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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 grDz7\i:  
    Y~OyoNu2  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 hg `N`O  
    (g tOYEqx  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ;tZ8Sh)  
    hSk  
    所需工具箱子:光栅工具箱 hLyV'*}  
    t.7_7`bin~  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 9H%ixBnM  
    b]WvKdq  
    建模任务 Wk/Il^YG  
    t\ 9Y)d  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 7{[i)  
    KeC&a=HL  
    mldY/;-H!1  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 9lX+?m~ ~  
    R1:7]z0B  
    ZD8E+]+  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;:Y/"5h  
    zOL*XZ0c  
    J]&nZud`  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    4 ..V  
    \&s$?r  
    @])}+4D(S  
    \j vS`+  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 bB.Yq3KI  
    ~rbJtz  
    sO&eV68 [  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 jTok1k  
    p/jAr+XM  
    RSF@Oo{  
    X线偏振光模拟结果:
    #Xun>0  
    *18J$  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 EJ Ta~  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 fH_Xm :%  
    `?vI_>md'!  
    Qlhm:[  
    Y线偏光模拟结果 S)A;!}RK6  
    ?D=%k8)Y  
    V5d|Lpm  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 JU-eoB}m  
    结论: Hd~fSXFl  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 vg[zRWh8  
    QQ:2284816954 备注:光学
    9CHn6 v ~)  
     
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