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摘 要 Z;S)GU G^
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_6le] 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 # &ei 4
|bu= T 建模任务 B}nT>Ub P_5 G'[
 l$[,V:N m%'T90mi 倾斜平面下的观测条纹 hX vC>ie(i L1WvX6
 I5)$M{ #a e,Z[Nox 圆柱面下的观测条纹 I:w+lchAMe -g:i 'e
 %g^:0me` _DAqL@5n 球面下的观测条纹 9kwiG7V1 EI)2 c.A  ~! M" ;O|u`fAqT VirtualLab Fusion 视窗 7nB X@ Uo 6J_$dzw  &O#1*y
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