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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 #FQVhgc 2M1mdkP3 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 h
,n!x:zy@ .KLuGb3JJ 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 N|)V/no 6 gjWH
}(K 所需工具箱子:光栅工具箱 N~kYT\$b# +=8Po'E^!d 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 atAA[~ g !8lW 建模任务 )gLasR.1 hzH5K 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 4%7*tVG eC39C2q\ Lgfr"{C 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 *Wa u7 |Wgab5D>V 7(;VUR%%. 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 9|m L Y|~>(
D-!%L<< 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 !R@4tSu $F%?l\7j B;Z^.3 u5ygbCm 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 `!8Z"xD
(Vv]:Y] O5?Eb 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 iT"Itz-^# u\wd<<I'] OXB-.< X线偏振光模拟结果: w1b
<>A?87 :[39g;V}c 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ?0a 0 R 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 {;/o4[jlg _@;N<$& 7A6sSfPUy Y线偏光模拟结果 WGx>{'LJ '1
$ ({{R x TZ5q*Hqx 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 NZ5~\k 结论: s`YuH <8 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 1%`:8 QQ:2284816954 备注:光学 ,gc#N
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