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摘要 $Z4IPs C/A~r 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 \k*h& :$ is}Y+^j. Y(P<9m: 1. 建模任务 ;U$EM+9 #"aL M6Cfs 2. 干涉条纹的变化 y,=TB[d# +@5*_n\e` VNWa3`w 3. VirtualLab Fusion概览 {A MoE+U RaLc}F)9 y`.m'n7>P 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 xzTF| Z\ 设置输入场 ,N`D{H"F - Basic Source Models [教程视频] 9>HCt*|_8 定义组件的位置和方向 Z|qUVD5Ic - Basic Source Models [教程视频] <Z8^.t)| 正确设置通道以进行非顺序跟踪 HVK./yqy - Basic Source Models [使用案例] ,]|*~dd>G 使用参数运行检查影响/变化 }?XNA.Wz - Usage of the Parameter Run Document [用例] h5.AM?*TNd
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rLOdQN 7H5t!yk|9 5. VirtualLab Fusion 技术 ?br 4 wl S K7b]J> :T# "bY 6. 文件和技术信息 It3. B[nkE+s dt|f4XWF
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