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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 /Rf:Z.L  
    4ba[*R2  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ;y/&p d+  
    xN'$ Yh  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 U]ynnw4  
    fX2sjfk  
    所需工具箱子:光栅工具箱 xG/B$DLn  
    4hz T4!15  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Y;-$w|&P>  
    +Hgil  
    建模任务 g1Ed:V]_  
    kNR -eG  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 0*]n#+=  
    UQ c!"D  
    Py y!B  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 I() =Ufs5z  
    ^CO{86V  
    ,)@njC?J  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 w;W# 'pE  
    N?`V;`[  
    Vdd HK  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    t-B5,,`  
    %D1 |0v8}  
    Bs)'Gk`1  
    EM QGP<[  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 FkE)~g  
    @QteC@k  
    {ppzg`G\  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 %|j`z?i|  
    % b fe_k(  
    j 5}'*  
    X线偏振光模拟结果:
    t.y-b`v  
    6S`0<Z;;/  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 )G#mC0?PV  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 76H>ST@G|  
    (qglD  
    )Zf1%h~0r  
    Y线偏光模拟结果 ls7eypKR  
    b:Z&;A|"{  
    wg%g(FO  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 qG@YNc  
    结论: 3ew4QPT'  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 e,N}z  
    QQ:2284816954 备注:光学
    ZDg(D"  
     
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