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摘要 e xb}
y pLB2! + 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 c@t?R$c ,Xn2xOP  :jiuu@< H#TkIFo] 设计任务 )7>GXZG>= aOz Io-  QH/p y -+*h'zZ[<w Rd#R}yA 光栅特性与参数的严格分析 {@InOo!4w] ]@&X*~c^Z 不同光栅周期的衍射效率 9F/I",EA "\b>JV 5  %R k|B`ST lMFR_g?r 考虑光栅周期的选择 ~:a1ELqVw +U
o NJ  4\;zz8 5E 偏振相关衍射特性 )eyzHB,H 9M96$i`P
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TA[%eMvA 偏振相关衍射特性 ?xj 8a3F
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 7Jn%XxHq PtfG~$ h? 偏振相关衍射特性 C >*z^6Gz rqamBm 5  *S;}&VAZ
C]ss' 基于参数优化的光栅设计 l]]NVBA]) 'UhoKb_p 具有固定周期的二维参数优化
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 sVFO&|L 二维参数优化 - 设计＃1 cE\w6uBR 1 t<!m4Yd|#
 *rq*li; =6sP`: 二维参数优化 - 设计＃2 7
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 'Ea3(OsuXn !l 'nX 制造公差分析 - 设计＃2
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