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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 OjTb2[Q  
     Jt5\  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -qaJ@T+J+7  
     +U{8Mj  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜  |`[0U  
     #'[4k:  
    所需工具箱子：光栅工具箱 5'wWj}0!%  
     |N, KA|Gdq  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 -J*BY2LU3f  
     ewHk (ru  
    建模任务 yXP+$oox9  
    UngDXD )  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 TtTp ,If  
    .Qk T-12  
    *P2_l Q=  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Z6C!-a  
     XE8>& & X  
    @=JOAo  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 6BK-(>c(6  
     $P'Y  
    BUB$k7{z  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     sI\v}$(~  
    L kYcAY$w  
    Nki08qZ[  
    zA/ tHlKc  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 $Y'}wB{pc  
    *UBukn  
    MiHa'90{K  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 W;%$7&+0  
    &h^E_]P  
    S&(MR%".  
    X线偏振光模拟结果：
    fNR2(8;}  
    Wk<heF  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 C:z+8wt  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 LF6PKS  
    ^#-d^ )f;  
    jlaU3qXL  
    Y线偏光模拟结果 Xa o*h(Q@L  
    Z*uv~0a>9Q  
    h[eC i  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 lGoP(ki  
    结论： 8(d Hn  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 3 s%Kw,z  
    QQ：2284816954 备注：光学     ` mvPbZ0<  
     
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