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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 7_Te-i  
     9pj6`5Zn@6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 fW=<bf  
     :%AEwRZ  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 t+F_/_"B  
     J9tV|0  
    所需工具箱子：光栅工具箱 'lpCwH  
     iuXXFuh  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 'J0I$-QYk  
     ws QuJrG  
    建模任务 l44QB8 9  
    rrEf<A}  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 o[eZ"}~  
    pN9U1!|uam  
    & +k*+  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 V8WSJ=-&  
     #b)`as?!1  
    guf&V}&  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Zw{?^6;cS  
     3rHn?  
    h$9ut@I  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     V'dw=W17V  
    9dAtQwGR"6  
    0uM&F[.x@g  
    c V MRSp  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 { Dm@_&  
    HEc.3   
    3Ur_?PM+C  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ojm IEzsz  
    t~4Cf])  
    =E!Y f#p+q  
    X线偏振光模拟结果：
    #ucb  
    .)WEg|D0Ku  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 mqsAYzG  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 NySa%7@CD  
    \JR^uJ{Y  
    [742s]j  
    Y线偏光模拟结果 ]o=ON95ja  
    %;u"2L0@  
    ] `q]n  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 {' 0#<Z  
    结论： )/Eu=+d  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 Pe\Obd8d  
    QQ：2284816954 备注：光学     $~1mKx]]  
     
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