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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 P%Q'w  
     'dzbeTJ D5  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 K$:btWSm  
     Eg2jexl  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 M)wNu  
     Q.V@Sawe5  
    所需工具箱子：光栅工具箱 k!$$ *a*  
     E(1G!uu<  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 i=rA;2>  
     --c)!Vxzx  
    建模任务 Z?9G2<i  
    g_>E5z.  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 \S?-[v*{  
    0A8G8^T  
    +~,q"6  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 )MoHY   
     WHLTJ]OB  
    S?D]P'<  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 V!TGFo}  
     VtU2&  
    k{|> !(Ax  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     YbZ?["S&  
    Z3u6m0!  
    A%&lW9z7  
    Su +<mW  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 5UK}AkEe&x  
    y0) mBCX  
    +J A\by  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 j9/iBK\Y  
    XGYsTquSe  
    oGbh *  
    X线偏振光模拟结果：
    'b>3:&  
    7[R`52pP  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ).Iifu|ks  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 _ KyhX|  
    r9D 68*H  
    0dD.xuor  
    Y线偏光模拟结果 q8R,#\T*  
    +OSSgY$  
    pk;S"cnk  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 jsKKg^ g  
    结论： l6MBnvi   
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 .~^A!t  
    QQ：2284816954 备注：光学     1NrNTBI@  
     
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