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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 /[s$A?  
     d !H)voX  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 " duJl-  
     A3n"zxU  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 9Dl \SF[  
     P#xn!fMi  
    所需工具箱子：光栅工具箱 Z Kvh]  
     q mB@kbt  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 j7d;1 zB+G  
     $d"+Njd  
    建模任务 fCfY.vd5  
    Ua]zTMI  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 #q- _  
    K"1J1>CHQ  
    -O5m@rwt<  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 &<V~s/n=6?  
     J 0 P  
    { SfU!  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  b\2"1m0H  
     [OcD#~drO  
    DkIF vsLK  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     JF gN  
    A@ME7^w7  
    4pqZ!@45|  
    ?KN_J  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Ce:ds%  
    |>4{4  
    LPO" K"'w  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 gm DC,"Y<  
    tpN}9N  
    2. _cEY34  
    X线偏振光模拟结果：
    Mx"tUoU6z  
    AqkK`iJ#  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 =S,<yQJ  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Q)>'fZ)  
    Vz*'^=(o&  
    5*$Zfuf  
    Y线偏光模拟结果 u i1m+  
    \Hd B   
    9[D7N  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 \4k*Zk  
    结论： qE}YVKV*  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 4lCm(#T{,  
    QQ：2284816954 备注：光学     9:o3JGHSc  
     
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