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摘要 hM "6-60 $d\>^Q 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 rE?Fp *-`-P  s ;2ih)[ vw)lD9-" 设计任务 ^_ST#fFS UfSqiu  @<ILF69b U#6<80Ke P}~nL
光栅特性与参数的严格分析 l|j} G gen R5& R ~1N 不同光栅周期的衍射效率 _%]x-yH!@ DkJ "#8Yl=  ;"w ?@ELE =;(y 5c 考虑光栅周期的选择 11YpC;[o 3%L @=q  <44A*ux 偏振相关衍射特性 ^_c6Op<F 8)bqN$*h
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