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摘 要 a#% *H
^ <`SUBI 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 (VI(Nv:o@ ZI qXkD 建模任务 lo'#dpt< UBM#~~sM
 3D! 7,@&>3 &~/g[\ Y 倾斜平面下的观测条纹 vE 8'B^h1 , %8)I("
 rP2h9Cb pY3/AO= 圆柱面下的观测条纹 +;,J0,Yn K@%T5M4j
 m9sck:g#L1 1@ &J"* 球面下的观测条纹 mwsBj) u9~ Ncz  F%&lM[N% u,`3_I^ VirtualLab Fusion 视窗 IDw`k[k 4g2`[< S  `AvK8Wh<+ ?u:mscb VirtualLab Fusion 流程 ~MC 5rOA
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