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摘要 UB5}i('L 7zOhyl? 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 LQ~LB'L A J<iM)l|
n'! -Pv 1. 建模任务 H<v c\r yW%&_s0 2. 干涉条纹的变化 m}; ~JMo] *U( 1iv0n (PRaiE 3. VirtualLab Fusion概览 xAR^ 7yo|ie@S iSnIBs9\ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 ^nG1/} 设置输入场 'hxs((['\ - Basic Source Models [教程视频] plzE 定义组件的位置和方向 /&~nM - Basic Source Models [教程视频] ?y+\v'3v 正确设置通道以进行非顺序跟踪 }~7H2d);- - Basic Source Models [使用案例] j4.Qvj >:4 使用参数运行检查影响/变化 *=($r%) - Usage of the Parameter Run Document [用例] p=:7 atE oA(. vr
\9dz&H gubb .EY 5. VirtualLab Fusion 技术 _Ym&UY.u# J`U$b+q6 QT7w::ht 6. 文件和技术信息 tXssejiE% &.|;yt%v BZ]&uD|f
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