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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Q8A+\LR~)  
     .AQTUd(_  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 (/^?$~m"  
     ?^J%S,  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 RD0*]4>]  
     M;W&#Fz%  
    所需工具箱子：光栅工具箱 M1]w0~G  
     i03=Af3  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ~;-2eKw  
     O 3?^P"C  
    建模任务 lKf kRyO_S  
    7L!}F;yT  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 A~ v[6*~>  
    ul b0B"  
    oB@)!'  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 W9{;HGWS  
     txm6[Io  
    1;?w#/&t  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ~.6% %1?  
     mE=Tj%+ x  
    4uH} SG[  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     {t4':{Y+  
    cd~QGP_C  
    's5H_ah  
    <(~Wg{  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 +K8T%GAr  
    rLY I\  
    l: kW|  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 5z_Kkf?o  
    \acGSW .c  
    =(~*8hJ  
    X线偏振光模拟结果：
    ,Y#f0  
     fOKAy'  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 S;/pm$?/  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 foBF]7Bz?  
    DZ $O%  
    zo8&(XS  
    Y线偏光模拟结果 U6o]7j&6  
    _,v>P2)  
    9xK#( M  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 "rc QS H  
    结论： ;mr*$Iu7|  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 |Om9(xT  
    QQ：2284816954 备注：光学     !s ! el;G  
     
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