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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ;e`D#khB 3T Yo 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 _D!M
nTK m3h2/}%9` 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 "`y W]v e_;%F` 所需工具箱子:光栅工具箱 :qt82tbn uKaf{=* 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 1e+h9|hGYw ~`tJvUo0 建模任务 KE }o 9F-ViDI. 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 tr#)iZ\ oxxE'cx{g 5)/4)0 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 IIYX|;1}X P\ Pc/[
Z7 3D[:Rf[ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,3g]=f WzNG<rG od|N-R 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 '_Hb}'sFI ^D>/wX\u @k#z&@b f@,hO5h(_| 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 61t- * wQZ' .q~,.yI&j 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Yg]FF`{p= ;
HR\R s%0[DO3NV X线偏振光模拟结果: $u0+29T2O ;dpS@;v 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 4Tbi%vF{ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 \?p9qR;"4 T3B|r<>I ^OGH5@" Y线偏光模拟结果 q%)*,I< P+_\}u; [|P]St- 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 CC]@`R5 结论: ~Krg8s!F& 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 )f_"`FH0d QQ:2284816954 备注:光学 yA`]%U((
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