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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 >"<<hjKJ  
     gh<2i\})'  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Y~P* !g  
     XG8UdR|  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 @  Br?  
     cjc1iciZ  
    所需工具箱子：光栅工具箱 qU+q Y2S:  
     a=AP*adx8  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 JqP~2,T  
     e6 a]XO^  
    建模任务 IZ&FNOSZ+4  
    gmdA1$c  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 MxLi'R=  
    r(p@{L185  
    yBnUz"  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ]<:qMLg  
     !f)^z9QX8  
    68nBc~iAm  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 DNGj81'c  
     ?xYoCn}Z  
    Tw@:sWC  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     @9\L|O'~?  
    OHK]=DH:M  
    905Lk>rB  
    K yDPD'  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 f#| wb~  
    %d2\4{{S  
    gbjql+Mx+  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \ 3FOI  
    B;^YHWJ6i  
    aJSBG|IC  
    X线偏振光模拟结果：
    'WcP+4c  
    C$7dmGjZ  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 baz~luM  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 VD+y4t'^  
    {/q4W; D  
    IpKpj"eoLy  
    Y线偏光模拟结果 *L=F2wW  
    Gp}}M Gk  
    e3}o3c_  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 6w*q~{"(  
    结论： );1UbqVPD  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ,xuA%CF-S  
    QQ：2284816954 备注：光学     T )"U q  
     
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