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摘要 M}6? |ir }h)[>I( 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 r* l :F{ 3~!PJI1  ; yH1v X #(NkbJ5ka 设计任务 KI Ua .@ElfPP(L  \TBY)_[ { ~\m|pxcj ! Q5ip'L 光栅特性与参数的严格分析 Y;'7Ek) Ot }
E 不同光栅周期的衍射效率 =#<TE~n2( 3l@={Ts  ~m56t5+uw C[O \aW 考虑光栅周期的选择 =' cr@ [~i c x8H.L  cy6 P=k * 偏振相关衍射特性 ;-d :!* |f0KIb}d
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)xQA+$ H#4 偏振相关衍射特性 [sY>ac
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 ukSi9| 1-, )LwB 偏振相关衍射特性 xCV3HnZ f13%[RA9N  i=<N4Vx
b='YCa 基于参数优化的光栅设计 vxo iPqo )S|}de/a2 具有固定周期的二维参数优化 E:&ga}h
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 Bk 1Q.Un 二维参数优化 - 设计＃1 P$\vD^ \~zTc _
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 @"H+QVJ@ -)aBS3 制造公差分析 - 设计＃2 16YJQ ue s]r "-^eS3
 D g@>d0FW Oav^BhUO 不同光栅周期的三维参数优化 mIZ# uW
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