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摘要 r!N> FE h5o6G1ur 干涉测量是一种光学计量的重要技术。 它被广泛应用于表面轮廓,缺陷,机械和高精度热变形等领域的测量。 作为一个典型的例程,在非序列场追迹的帮助下,我们在VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-曾德尔干涉仪,本案例清楚地展示了光学元件的倾斜和移位对干涉条纹图案的影响。 Y9}ga4 Al
MMN"j 建模任务 (v,g=BS, (y^svXU}a On~w` 元件倾斜引起的干涉条纹 S4Q
fx6:~h (rieg F T5_/*`F 元件移位引起的干涉条纹 8{-
*Q(=/ r}\m%(i l!*!)qCB(S 文件信息 H5eGl|Z5]^ WHy
r;m3) shZEE2Dr
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