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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Hua8/:![+  
     \266N;JrN  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 'l;|t"R12  
     Af~AE2b3"  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 v/dcb%  
     oJy/PR 3  
    所需工具箱子：光栅工具箱 <s >SnOD  
     CqV \:50g  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 2]wh1)  
     {`> x"Y5  
    建模任务 %94"e7Hy  
    LTHS&3% 2  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 i%2K%5{)$D  
    =Ju}{ bX  
    Pc<ZfO #  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 9Wn0YIc  
     RP$A"<goP  
    T5)?6i -N  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 3@PVUJ0B|  
     kQ+5p Fo3  
    04:Dbt~=?p  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     @z.!Dby  
    JYq} YG=%  
    YeVhWPn@  
    ORNE>6J H  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 r|+Zni]  
    Bb)J8,LQ  
    _4+1c5Q!  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 jBM>Pe^`3  
    V#gXchH[L  
    :([,vO:  
    X线偏振光模拟结果：
    iVRz  
    4|qp&%9-  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 G>j/d7  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 r\zK>GVm_  
    0#G"{M  
    Z:}^fZP  
    Y线偏光模拟结果 K^+B"  
    !jm a --  
    4b)xW&K{  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 @)}U\=  
    结论： 8wOr`ho B  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 `?:'_K i  
    QQ：2284816954 备注：光学     BLRrHaX0  
     
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