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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 AE)<ee%\\  
     $3! j1  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 !(hP{k ^g  
     {da Nw>TH  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜  OT9\K_  
     J(\"\Z  
    所需工具箱子：光栅工具箱 }V3p <  
     O\ T  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 q)ygSOtj  
     PomX@N}1  
    建模任务 :ji_dQ8k  
    b+NF: -fO  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 %3i/PIN  
    byv(:xk|'e  
    &DFe+y~PR  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 j}chU'i f  
     Hm+-gI3*  
    cK>5!2b  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ~$f+]7  
     '!!w|k d  
    TD-d5P^Kek  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     q0 :Lb  
    X9nt;A2TU+  
    zVs_|x="  
    8=7u,t  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 uKqN  
    }(-R`.e;  
    xyx.1o e!  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 +b] g;  
    \qAMs^1-  
    J?-"]s`J  
    X线偏振光模拟结果：
    x!q$`zF\\  
    >#R<*?*D}  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 HB\y [:E  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ~fs{Ff'  
    d'Z|+lq:  
    H!&]Di1Eh  
    Y线偏光模拟结果 S,vrz!'>A  
    (@O F Wc"p  
    9p(s FQ [  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 !wvP 24"y  
    结论： _"J-P={=  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 'oHtg @  
    QQ：2284816954 备注：光学     !1dCk/D&)8  
     
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