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摘要 `&c kZiq q'Tf,a 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 N64dO[op +OWX'~fd< CdjI` 5uj?#)N 设计任务 H]Z$OpI 4)urU7[ &) l?n\i]' ok\vQs(a 0[?Xxk}s0 光栅特性与参数的严格分析 fSvM(3Y<Qh :(*V?WI 不同光栅周期的衍射效率 9 X`Sm}i
&powy7rR @>Km_Ax 3K0A)W/YEs 考虑光栅周期的选择 30T)!y _H7x9
y= PmEsN&YP] 偏振相关衍射特性 kzUIZ/+ZL, EDl!w: V#gK$uv eF-."1 偏振相关衍射特性 $1L>)S hH8oyIC 7CURhDdk ~YWQ2] 偏振相关衍射特性 ywmo#qYe ,G?WAOy, E,x+JeKV `%9 uE( 基于参数优化的光栅设计 bI9~jWgGp ag;pN*z 具有固定周期的二维参数优化 Gk&)08 aP@N)" Ww+IWW@ 二维参数优化 - 设计#1 !")tU+: T<Z &kYU:R paE[rS\ Ee%%d 二维参数优化 - 设计#2 U@)eTHv}6 ,~@X{7U WUXx;9 > ?(F6#"/E 制造公差分析 - 设计#2 ;)z:fToh WH@,kH@ Kaqc74Mv a;qryUyG 不同光栅周期的三维参数优化 lc1(t:"[ 4=.89T#< CMG&7(MR g-</ua(j 制造公差分析 $)ijN^hV c&?m>2^6 {{D)YldtA mt+Oi70 走进VirtualLab Fusion }1c|gQ e L^|v ):6 8%, Ml{Z
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