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摘要 G<n7 5! $Gv@lZ@= 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y?NL|cW4 Nw1*); b[y  W Su6 chz) lAP k/G 设计任务 Lo{wTYt:J r|u[36NmA  mn?F;= qE b>OB}Is JM|HnyI 光栅特性与参数的严格分析 f7~dn#<@ LSou]{R 不同光栅周期的衍射效率 \ +%~7Bi]z 8%#8PLB2  b;UBvwY_ ~3?-l/ $ 考虑光栅周期的选择 X$we\t |p&EP2?T  <v|"eq} 偏振相关衍射特性 BX0lk "dX~J3$
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* 偏振相关衍射特性 J&>@ >47
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 S@HC$ TjTG+uQ 偏振相关衍射特性 = 'o3 <} OX]$Xdb2:  f47]gtB -
Q:(mK* _ 基于参数优化的光栅设计 iAu/ t ?[Lk]A&"L2 具有固定周期的二维参数优化 CW
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 ls^Z"9P 二维参数优化 - 设计＃1 "CJ~BJI% %;k Hnl
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3%>)gk: Q%JI-&K 二维参数优化 - 设计＃2 }8ubGMr,Y \9VF)Y.ke
 d2`g,~d )y,^M3$?C 制造公差分析 - 设计＃2 'ztOl`I5V 5CFNBb%Xy
 f ,cd=vGj 4`5yrC d 不同光栅周期的三维参数优化 {JgY-#R?{(
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文件信息 nq M7Is
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