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案例315.01:光栅起偏器的参数优化 RXNn[A4xfY Ii6<b6- 这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。 G3txj XWnVgY s 关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长 bT</3>+C >d@&2F TO 所需工具箱:高级光栅工具箱 |U~<3.:m: u^&A W$ 相关案例:100.01,101.01 GXcJ< v iyN:%ofh 相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021 Ltv]pH}YN 0*VWzH
建模任务: `K*Q5n T
_r:4JS 平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 Y2|#V# )S3\,S-. rUwZMli 优化目标: }q`ts=dlGt LI'6R= —TE模偏振光的透过率最大化 Fiv3 {. Q_1:tW
& —TM模偏振光的透过率最小化 Gq+z /Be FO+Zue.RS 优化函数: lvdf^b/
j 1Rq,a —最小化TE的透过率 LuNc,n% ks&*O!h —最小化偏振度(要求>50:1) yUeCc"Vf 5c9^-|-T
*jLJcb*.Ap gK_Ymq5>"M —使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化 ~Uj=^leYO &]g}u5J!=
%fc!2E9| tankR9(o 优化的自由变量为: jGJLSEe_ C](f>)Dz
/ —缝宽:10—190mm F7
5#* mGtdO/C#B —光栅深度:20—200nm I*o() \jh'9\ 优化算法: ? 8)'oMD Hek*R?M| —使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。 !-ok"k0,u —参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 ;i8g41qjF yu;+o3WlK 光路流程图和偏振分析器: b v G/|U cq5jP Z} 偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 \@WDV I*%-cA%l 对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 :Uz| 3gq wZG\>9~ Parameter Run 的全局搜索: bT\1> *,3SGcYdJj Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 7OC#8, *Tas`WA Parameter Run 设置 ~:0sk"t$1 4Z1ST; 缝宽:10—19nm 步长10nm; ?@BTGUK"C KmMzH`t}` 规划深度:20——200nm 步长10nm; BD68$y ,C
K{F 使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 C.~,qmOP kEJj=wx 在自由参数模块中选择深度和缝宽。 :imW\@u N|1M1EBOu> 使用扫描模块进行参数联合调查。 ,">]`|? 优化函数依据迭代次数进行显示: .+qQYDEw 0x'#_G65y 左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 `lQ3C{} OJ,` TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。 zer%W% %kv0Wefs 参数构成: -!q:p&c |h- QP#]/ 缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%; 3cFf#a # 'U1R\86M FQm`~rA~zt 局部参数优化: 9`wZz~hL" ahuGq' 使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。 SFO({w( H#NCi~M>3 起始值为:缝宽:50nm,规划深度200nm; {F3xJ[ H!?c\7adX 参数和优化函数被严格定义,以便在TE透过率,偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。 3wOZ4<B
Q7*SE%H q'|rgT C3*gn}[ 参数定义: 4~y(`\0?4 $AfM>+GQ`n 规划深度为20-200nm,权重1e20 <%($7VMev =5Q]m6-SgV 缝宽10—190nm权重1e20 ?>hPO73{ }B8IBveu 优化函数定义: IHe/xQ@ 3
N.~mR ——TE效率最小值被最大化(全波段) [ad@*KFxy3 *;1,5L ——偏振对比度大于50(全波段) ]or>?{4g ]j'p :v ——均匀误差最小化,但对于通用优化函数只具有较低影响。 pv*,gSS -j%,Oo j:5=s%S 选择下山简法进行局部优化。 q-.,nMUF u\ #"L 左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 |s"nM<ZNZ +,2:g}5 V@Rrn <l 优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。 -}=i 04^ 3x5JFM 优化过的参数为: ?kWC}k{ y<HO:kZ8` 缝宽:46nm;规划深度200nm;最小化偏振对比度50;TE透过率的均匀误差7% ZNf6;%oGG .uuO>: 结论: M4zm,>?K # ,7e
NM" 偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。 iTFdN}U #N#'5w-G Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。 PK;*u,V _&N2'hG=sn 最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。 \]%6|V QQ:2284816954 备注:光学 |<#{"'/=
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