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摘要 &gn-Wb? |sIr?RL{C 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +C+<BzR~A. gKo%(6{n~  7 [d ? *fnvZw? 设计任务 rrqQCn9 B=n[)"5fBO  <*(^{a. O ST
Z]8cw # HAC*n 光栅特性与参数的严格分析 Pbn!KX~F~ 8 #}D
: ( 不同光栅周期的衍射效率 iWA|8$u4gm hmC*^"C>U=  =\};it{u Ws I>n 考虑光栅周期的选择 Ez+Z[*C .Z\Q4x#!Z  /,s[#J 偏振相关衍射特性 %m&@ o~+ +=BAslk
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F$ V/K&&W 基于参数优化的光栅设计 i-"
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 n'1'!J; Q 47K1$3P 制造公差分析 - 设计＃2 X;o a[! k {)8>jxQN
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