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摘 要 N *,[(q
X2mZ~RB(p 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 |,T"_R_K `4,]Mr1b 建模任务 5Y>fVq{U?; n( 9$)B_y
 KP_7 h/e 6Z5$cR_vC7 倾斜平面下的观测条纹 sitgz)Ki^ d~KTUgH'<
 F8&L'@m9> r2\ }_pIj 圆柱面下的观测条纹 uMjL>YLq{? "8
?6;!,
 sWKv> bx z+c'-!e/ 球面下的观测条纹 ~xJ ^YkyH 5`QfysR5  nK`H;k $S^rKp# VirtualLab Fusion 视窗 Ckhw d O&Y22mu  69 J4p=c, C'PHb o: VirtualLab Fusion 流程 b?/Su<q
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 0zk054F' dKmPKeJM 文件信息 0R;`)V\^ orFB*{/Z
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