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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 grDz7\i: Y~OyoNu2 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 hg `N`O (g tOYEqx 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ;tZ 8Sh) hSk 所需工具箱子:光栅工具箱 hLyV'*} t.7_7`bin~ 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 9H%ixBnM b]WvKdq 建模任务 Wk/Il^YG t\ 9Y)d 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 7{[i) KeC&a=HL mldY/;-H!1 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 9lX+?m~ ~ R1:7]z0B ZD8E+]+ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;:Y/"5h zOL*XZ0c J]&nZud` 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 4 ..V \&s$?r @])}+4D(S \j vS`+ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 bB.Yq3KI ~rbJtz sO&eV68
[ 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 jTok1k p/jAr+XM RSF@ Oo{ X线偏振光模拟结果: #Xun>0 *18J$ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 EJTa~ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 fH_Xm :% `?vI_>md'! Qlhm:[ Y线偏光模拟结果 S)A;!}RK6 ?D=%k8)Y V5d|Lpm 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 JU-eoB}m 结论: Hd~fSXFl 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 vg[zRWh8 QQ:2284816954 备注:光学 9CHn6 v ~)
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