J.dJe G?1x+H;o5 |Sr\jUIWn 3. VirtualLab Fusion概览 2rO)qjiH J7ktfyQ0W ,.oa,sku 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 Y$x"4=~ 设置输入场 O+o ;aa6 - Basic Source Models [教程视频] 0ck&kpL:9 定义组件的位置和方向 nGx ~)T - Basic Source Models [教程视频] ~)wwX:;B_ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 ]D{c4)\7C| - Basic Source Models [使用案例] cK|rrwa0 使用参数运行检查影响/变化 ]PlY}VOY - Usage of the Parameter Run Document [用例] &$m=^ i0'Xy>l
f^!11/Wv L{2b0Zh' 5. VirtualLab Fusion 技术 m)@Q_{=6M @1<omsl rT f lk 6. 文件和技术信息 Mu'^OX82 Xo,}S\wcn CGYZEPRR
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