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案例315.01:光栅起偏器的参数优化 u"T9w]Z\ rT-.'aQ2t 这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。 K}n.k[Do 6o]{< T/' 关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长 eMEKR5*-O qxyY2& 所需工具箱:高级光栅工具箱 y_Gs_xg 8.%wnH 相关案例:100.01,101.01 7On.y* :|&6x! 相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021 |"b|Q g@t..xJ, 建模任务: AfZGI'%4[a B1I{@\z0G 平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 PxWH)4 k^KpQ&n 2A*,9S|Y 优化目标: 2=<,#7zlJ '%+LQ"Bp —TE模偏振光的透过率最大化 #;1RStb:zj ~rq:I<5 —TM模偏振光的透过率最小化 BTOl`U b9wC:NgQx 优化函数: n Jz* }= 'm<L}d —最小化TE的透过率 4__HH~j ?Q -J'ked —最小化偏振度(要求>50:1) o8A8fHl cYOcl-*af
1Qjc*+JzO. WU/5i 8 —使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化 64y9.PY x a\~(B.
q+;lxR5D &P*r66 优化的自由变量为: n~jW JHg;2xm"<K —缝宽:10—190mm 6Y.k<oem hr&UD| E= —光栅深度:20—200nm P;X0L{u0H %rl<%%T#.M 优化算法: LR4W Q2m 5&yy@s —使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。 !af;5F —参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 }`2+`w%uZ tqt~F2u 光路流程图和偏振分析器: C.}ho.}
r A-^B?E 偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 pJo4&Ff @P=n{-pIW 对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 ?H{?jJj$H 0G'v4Vj0' Parameter Run 的全局搜索: h7xgLe@ qr*e9Uk^ Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 k<o<!
K)\D,5X^ Parameter Run 设置 !_dW
` oChf&W 8u 缝宽:10—19nm 步长10nm; AO7X-, zR=g<e1xe 规划深度:20——200nm 步长10nm; gaU^l73,C %yR80mn8 使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 #
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bvSdU _JKz5hSl 在自由参数模块中选择深度和缝宽。 +\vN#xDz ((BdT:T\_ 使用扫描模块进行参数联合调查。 u)D!Rh V& 优化函数依据迭代次数进行显示: ~(cqFf g)<[-Q1 左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 \x_$Pu UyMlk TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。 K$$%j "s ]go.IfH 参数构成: 'E\qqE[; C+C1(b;1 缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%; EYZ,GT-I B+'w'e$6 v1NFz>Hx 局部参数优化: 8nSw7:z AUaupNN 使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。 U71A#OD^U A.!3{pAb 起始值为:缝宽:50nm,规划深度200nm; /\pUA!G)BD MR* %lZpB 参数和优化函数被严格定义,以便在TE透过率,偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。 woU3WS0 ^$8WV&5q> 52*KRq
o &{x`K4N 参数定义: ,^T0!k$ <yKyM#4X 规划深度为20-200nm,权重1e20 {5T:7*J W6yz/{Rf 缝宽10—190nm权重1e20 ZD8E+]+ Z
Mf,3 优化函数定义: qh wl ^coj ETOv ——TE效率最小值被最大化(全波段) y)`q% J& mgBxcmv ——偏振对比度大于50(全波段) z|N*Gs>, .@Jos^rxgJ ——均匀误差最小化,但对于通用优化函数只具有较低影响。 `6G:<wX 0h"uJco, ;;zd/n2b 选择下山简法进行局部优化。 Lor__
K /oU$TaB>( 左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 A)TO<dl fH_Xm :% 'i8?]`
T 优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。 S)A;!}RK6 IpsV4nmnz- 优化过的参数为: S!~p/bB[+I bY=Yb 缝宽:46nm;规划深度200nm;最小化偏振对比度50;TE透过率的均匀误差7% +L}R|ihkI x>[ gShAV! 结论: ?*U:=| ?h ym~, 偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。 G)7J$4R M_F4I$V4 Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。 Qkg([q4 <D(|}5qR 最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。 5ZHO+@HiFH QQ:2284816954 备注:光学 Z4PAdT
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