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摘要 lc~c=17 5[B)U">] 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?f3R+4 "K9[P :nw  5bXpj86mY 3)o>sp)Ji$ 设计任务 :eD-'#@$u H<q|je}e  3dbaCusT $ qa@;S,lp ;~$Q ;m 1 光栅特性与参数的严格分析
Ci 4c8 "[fPzIP9 不同光栅周期的衍射效率 R<Mp$K^b p$x>I3C(\  No[9m_ _7';1 D 考虑光栅周期的选择 g$"x,:2x{ "+qZv(  ecH7") 偏振相关衍射特性 d_&pxy?
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