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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 o'_eLp  
     LfvNO/:,  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 5mX"0a_Q  
     *+%$OH,  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 gb=tc`  
     DfjDw/{U3L  
    所需工具箱子：光栅工具箱 BPSi e0  
     YF(bl1>YC  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 zmg :Z p=  
     oXQI"?^+  
    建模任务 Y,m=&U  
    8&:dzS  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 t(99m=9>  
    <9[>+X  
    62o nMY  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。  GPrq(  
     ~H4Tr[8a  
    PKZMuEEy,  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 l'1_Fb  
     L*6>S_l[  
    n){u!z)Al  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     )&[ol9+\  
    ~X-v@a  
    3 jghV?I{T  
    # ';b>J  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Hv*+HUc(:  
    &r!jjT  
    c3)6{  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 nFjaV`6`@  
    q4niA  
    { 3Qlx/6<  
    X线偏振光模拟结果：
    2E.D0E Cu  
    +vYVx<uTQ  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 7Q|v5@;pU  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 'DUY f5nF  
    |~+bbN|b  
    gb26Y!7%  
    Y线偏光模拟结果 ;Ouu+#s  
    ]YUst]gu3  
    d z\yP v~  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 #U6~U6@  
    结论： ,[u.5vC  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 8*sP  
    QQ：2284816954 备注：光学     ej[Y `N  
     
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