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    [分享]光栅起偏器的参数优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-16
    案例315.01:光栅起偏器的参数优化 RXNn[A4xfY  
     Ii6<b6-  
    这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。 G3t xj  
    XWn VgY s  
    关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长 bT</3>+C  
    >d@&2FTO  
    所需工具箱:高级光栅工具箱 |U~<3.:m:  
    u^&A W$  
    相关案例:100.01,101.01 GXcJ< v  
    iyN:%ofh  
    相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021 Ltv]pH}YN  
    0*VWzH   
    建模任务: `K*Q5n  
    T _r:4JS  
    平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 Y2|#V#  
    )S3\,S-.  
    rUwZMli  
    优化目标: }q`ts=dlGt  
    LI'6R=  
    —TE模偏振光的透过率最大化 Fiv3 {.  
    Q_1:tW &  
    —TM模偏振光的透过率最小化 Gq+z/Be  
    FO+Zue.RS  
    优化函数 lvdf^b/ j  
    1 Rq,a  
    —最小化TE的透过率 LuNc, n%  
    ks&*O!h  
    —最小化偏振度(要求>50:1) yUeCc"Vf  
    5c9^-|-T  
    *jLJcb*.Ap  
       gK_Ymq5>"M  
    —使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化 ~Uj=^leYO  
    &]g}u5J!=  
    %fc !2E9|  
    tankR9(o  
    优化的自由变量为: jGJLSEe_  
    C](f>)Dz /  
    —缝宽:10—190mm F7 5#*  
    mGtdO/C#B  
    —光栅深度:20—200nm I*o()  
    \jh'9\  
    优化算法: ? 8)'oMD  
    Hek*R?M|  
    —使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。 !-ok"k0,u  
    —参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 ;i8g41qjF  
    yu;+o3WlK  
    光路流程图和偏振分析器: b v G/|U  
    cq5jPZ}  
    偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 \@WDV  
    I*%-cA%l  
    对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 :Uz|3gq  
    wZG\>9~  
    Parameter Run 的全局搜索: bT\1>  
    *,3SGcYdJj  
    Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 7OC#8,  
    *Tas`WA  
    Parameter Run 设置 ~:0sk"t$1  
    4Z1ST;  
    缝宽:10—19nm 步长10nm; ?@BTGUK"C  
    KmMzH`t}`  
    规划深度:20——200nm 步长10nm; BD68$y  
    ,C K{F  
    使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 C.~,qmOP  
    kEJj=wx  
    在自由参数模块中选择深度和缝宽。 : imW\@u  
    N|1M1EBOu>  
    使用扫描模块进行参数联合调查。 ,">]`|?  
    优化函数依据迭代次数进行显示: .+qQYDE w  
    0x'#_G65y  
    左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 `lQ3C{}  
    OJ,`  
    TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。 zer%W%  
    %kv0We fs  
    参数构成: -!q :p&c  
    |h-QP#]/  
    缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%; 3cFf#a#  
    'U1R\86M  
      
    FQm`~rA~zt  
    局部参数优化: 9`wZz~hL"  
    ahuGq'  
    使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。 SFO({w(  
    H#NCi~M>3  
    起始值为:缝宽:50nm,规划深度200nm; {F3xJ[  
    H!?c\7adX  
    参数和优化函数被严格定义,以便在TE透过率,偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。 3wOZ4<B  
    Q7*SE%H  
    q'|rgT  
    C3*gn}[  
    参数定义: 4~y(`\0?4  
    $AfM>+GQ`n  
    规划深度为20-200nm,权重1e20 <%($7VMev  
    =5Q]m6-SgV  
    缝宽10—190nm权重1e20 ?>hPO73{  
    }B8IBveu  
    优化函数定义: IHe/xQ@  
    3 N.~mR  
    ——TE效率最小值被最大化(全波段) [ad@*KFxy3  
    *;1,5L  
    ——偏振对比度大于50(全波段) ]or>?{4g  
    ]j'p :v  
    ——均匀误差最小化,但对于通用优化函数只具有较低影响。 pv*,gSS  
    -j%,Oo  
    j:5=s%S  
    选择下山简法进行局部优化。 q-.,nMUF  
    u\ #"L  
    左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 |s"nM<ZNZ  
    +,2:g}5  
       V@Rrn <l  
    优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。 -}=i 04^  
    3x5JFM  
    优化过的参数为: ?kWC}k{  
    y<HO:kZ8`  
    缝宽:46nm;规划深度200nm;最小化偏振对比度50;TE透过率的均匀误差7% ZNf6;%oGG  
    .uuO>:  
    结论: M4zm,>?K  
    #,7e NM"  
    偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。 iTFdN}U  
    #N#'5w-G  
    Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。 PK;*u,V  
    _&N2'hG=sn  
    最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。 \]&#%6|V  
    QQ:2284816954 备注:光学
    |<#{"'/=  
     
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