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摘 要 IT NFmD I7_8oq\3D 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 Bv7FZK3 L]MWdD 建模任务 >12jU m) >T;!Z 5L1
y^H5iB[SPL Milp"L?B% 倾斜平面下的观测条纹 K#k/t"r f:M^q ;
JLm3qIC Sqi9'-%m 圆柱面下的观测条纹 u43Mo\"<&% = 9Yfo,F
WdOxwsq" r]Hrz'C` 球面下的观测条纹 Tbm
~@k(C !BVCuuM>w 0y|1@CS 5:r
AWq VirtualLab Fusion 视窗 U LS>v uQ3sRJi HsYzIQLL 8Ze>
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