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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 d6@jEa-  
     ?)[zLnxc&  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 B+e_Y\B u  
     *Iwk47J ;a  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Dyk[u g5  
     $#7J\=GZ+  
    所需工具箱子：光栅工具箱 }\939Y  
     Wbn[Q2h5  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 3']:1B  
     &[ u6oAR  
    建模任务 n;kciTD%wK  
    W-!Bl&jF[  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 #A/]Vs$  
    (}FW])y  
    qbU1qF/  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 #x5N{8  
     (' Ko#3b  
    Cl9SPz  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ?z@v3(b[  
     ikY]8BCc  
    zyZok*s  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     T018)WrhL  
    " _:iK]  
    prlyaq;4  
    DN"S,  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 s("Cn/ZkS  
    A3MZxu=':3  
    ii_|)udz  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 O2q=gYX>\  
    MvZ+n  
    4+5OR&kxZ  
    X线偏振光模拟结果：
    /lr1hW~Dbk  
    1 ;\]D9i  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 xTJ Sr2f  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 CGd[3}"  
    \)^,PA3  
    =!?[]>Dh  
    Y线偏光模拟结果 d2C[wQF  
    ]&C:>  
    ~U"by_  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ]27>a"p59Y  
    结论： k5 aa>6K  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ?qg^WDs$  
    QQ：2284816954 备注：光学     8h&oSOkQk,  
     
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