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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 _B7?C:8Q-  
     xiOrk  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 k&_u\D"^"%  
     -kri3?Y,  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 (VI* c!N  
     V<NsmC=g  
    所需工具箱子：光栅工具箱 l^y?L4hg)  
     )tI2?YIR  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 9Glfi@.  
     M3;v3 }z<-  
    建模任务 M= q~EMH  
    bb0McEQy  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 -anFt+f-  
    0e:QuV2X  
    ]7R&m)16  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 tqwk?[y}+l  
     K-Dk2(x  
    v6DxxE2n  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 # pjyhH@  
     p5# P r  
    ~iR!3+yg4  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Up/u|A$0V  
    NZ+?Ydr8k  
    -}qGb}F8!  
    XG\a-dq[  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b^l -*4  
    6v2RS  
    2*FWIHyf  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ?(NT!es  
    vu'!-K=0  
    +?5Uy*$  
    X线偏振光模拟结果：
    gC_s\WU  
    o +QzQ+ Z  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 qnk,E-  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 tp0!,ne*  
    At[n<8_|  
    Va/@#=,q]  
    Y线偏光模拟结果 " ,aT<lw.  
    LnI{S{]wDh  
    @a.6?.<L  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Q!2iOvK  
    结论： }2BH_  2  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 fCt\2);a  
    QQ：2284816954 备注：光学     $G-N0LV  
     
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