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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 yv1Z*wTpO  
     `j+[JMr  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。  {oQ.y  
     Ps=OL\i  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Y v22,|:  
     kaybi 0  
    所需工具箱子：光栅工具箱 c!#DD;<Q  
      n *Y+y  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 |cKo#nfzZ  
     9&(d2  
    建模任务 F/1B>2$`  
    h?UUd\RU)  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Yfro^}f  
    i6)7)^nG  
    {[Bo"a>%  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 *Cs RO  
     /3( a'o[  
    k(<:  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 #2&DDy)B f  
     A:{PPjs%LA  
    bLSZZfq  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     gmFCjs  
    *OoM[wEY  
    k)'y;{IN  
    N*vBu `  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 16;r+.FB'  
    (Nzup 3j  
    rGNYu\\  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |$hBYw  
    y;'yob  
    mgO D J  
    X线偏振光模拟结果：
    {Kbb4%P+h  
    :TPT]q d@  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 !]^,!7x,8j  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 $oPx2sb  
    { :^;byd  
    IjshxNk  
    Y线偏光模拟结果 ()Tl\  
    vS@;D7ep  
    }fS`jq;  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 w<qn@f  
    结论： &1!T@^56  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 4V6^@   
    QQ：2284816954 备注：光学     h?8I`Z)h  
     
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