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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 TNwBnMe  
     1Z9_sd~/6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 %:61@<  
     b*C\0D  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 k^A17Nf`2  
     S b0p?  
    所需工具箱子：光栅工具箱 "J51\8G@@  
     }M3f ?Jv  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 oWCy%76@  
     luA k$Es  
    建模任务 Gyo[C98  
    I~:vX^%9  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 y2"PKBK\_  
    05$;7xnf(  
    t9zPUR  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 1oD1ia#  
     RM^3Snd=V  
    +|Tz<\.C  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 9 \2<#,R1q  
     =m<; Jx5  
    $e(]L(o;  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     (~C_zG  
    f?KHp|  
    6??o(ziK$  
    PvmmyF  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 n^} -k'l  
    X5s.F%Np!  
    _e2=BE`W)  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \0}!qG![AA  
    /(/Z~J[  
    +Ce[OG.  
    X线偏振光模拟结果：
    j@yK#==k  
    "nkj_pC  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 87QK&S\  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 f9+J}  
    i=m5M]Ef  
    H C %tJ:G  
    Y线偏光模拟结果 bfjC:"!H  
    X@ zw;Se  
    A&HN7C%X  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 [w0@7p"7  
    结论：  O=,[u?  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 nFRU-D$7  
    QQ：2284816954 备注：光学     YY! Lv:.7>  
     
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