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摘要 <l\FHJhjq 2Zl65 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :s4CWEd J/mLB7^R gC'GZi^ gcz1*3) 设计任务 'Hq}h)` {!,+C0 0D\FFfs { u;ntDr -?GYW81Q 光栅特性与参数的严格分析 \'p)kDf Ar\`OhR 不同光栅周期的衍射效率 zRKg>GG` "\BLi C VA]%i P,O- 0w c+<CUW 考虑光栅周期的选择 aB$Y5 !|}>Y %xY'v$
% 偏振相关衍射特性 Obw uyhjQ *d%m.:)N
"BTA" t!K|3>w 偏振相关衍射特性 [6c{t W}EO]A%f.\
NSx DCTw Z,!Rj7wZ 偏振相关衍射特性 pE=wP/# |#S!qnXB \Oc3rJ( l5aQDkp} 基于参数优化的光栅设计 jx-W$@ F35e/YfG 具有固定周期的二维参数优化 :@pmgp 9'T(Fc
]ao]?=q C 二维参数优化 - 设计#1 44n^21k k6dSj>F>
D L$P `OBDx ^6F 二维参数优化 - 设计#2 {gJOc,U4b [ jafPi(#g
&<L+;k~P% ??k^Rw+0R 制造公差分析 - 设计#2 af> i yy%J{;
(0Y6tcV]R i8dv|oa 不同光栅周期的三维参数优化 Rk"_4zJk br0gB3r
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