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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 <u x*r#a!d 6'No4[F
4n 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 'n>3`1E, i)ES;b4 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 :C|>y4U&(s f@F^W YQm 所需工具箱子:光栅工具箱 Il&"=LooZ #g-*n@
1 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 o$H Jg 02J6Pn3 建模任务 `%mBu`A ?;.1fJU> 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 y-) +I<M o7@4=m} ^qId]s 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 } TX'Z?Lq _#^A:a^e8 eJ=Y6;d$ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 y_7XYT!w %<ptkZK# }^GV(]K 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 7QOC]:r P^_d$ z)<pqN Q,,fDBN 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 RZ/+K= j]F#p R}p X_tW#` 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 >;' 1k' `~aLSpB65 Ti@P4:q
X线偏振光模拟结果: G5QgnxwP2 C_^R_ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ".Deu|> 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 {^$"/hj ;5oH6{7_Z ;aRWJG Y线偏光模拟结果 A]SB c2 ]N(zom_0d ">D(+ xr!) 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 %dk$K!5D0 结论: ,f/IG. 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 <>*''^ QQ:2284816954 备注:光学 gH{\y5%rO
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