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摘要 ^lud2x$O^C q~ ]S5 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 @-qS[bV ZfsM($|a Vb yGr~t 1. 建模任务 E%8Op{zv_ a|?& 2. 干涉条纹的变化 ]/g&y5RG HI&N&a9C &\),V 1" 3. VirtualLab Fusion概览 5#|D1A s&&8~
)H V{4=,Ax 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 {BPNb{dBKr 设置输入场 3>asl54 - Basic Source Models [教程视频] &.^(,pt 定义组件的位置和方向 ]z3!hgTj - Basic Source Models [教程视频] @{/GdB,} 正确设置通道以进行非顺序跟踪 k@:M#?(F - Basic Source Models [使用案例] u-qwG/$E 使用参数运行检查影响/变化 iXLODuI - Usage of the Parameter Run Document [用例] l Oxz&m wzX(]BG
}9=X*'BO 0>{&8: 5. VirtualLab Fusion 技术 q9+`pj W;L<zFFbU) QiO4fS'~W 6. 文件和技术信息 0APh=Alq $[(amj-;l ZW+M<G
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