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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 =w$"wzc  
     Bl\kU8O-  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 4$GRCq5N;  
     [<a%\:c m4  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 @b\_696.  
     E(+wl  
    所需工具箱子：光栅工具箱 N: jiZ)  
     T8TsKjqOZ  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 <?Izfl6  
     .x?zky^  
    建模任务 g4SYG)'R+  
    ~LW%lMy;^|  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Le:mMd= G  
    7h&`BS  
    SH$cn,3F8  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 0+y~RTAVB  
     tF g'RV{  
    cBR8HkP~  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 P^m 6di  
     =&:f+!1$  
    l@/kPEh  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     +Z~!n  
    #33RhJu5,  
    [P c[{(  
    l%U_iqL&  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 (My$@l973  
    z "$d5XR  
    S@zkoj@  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 UQ?OD~7  
    N?{1'=Om  
    -hFyqIJW  
    X线偏振光模拟结果：
    Cm<j*Cnl  
    .C;_4jE  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Sc$8tLDLj  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 o"}&qA;  
    pH l2!{z  
    KP d C9H  
    Y线偏光模拟结果 pvQK6r  
    l(w vQO  
    .A!0.M|  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 $gl<{{  
    结论： 8u5 'g1M  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 chMc(.cN0  
    QQ：2284816954 备注：光学     BS,5W]ervE  
     
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