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摘要 V9Gk``F<RZ lSk<euCYs 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 hpVu
Lc:DJA ST[+k 1. 建模任务 C5^eD^[c }th^l*g 2. 干涉条纹的变化 U\\nSU ]9}T)Df' p~xrl jP$ 3. VirtualLab Fusion概览 !(wH}ti >7^+ag~& Vt!<.8&` 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 {k}EWV 设置输入场 MlM2(/ok - Basic Source Models [教程视频] Y4B<]C4 定义组件的位置和方向 :<$IGzw}. - Basic Source Models [教程视频] ttK`*Ng 正确设置通道以进行非顺序跟踪 66+y@l1 - Basic Source Models [使用案例] >`@yh-'r 使用参数运行检查影响/变化 yw(E} - Usage of the Parameter Run Document [用例] GqrOj++> i!=28|_
BOQeP/> #1C~i}J1 5. VirtualLab Fusion 技术 r4D6I, EdPN= 8uO@S*)0 6. 文件和技术信息 G2,r%|7ta k<M~co;L MK<VjpP0(
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