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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 fem>WPvG PB :Lj 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 p7A&r:qq# !PzlrH)M=p 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 aiKZ$KLC M)U 32gI: 所需工具箱子:光栅工具箱 JKkR963 O LI&+5` 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 U0+Hk+ poqx
O 建模任务 Xh,{/5m dfDz/sD* 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 @Ee'nP mGXjSWsd ueiXY| 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 !6pOY*> j \I@=EF- & CE$c/d[N. 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 DFz,>DM; =-`}(b2N "b!EtlT9 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 B?nQUIb: i'5Q.uX %r0yBK2uOp ag-\(i;K] 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 LsnM5GU7 >5&'_ Wb] ha1$ 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 $T\z 3%]%c6 JRkC~fv X线偏振光模拟结果: ?*~W F#X&Tb{ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 *v[WJ"8@ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 *7Ct#GC iK$)Iy0 +zQ
a"Ep* Y线偏光模拟结果 0Ii*
"?s yVvO! |hjm^{!TpW 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 y]B?{m``6 结论: + RX{ 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Wc4F'}s QQ:2284816954 备注:光学 bb#F2r4
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