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摘要 vW? /: =43NSY 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 :!?Fq/! !g=b=YK Gui[/iY,F 1. 建模任务 mV4gw'.;7 ),j6tq[ 2. 干涉条纹的变化 X*5N&AJ f4+wP/n& 0,.|-OZ 3. VirtualLab Fusion概览 ?gvu
E1 B8.}9 |m@>AbR5dk 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 %Lh+W<; 设置输入场 l]&x~K} - Basic Source Models [教程视频] ]gaeN2 定义组件的位置和方向 w8J8III\~ - Basic Source Models [教程视频] H/;AlN|! 正确设置通道以进行非顺序跟踪 'Yc^9;C( - Basic Source Models [使用案例] zM<L_l& 使用参数运行检查影响/变化
! R3P@,j - Usage of the Parameter Run Document [用例] n'JS- MLmaA3
CY[3%7fv +Kg }R5+ 5. VirtualLab Fusion 技术 u$(ei2f koD}o^U# b7T;6\[m 6. 文件和技术信息 h/8p2Mrqi 9e
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