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摘要 [uK{``" :w!hkUx# 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 uT'l.*W6i '
,S}X\ d^J)Mhju 1. 建模任务 nmts% u ]%y>l j?Y 2. 干涉条纹的变化 H%X F~tF: Dk>6PBl "l9aBBiu 3. VirtualLab Fusion概览 UfPHV%Wd gnjhy1o s5rD+g]E` 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 jw9v&/- 设置输入场 o<%0|n_O& - Basic Source Models [教程视频] $XTtD UP@
定义组件的位置和方向 f*B-aj# - Basic Source Models [教程视频] m./PRV1$x 正确设置通道以进行非顺序跟踪 S<-nlBs. - Basic Source Models [使用案例] 7KX27.~F 使用参数运行检查影响/变化 M;,$
)>P - Usage of the Parameter Run Document [用例] BV`\6SM~ PCHspe9!y
:)D7_[i p7@R+F\.}; 5. VirtualLab Fusion 技术 FOk;=+ as!a!1 !{(Bc8
hT 6. 文件和技术信息 mHHlm<?] ^a_a%ws e1LIk1`p
QQ:2987619807
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