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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 T]J#>LBd vui{[" 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 @-qC".CI Tn3f5ka' 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ku=XPmZ.\ `<l|XPv 所需工具箱子:光栅工具箱 z'}?mE3i -`ykVHgg 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 c)o[3o7 }tZA7),L 建模任务 oE4hGt5x{ N[,/VCW 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 gb0ZGnI y7s.6i}7 A,s .<TG 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 IN9o$CZ: @'!61'}f {VE$i2nC8 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 }UWRH.;v xR;-qSl7Ms _j2h3lCT 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 J#W>%2"s U!x\oLP f?C !Br} 6Gs,-Kb: 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b511qc"i>M Pjff%r^ $T0|zPK5 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Mhw\i&*U Z;mDMvIu ( h@D4~(r X线偏振光模拟结果: G1'w50Yu
r4qFEFV3% 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 i=<(fq 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 T't^pO-` l9.wMs*`X '17u
Wq Y线偏光模拟结果 b\\?aR
| {:enoV" y!^RL,HIL 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ':w6{b 结论: c~|/,FZU' 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 o&~z8/?LA QQ:2284816954 备注:光学 ;SVF"Uo
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