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摘要 ;AarpUw' Pj*"2
LBW# 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 E0Kt4%b k,[[
CZ0j ? ~_h3bHH S'AS,'EnY 设计任务 I{u+=0^Y _qS4Ns/4s ery{>|k 88atj+N] 62/tg*) 光栅特性与参数的严格分析 Xm.["& /KCIb:U 不同光栅周期的衍射效率 mDIN%/S' G\S_e7$/ Dt+uf5o( fu`|@S 考虑光栅周期的选择 \MmKz^tO x*F_XE1#M YoRD9M~iG~ 偏振相关衍射特性 D??
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KHt#mQy)9 fmk(} 偏振相关衍射特性 &0@AM_b VaylbYUCT/ ] Y6y ]u 7
[?]DyOf 基于参数优化的光栅设计 5!^?H"#c v@]\
P<E 具有固定周期的二维参数优化 J
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si>gYO 二维参数优化 - 设计#1 KH76Vts BYsQu.N
WzO[-csy -VRKQNT 二维参数优化 - 设计#2 g2&P hvU\l`m
Qx}hiv/ &+F}$8, 制造公差分析 - 设计#2 u1i
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gx(L*y, 不同光栅周期的三维参数优化 8AVG pL 7e`h,e=
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