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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 L49`=p<  
     JVRK\A|R  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 WlU5`NJl]2  
     <S<(wFE@4  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 $%LjIeVA5  
     >k"/:g^t  
    所需工具箱子：光栅工具箱 o}<}zTU  
     )tB mSVprl  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Ef69]{E  
      e tY9Pq  
    建模任务 oE}1D?3Sp  
    wJip{  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 .pZwhb  
    [E+#+-n7  
    ? r^+-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 qjuX1 6o  
     9M<{@<]dm  
    DJhi>!xJ  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 aB.`'d)V  
     Ie4}F|#=  
    5TqX;=B  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Ao2t=vg  
    HKV]Rn  
    ht ` !@B  
    +v/_R{ M  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 *:wu{3g}M`  
    w[t!?(![>  
    p "u5wJ_  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 A~u-Iv(U  
    .xS}/^8iD  
    K[O'@v  
    X线偏振光模拟结果：
    vk&C'&uV9@  
    |,|b~>  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 zGF_ c9X  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 <rNCb;  
    ?Jio9Zr  
    [;%qxAB/_  
    Y线偏光模拟结果 "aHA6zTB  
    ND77(I$3s  
    \:, dWL u  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 G<U MZg  
    结论： blEs!/A`  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 L> > %  
    QQ：2284816954 备注：光学     ?*){%eE  
     
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