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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 +#|):aF  
     BL&D|e  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 dU4G!  
     ZX Sl+k .  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 #ErIot  
     xWa96U[  
    所需工具箱子：光栅工具箱 hDf|9}/UQd  
     d'yA"b]  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 az=(6PX  
     I )LO@  
    建模任务 ?(!<m'jEy  
    uDZ$'a  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 }}VB#   
    1`X- O>  
    SB3= 5"q  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 / W,K% s]  
     >nnjL rI  
     / hl:p  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Q6|~ks+Y  
     |4F 3Gu  
    >,JA=s  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     -a}d @&  
    3N ]  
    /W6r{Et  
    71h?t`N  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 u*<G20~A  
    f#W5Nu'*!  
    ~ }<!ON;  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 h]#wwJF  
    s] X]jfA.  
    r.V< 5xV  
    X线偏振光模拟结果：
    =7Wr  
    C98 Ks  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 7D;g\{>M  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 +6xEz67A<  
    v=~=Q*\l  
    #jja#PF]7  
    Y线偏光模拟结果 1f"LAs`%  
    Z L3aO,G2  
    osJ;"B36  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Ikkv <uY  
    结论： [,F5GW{x  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ^r7-|  
    QQ：2284816954 备注：光学     W|PKcZ ]Uc  
     
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