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    [分享]光栅起偏器的参数优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-16
    案例315.01:光栅起偏器的参数优化 u"T9w]Z\  
    rT-.'aQ2t  
    这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。 K}n.k[Do  
    6o]{< T/'  
    关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长 eMEKR5*-O  
    qxyY2&  
    所需工具箱:高级光栅工具箱 y_Gs_xg  
    8.%wnH  
    相关案例:100.01,101.01 7On.y*  
    :|&6x!  
    相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021 | "b|Q  
    g@t..xJ,  
    建模任务: AfZGI'%4[a  
    B1I{@\z0G  
    平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 PxWH)4  
    k ^KpQ&n  
    2A*,9S|Y  
    优化目标: 2=<,#7zlJ  
    '%+LQ"Bp  
    —TE模偏振光的透过率最大化 #;1RStb:zj  
    ~rq:I<5  
    —TM模偏振光的透过率最小化 BTO l`U  
    b9wC:NgQx  
    优化函数 n Jz*}=  
    'm<L}d  
    —最小化TE的透过率 4__HH~j?Q  
    -J'ked  
    —最小化偏振度(要求>50:1) o8A8fHl  
    cYOcl-*af  
    1Qjc*+JzO.  
       WU/5i 8  
    —使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化 64y9.PY  
    x a\~(B.  
    q+;lxR5D  
    &P*r66  
    优化的自由变量为: n~jW  
    JHg;2xm"<K  
    —缝宽:10—190mm 6Y.k<oem  
    hr&UD|E=  
    —光栅深度:20—200nm P;X0L{u0H  
    %rl<%%T#.M  
    优化算法:   LR4W  
    Q2m 5&yy@s  
    —使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。 !af;5F  
    —参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 }`2+`w%uZ  
    tqt~F2u  
    光路流程图和偏振分析器: C.}ho.} r  
    A-^B ?E  
    偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 pJo4&Ff  
    @P=n{-pIW  
    对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 ?H{?jJj$H  
    0G'v4Vj0'  
    Parameter Run 的全局搜索: h7xgLe@  
    qr*e9Uk^  
    Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 k<o<!   
    K)\D,5X^  
    Parameter Run 设置 !_dW  `  
    oChf&W 8u  
    缝宽:10—19nm 步长10nm; AO7X-,  
    zR=g<e1xe  
    规划深度:20——200nm 步长10nm; gaU^l73 ,C  
    %yR 80mn8  
    使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 # ?u bvSdU  
    _JKz5hSl  
    在自由参数模块中选择深度和缝宽。 +\vN#xDz  
    ((BdT:T\_  
    使用扫描模块进行参数联合调查。 u)D!RhV&  
    优化函数依据迭代次数进行显示: ~(cqFf  
    g)<[-Q1  
    左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 \x_$Pu  
    UyMlk  
    TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。 K$$%j"s  
    ]go.IfH  
    参数构成: 'E\qqE[;  
    C+C1(b;1  
    缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%; EYZ,GT-I  
    B+'w'e$6  
      
    v1NFz>Hx  
    局部参数优化: 8nSw7:z  
    AUaupNN  
    使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。 U71A#OD^U  
    A.!3{pAb  
    起始值为:缝宽:50nm,规划深度200nm; /\pUA!G)BD  
    MR* % lZpB  
    参数和优化函数被严格定义,以便在TE透过率,偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。 woU3WS0  
    ^$8WV&5q>  
    52*KRq o  
    &{x`K4N  
    参数定义: ,^T0!k$  
    <yKyM#4X  
    规划深度为20-200nm,权重1e20 {5T:7*J  
    W6yz/{Rf  
    缝宽10—190nm权重1e20 ZD8E+]+  
     Z Mf,3  
    优化函数定义: qh wl  
    ^cojETOv  
    ——TE效率最小值被最大化(全波段) y)`q% J&  
    mgBxcmv  
    ——偏振对比度大于50(全波段) z|N*Gs>,  
    .@Jos^rxgJ  
    ——均匀误差最小化,但对于通用优化函数只具有较低影响。 `6G:<wX  
    0h"uJco,  
    ;;zd/n2b  
    选择下山简法进行局部优化。 Lor__ K  
    /oU$TaB>(  
    左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 A) TO<dl  
    fH_Xm :%  
       'i8?]` T  
    优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。 S)A;!}RK6  
    IpsV4nmnz-  
    优化过的参数为: S!~p/bB[+I  
    bY=Yb  
    缝宽:46nm;规划深度200nm;最小化偏振对比度50;TE透过率的均匀误差7% +L}R|ihkI  
    x>[ gShAV!  
    结论: ?*U:=|  
    ?h ym~,  
    偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。 G)7J$4R  
    M_F4I$V4  
    Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。 Qkg([q4  
    <D(|}5qR  
    最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。 5ZHO+@HiFH  
    QQ:2284816954 备注:光学
    Z4PAdT  
     
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