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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ;e`D#khB  
    3T Yo  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 _D!M nTK  
    m3h2/}%9`  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 "`y W]v  
    e_;%F`  
    所需工具箱子:光栅工具箱 :qt82tbn  
    uKaf{=*  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 1e+h9|hGYw  
    ~ `tJvUo0  
    建模任务 KE }o  
    9F-ViDI.  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 tr#)iZ\  
    oxxE'cx{g  
    5)/4)0  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 IIYX|;1}X  
    P\Pc/[ Z7  
     3D[:Rf[  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,3g]= f  
    WzNG<rG  
    od|N-R  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    '_Hb}'sFI  
    ^D>/wX\u  
    @k#z &@b  
    f@,hO5h(_|  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 61t-  
    * wQZ '  
    .q~,.yI&j  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Yg]FF`{p=  
    ; HR\R  
    s%0[DO3NV  
    X线偏振光模拟结果:
    $u0+29T2O  
    ;dpS@;v  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 4Tbi%vF{  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 \?p9qR;"4  
    T3B |r<>I  
    ^OGH5@"  
    Y线偏光模拟结果 q%)*,I<  
    P+_\}u;  
    [|P]St-  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 CC]@`R5  
    结论: ~Krg8s!F&  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 )f_"`FH0d  
    QQ:2284816954 备注:光学
    yA`]%U((  
     
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