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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 V*C%r:5 ,v  
      3 cb$g  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 SFiK_;  
     EV$$wrohQ`  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 A0@E^bG  
     4dgo*9  
    所需工具箱子：光栅工具箱 1c%ee$Q  
     3om_Z/k  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 k\NwH?ppu  
     u@{z xYn  
    建模任务 FD+y?UF  
    $ncJc  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 mk'$ |2O  
    A.%MrgOOX  
    "3r7/>xy  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 a#k=! W  
     1e'Ez4*  
    Z +vT76g3  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 *wd@YMOP  
     L  (#DVF  
    BS@x&DB  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     T0Kjnzs  
    *2(W`m  
    m,"N 4a@  
    W~QH"Sq  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b;K]; o-/f  
    dHUcu@,  
     !=f$ [1  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \@K KX  
    w9W0j  
    W7 .Y`u[  
    X线偏振光模拟结果：
    0YApaL+jt  
    _x&fK$Y)B  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 &W|r P(  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 fEMz%CwH  
    ^hN.FIzM  
    kYl')L6  
    Y线偏光模拟结果 dTwZ-%  
    #@v$`Df<  
    97]$*&fH  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 DJGq=*  
    结论： TA"4yri=7x  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 -{=c T?"+  
    QQ：2284816954 备注：光学     $UX^$gG  
     
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