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摘要 5?#AS#TD' q|B.@Ng. 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 4GJx1O0Ol !M6Km(> A8nf"mRD: 1. 建模任务 p|>/Hz1v c@O7,y:`I 2. 干涉条纹的变化 \o? on\ahk, y] 5n2}|V$VqP 3. VirtualLab Fusion概览 S`spUq1o :$^sI"hO rj eKG-Z@ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 tdi}P/x 设置输入场 "y .(E7 6 - Basic Source Models [教程视频] +P*,i$MV 定义组件的位置和方向 oM}P Wf- - Basic Source Models [教程视频] #Nv0d|0\ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 o[G,~f\- - Basic Source Models [使用案例] y5V]uQSD 使用参数运行检查影响/变化 Y,%G5X@S< - Usage of the Parameter Run Document [用例] F>q%~ OB+I.qlHP
0j-;4>p ^@q$c 5. VirtualLab Fusion 技术 {<^PYN>` 5r\Rfma >\ ym{@+* 6. 文件和技术信息 t7$2/C %lK]m`( WB|SXto%4D
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