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摘 要 5[<F_"x M')bHB(~v 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 ;dOs0/UM& <soj&f+ 建模任务 gQR1$n0 =)*JbwQ
%YCd%lAe, uS-3\$ 倾斜平面下的观测条纹 T<M?PlED 17i$8
z{M8Yf | T`Ro)ORC# 圆柱面下的观测条纹 y1u9B;Fd B52H(sm
DM'qNgB7 h>|u:]I> 球面下的观测条纹 L;Vq j]_ H+R7X71{ pg!`SxFD w%rg\E VirtualLab Fusion 视窗 ~v\hIm3=m 48k7/w\ Vrg3{@$ 1 KB7yG-#6 VirtualLab Fusion 流程 $`v+4] ^r4|{
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