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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 <u x*r#a!d  
    6'No4[F 4n  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 'n>3`1E,  
    i)ES;b4  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 :C|>y4U&(s  
    f@F^W YQm  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Il&"=LooZ  
    #g-*n@ 1  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 o $HJg  
    02J6Pn3  
    建模任务 `%mBu`A  
    ?;.1fJU>  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 y-)+I<M  
    o7 @4=m}  
    ^qId]s  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 }TX'Z?Lq  
    _#^A:a^e8  
    eJ=Y6;d$  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 y_7XYT!w  
    %<ptkZK#  
    } ^GV(]K  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    7QOC]:r  
    P^_d$  
    z)<pqN  
    Q,,fDBN  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 RZ/+ K=  
    j]F#p R}p  
    X_tW#`  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 >;'1k'  
    `~aLSpB65  
    Ti@P4:q  
    X线偏振光模拟结果:
    G5QgnxwP2  
    C_^R_  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ".Deu|>  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 {^$"/hj  
    ;5oH6{7_Z  
    ;aRWJG  
    Y线偏光模拟结果 A]SB c2   
    ]N(zom_0d  
    ">D(+ xr!)  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 %dk$K!5D0  
    结论: ,f /IG.  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 <>*''^  
    QQ:2284816954 备注:光学
    gH{\y5%rO  
     
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