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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 s_u! RrC  
     d.snD)X  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 =+e;BYD#!  
     uL-$^],  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 * se),CP!s  
     FN0<iL  
    所需工具箱子：光栅工具箱 *@ \LS!N  
     m7,"M~\pX  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ?AQR\)P  
     ++kVq$9@y  
    建模任务 \a:-xwUu<  
    o>M&C X+j$  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 e ~G IUwJ  
    ZYl*-i&~?  
    <XpG5vV  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ovtZHq/  
     K`R  
    bmC{d  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 c5Hm94, p  
     b<g9L4s  
    U,9=&"e b  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     %Y].i/".;P  
    :as2fO$?  
    F-?s8RD  
    uY )|   
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 _'r&'s;<z  
    Daf;; w  
    CwzDkr&QC_  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 J16(d+  
    r^"pLzAx  
    -[lOf  
    X线偏振光模拟结果：
    &C E){jC  
    !_1RQ5]^  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 tw]Q5:6  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 fH 5/  
    _AVP1  
    P_c9v/  
    Y线偏光模拟结果 H|!|fo-Tx  
    lGN{1djT  
    , rc %#eF  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ON3~!Q)  
    结论： G C3G=DTt  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 .{#J2}+[_}  
    QQ：2284816954 备注：光学     &qFy$`"  
     
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