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摘要 EwOV;>@T? A&nU]R8S 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +$oF]OO |V<h=D5W =[F<7pvE V<Z[ nq 设计任务 rn<PR* =Zi2jL?On [Q=dCX9% fk_o@
G!0 g!-,] 光栅特性与参数的严格分析 eImn+_ N3 X7s
`U5'l 不同光栅周期的衍射效率 #dM9pc jh y@\V+ Q+YRf3$ =$]uoA 考虑光栅周期的选择 E9;|'Vy<E \Gc+WpS( E9~Ghx. 偏振相关衍射特性 9W(dmde> _cXqAo[V
trAkcYd s8}@=]aA 偏振相关衍射特性 r#XT3qp$d @|\}.M<e*)
:_O%/k1\@ Uw47LP 偏振相关衍射特性 ^MVkZ{gtre ih7/} tg{H9tU; Hla0 5N' 4 基于参数优化的光栅设计 =5\|[NSK- xD6@Qk 具有固定周期的二维参数优化 b#X^=n2 3`k;a1Z#O'
-{ H0g] 二维参数优化 - 设计#1 ~$~5qwl B'fb^n<
K"r*M.P> kXf'5p1 二维参数优化 - 设计#2 JYTP
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"sG=wjcw^ 3\B>lKhQ 制造公差分析 - 设计#2 -?0qf,W. %@u;5qD&
8?%-'z. QDu 2?EYZq 不同光栅周期的三维参数优化 d!$Z(W0 >"C,@cN}B
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