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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 )AXa.y  
     cHUj6'neO  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 '<aFd)-  
     66'AaA;0^i  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 zJTSg  
     tRXR/;3O  
    所需工具箱子：光栅工具箱 gx=2]~O1(  
     5[A4K%EL  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Ql9 )  
     K~14;  
    建模任务 ,,~|o3cfq  
    k7=mxXF  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Ombvp;  
    2^fSC`!  
    _j?/O)M c  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 aZL FsSY  
     c59l/qoz  
    w6 .J&O  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 9 [wR/8Xm  
     J0yo@O  
    g({dD;  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     *h2)$^P%  
    CDGN}Q2_  
    |^t8ct?x~  
    -MItZ  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 BZRC0^-C@  
    E{E%nXR)  
    (Q6}N'T  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 'fIirGOl  
    S<DS|qOo  
    zP#%ya :I  
    X线偏振光模拟结果：
    ['_G1_p  
    (C!33s1  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 dS"%( ?o  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。  ^6Y:9+  
    5Y(f7,JX  
    m'ykDK\B  
    Y线偏光模拟结果 ompkDl\E  
    VD-2{em  
    NRZ>03w  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 \F8*HPM=*  
    结论： /WE1afe_R  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 K;#9: Z^+  
    QQ：2284816954 备注：光学     . [5{  
     
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