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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 fem>WPvG  
    PB :Lj  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 p7A&r:qq#  
    !PzlrH)M=p  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 aiKZ$KLC  
    M)U 32gI:  
    所需工具箱子:光栅工具箱 JKkR963 O  
    LI&+5`  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 U0+Hk+  
    poqx O  
    建模任务 Xh,{/5m  
    dfDz/sD*  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 @Ee'nP   
    mGXjSWsd  
    ueiXY|  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 !6pOY*> j  
    \I@=EF- &  
    CE$c/d[N.  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 DFz,>DM;  
    =-`}(b2N  
    "b!EtlT9  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    B?nQUIb:  
    i '5Q.uX  
    %r0yBK2uOp  
    ag-\(i;K]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 LsnM5GU7  
    >5&'_  
    Wb] ha1$  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 $T\z  
    3%] %c6  
    JRkC~fv  
    X线偏振光模拟结果:
    ?*~W  
    F#X&Tb{  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 *v[WJ"8@  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 *7C t#GC  
     iK$)Iy0  
    +zQ a"Ep*  
    Y线偏光模拟结果 0Ii* "?s  
    yVvO!  
    |hjm^{!TpW  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 y]B?{m``6  
    结论: + RX{  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Wc4F'}s  
    QQ:2284816954 备注:光学
    bb# F2r4  
     
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