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摘 要 J6[V7R[\ |Fi{]9(G2 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 JJZu%9~[ "\k|Z 建模任务 @y!oKF !*eDT4a
yt@7l]I &pzf*|} 倾斜平面下的观测条纹 TKe\Bi {U'\2Ge<m
{Z,_/@}N v8} vk]b 圆柱面下的观测条纹 Ls`[7w Cvp!(<<gK
!sG#3sUe[ ]?6Pt:N2 球面下的观测条纹 fg)VO6Wo& :;hz!6! F1)5"7f ;l %$-/% VirtualLab Fusion 视窗 7 'q *(v %vil~NU nSv@FT'~z =%ok:+D] VirtualLab Fusion 流程 |z7V1xF `y|_hb
Vak\N)=u \(A A|; VirtualLab Fusion 技术 @V&c=8)8 AP:Q]A6}
F)Iz: 9Vru,7g 文件信息 o (k{Ed v YJ9G"E
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