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摘要 ]NTHit^EX ZR..>= 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 zc/S Jb
;el*,K  z W+wtYV4 $9W9* WQL 设计任务 *:\QD 8 ^ F<'g6 f  AqN(htGvx jS R:ltd )j6S<mn 光栅特性与参数的严格分析 rzqCQZHL5 N66jFRA;x 不同光栅周期的衍射效率 v+Mt/8 +pf 7  ge[\% .@B \&U7 考虑光栅周期的选择 7RdL/21K _^SNI ~  {Ziq~{W_ 偏振相关衍射特性 c?IIaj ! RCxqqUS\C
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B'~.>, fg 基于参数优化的光栅设计 [$] JvF hTg %T#m 具有固定周期的二维参数优化 DVpqm6$ Q
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 L\ n_q 6n *,Y+3yM 不同光栅周期的三维参数优化 qU =$ 0M
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