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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 u=f}t=3  
     tr@)zM GB  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 s~g0VNu Y  
     {jOV8SVL  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 =BroH\  
     kJk6lPSqi7  
    所需工具箱子：光栅工具箱 9six]T  
     #iVr @|,  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 cg).b?g  
     $b`~KMO  
    建模任务 Rg\D-F6:  
    Bhg,P.7  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 0}qnq"  
    u`Abko<D  
    7QM1E(cMg  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 1g>>{ y  
     S:{`eDk\A_  
    m,^UD{  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 iCNJ%AZ H  
     {pz7ADK<  
    NT;cTa=;  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     3e ?J#;  
    -s&7zqW  
    xFp?+a  
    W,bu=2K6  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 V(P 1{g  
    o@uZU4MM  
    qc"PTv0q  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 d]+2rt}]hL  
    \ fSo9$  
    i<-a-Z+^  
    X线偏振光模拟结果：
    BNq6dz$J  
    {4YD_$4W  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 wOn*QO[  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 eZMfn$McJv  
    SdNxSD$Q  
    mu$rG3M  
    Y线偏光模拟结果 1{.5X8y1x  
    v(~EO(n.  
    sfzDE&>'  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ",P?jgs^g5  
    结论： &x)nK  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 LX{mr{  
    QQ：2284816954 备注：光学     Nn-EtM0w  
     
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