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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 `i3NG1
v0 +\d56j+D 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 BKCA< 36}?dRw#p 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 }7|1 6tgt>\y 所需工具箱子:光栅工具箱 [kVS
O 6iVxc|Ia 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 9UdM`v)( 3oF45`3FV 建模任务 ,>bh$| XRM_x:+] 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 :C(=&g<]D "jeb%k 0fb2;&pUa 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 EizKoHI-z u_w#gjiC 132{#tG] 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 g1/:Q%R,
hO\<%0F g/ T
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 }"nItcp.1 %<\vGqsM \:%(q/v"X I5k$H$ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 q( 7Haa;2
T' I:R[;TB?y 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 N]>=p.#j Jj; L3S hQ,ch[j' X线偏振光模拟结果: ePOG}k($/% 7Od
-I*bt 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 !j9t*2m[ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 0.`/X66;V TH%Qhv\] $SlIr<'*" Y线偏光模拟结果 Rvqq.I8aC F|SXn\ +SP{hHa^ 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 xT3BHnQ( 结论: 3]5^r} 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 #{\J
Nb+w% QQ:2284816954 备注:光学 = 6j&4p
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