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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 %1)JRc  
     BRv#`  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Ii>#9>!F  
     O mph(  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 [YJ*zO  
     ajX] ui  
    所需工具箱子：光栅工具箱 EF;B)y=  
     Wj, {lJ,  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 #;UoZJ B  
     FA;B :O@:'  
    建模任务 }TDq7-(g  
    4v2JrC;  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 TJuS)AZ C  
    rym*W\AWx  
    *=77|Dba  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 D3y4e8+Z'  
     "WH &BhQYD  
    `0-i>>  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 'Z nJd j  
     epcvwM/A  
    |V^f}5gd  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     p$<){,R  
    tR_DN  
    id]}10  
    01IfvK  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Uh^j;s\y  
    ]Nue1xV_  
    EdZNmL3cB  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 w<Iq:3  
    i(xL-&{  
    fqn;,!D?9  
    X线偏振光模拟结果：
    -#g0  
    k0xm-  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 B&}lYo  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 8qT^=K $  
    1h`#H:  
    A64c,Uv  
    Y线偏光模拟结果 NSQ)lSW,;  
    z0T6a15f!P  
    s*vtCdrE.  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Q|f)Awe$  
    结论： (>dL  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 $C8s  
    QQ：2284816954 备注：光学     WctGhGH  
     
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