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摘要 Sm<*TH!\n_ Ck#e54gJX 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 JPn)Op6 U;/2\Ii 56JQ h F. U@8lr 设计任务 | Uics:cQC .K84"Gdx p-IJ':W dwk%!% I;Mm +5A 光栅特性与参数的严格分析 ~*bfS}F8I 7d
R?70Sz 不同光栅周期的衍射效率 P@PF"{S O:#YLmbCN 1J0gjO)AZ {U2AAQSa 考虑光栅周期的选择 |dQz(z&6{5 <oJ?J^ q{`1[R 偏振相关衍射特性 cO7ii~&%! >%;i@"
W:8MqVm34 ]=t}8H 偏振相关衍射特性 ,r*Kxy wxqX42v
1N(#4mE= L9O;K$[s 偏振相关衍射特性 nHm29{G0 k Nc-@B )YgntI@ Xuu&`U~% 基于参数优化的光栅设计 "LlQl3"= WYb}SI(E 具有固定周期的二维参数优化 .KKecdd?= QTBc_Z
V<#KFm$>C 二维参数优化 - 设计#1 Eo2`Vr9g rwJU;wy
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}O7sP^ U2m#BMV 制造公差分析 - 设计#2 BW)-F (v i<F7/p "-
'UhHcMh: QNOdt 2NN 不同光栅周期的三维参数优化 .x%w# i*/i"W<
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