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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 um0N)&iY  
     U/NoP4~{  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 TRq6NB  
     ZJs$STJ*  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 V~5jfcd  
     Q'0d~6n&{  
    所需工具箱子：光栅工具箱 | %Vh`HT  
     ea')$gR  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 I2 P@L?h  
     [q #\D  
    建模任务 ixD)VcD-f  
    w+CA1q<  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 kW&TJP+5*  
    D >tR-  
    TWFr 4-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Jg| XH L)  
     ~R92cH>L  
    RrQJ/ts7}  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 !Q0w\j h  
     6,{$J  
    k+pr \d~  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ^.NU|NQi'  
    ~M4;  
    ?<'}r7D   
    "1 M[5\Ax  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 E=!\z%4  
    OpYY{f  
    s,&Z=zt0R  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 >V}#[/n  
    `RL"AH:+  
    WEi2=3dV  
    X线偏振光模拟结果：
    z~ /` 1  
    03#lX(MB  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 G*P#]eO  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 81 sG  
    YteO 6A;  
    IB] l1<  
    Y线偏光模拟结果 DN57p!z  
    wcY? rE9  
    }?Ai87-{  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 wEvVL  
    结论： 0^K">  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 a HR"n|7{  
    QQ：2284816954 备注：光学     :^B1~p(?sK  
     
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