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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 E]r?{t`]  
     ,V}WM%Km  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^iYj[~  
     R4d=S4 i  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 BZ^}J!Q'*  
     f|(M.U-  
    所需工具箱子：光栅工具箱 !;'=iNOYR  
     N'=gep0V@  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 \|[;Z"4l  
     #g!.T g'  
    建模任务 2X&qE}%k S  
    |y!A&d=xYn  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 *VN6cSq  
    q@2siI~W  
    Znv,9-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 8q7b_Pq1U  
     69.NPy@  
    sDV Q#}a  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,R|BG  
     g9F?z2^  
    7K:PdF>/  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     C7AUsYM  
    T51 `oZ`  
    5@W j>:w  
    +"VP-s0  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 (7*}-Uy[C  
    i!Ga5v8n:  
    i}?>g-(  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 #.[k=dj   
    >LuYHr  
    Tm?#M&'  
    X线偏振光模拟结果：
    TS5Q1+hWHV  
    u#SWj,X  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ?bu>r=oIO]  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 LOJAWR9$^U  
    {l >hMxij  
    >o,TZc\  
    Y线偏光模拟结果 GPkpXVm  
    0ZO2#>gh$  
    Y nZiT e@  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 J$v?T$LVw  
    结论： DlNX 3  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 WuW^GC{7  
    QQ：2284816954 备注：光学     W@!S%Y9  
     
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