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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 kdmmfw  
     m .:2G  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 S"-q*!AhK  
     k@}?!V*l  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 C1V:_-  
     6Bv!t2  
    所需工具箱子：光栅工具箱 pTzwyj!SD  
     B!PT|  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 KImBQ2^Tu  
     w_gFN%8  
    建模任务 WA'4y\N  
    #:q$sKQ_$  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 &\n<pXQ  
    _ aJo7  
    *U<l$gajq  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 [nSlkl   
     .$o0$`}  
    L>trLD1pt  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 `Zdeq.R]  
     adCTo  
    , ZisJksk  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     b\Wlpb=QZ  
    )Z/L  
    [quT&E  
    S*aMUV&  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 vk:k~   
    OV~]-5gau  
    h4iz(*  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 r%:Q(|v?  
    6H ]rO3[8  
    2`Dqu"TWh  
    X线偏振光模拟结果：
    K3Sa6"U  
    m2{DLw".  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 v0aV>-v  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 p1BMQ?=($  
    %pJRu-D  
    xr*%:TwCta  
    Y线偏光模拟结果 B@+&?%ub:  
    z~m{'O`  
    KfPYH\ 0  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 eb#yCDIC   
    结论： _ArN[]Z  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 Y5/SbQYf1  
    QQ：2284816954 备注：光学     %&Fsk]T%:  
     
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