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摘要 Bo%NFB; I`4*+a'q& 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 -_eLf#3 $l&(%\pp #$qTFN 1. 建模任务 <B8!.|19 0}quG^%_ 2. 干涉条纹的变化 xe&i^+i sYf~c0${ 5(HG| 3. VirtualLab Fusion概览 P3 ^Y"Pv? !ff&W1@ ]+:^W^bs: 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 oIj#>1~c% 设置输入场 =
6\ ^% - Basic Source Models [教程视频] !H>R%g#28_ 定义组件的位置和方向 >[=^_8M - Basic Source Models [教程视频] scLll ,~ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 3HY9\'t6 - Basic Source Models [使用案例] QbpFE)TYJ| 使用参数运行检查影响/变化 \7'{g@C( - Usage of the Parameter Run Document [用例] 03S]8l (+y
=^ 50FI| 6MdiY1Lr!K 5. VirtualLab Fusion 技术 `(/w y OMg<V ax5<#3__ 6. 文件和技术信息 MfQ?W`Kop M%;hB*9 bYQRBi
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