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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 @sa_/LH!K  
     S9*68l  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 p}~Sgi  
     fvta<  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 b!-=L&V  
     'ym Mu}q  
    所需工具箱子：光栅工具箱 @}^VA9ULK  
     Z!q$d/1  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 j<WsFVS  
     v\(6uej^  
    建模任务 Q-iBK*-w  
    B!x6N"  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 wtL=^  
    P7X3>5<;q  
    Wf?[GO  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 HXh:8 3  
     <QgpePyoN  
    \u6.*w5TI  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 U |eh  
     d8Cd4qIXX  
    (uHyWEHt  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     n[;)(  
    8YPX8d8u  
    o]]tH  
    _`*G71PS  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 K{Nj-Rqd  
    s,mt%^x[  
    rw 2i_,.*~  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Jzp|#*~$E  
    |A|K);  
    1#|lt\T  
    X线偏振光模拟结果：
    o*~=NoR  
    tJ7tZ~Ak  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 7^!iGhI]r  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 r~|7paX!  
    =(R3-['QIb  
    U0W2  
    Y线偏光模拟结果 hZ|0<u  
    D\-DsT.H  
    b"Nd8f[  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 h*hkl#  
    结论： CCC9I8rZD  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 %<|<%~l&  
    QQ：2284816954 备注：光学     mU[  
     
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