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摘要 'UYR5Y> B~_d^` 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 s%W<dDINl /;utcc D&/L: di>cMS 4 c 设计任务 Ck!VV2U# OdB?_.+$ T16{_ 4Z/Q=Mq2 `YIf_a{ 光栅特性与参数的严格分析 g2T -TG'd %y%j*B!% 不同光栅周期的衍射效率 ANps1w#TP pb=cBZ$ J;f!!<l\ U~ck!\0&T 考虑光栅周期的选择 Gqy,u3lE f?'JAC* 1Q.\s_2 偏振相关衍射特性 P[k$vD uI DuGrt %C=]1Q=T) pe{;~-|6 偏振相关衍射特性 NwZ@#D#[ Y cJL'$`gWf ~mR'Q-hi< npNB{J[ 偏振相关衍射特性 %Pqf{*d8 4M^G`WA}t9 HVC>9_:] (1NA 基于参数优化的光栅设计 Vl2XDkhq \R3H+W 具有固定周期的二维参数优化 mb!9&&2-t r{rQu-|. ^*fxR]Y 二维参数优化 - 设计#1 V.{H9n]IO 3hK#'."`N W[}s o6 xu'yVt9RC 二维参数优化 - 设计#2 Vb'7> @-&s: Qli *<u2:=_s bpxeznz 制造公差分析 - 设计#2 &|`C)6[C E{n:J3_X^d +a*^{l}AST jr3ti>,xV 不同光栅周期的三维参数优化 &c*^VL\ V,[d66H=N _BDK`D D11F.McM 制造公差分析 3yNU$.g "1-}A(X kn/Ao}J74z t2r?N}"P 走进VirtualLab Fusion -@Uqz781 }YHX-e<Yx] z1Ov|Q` 51QRM32Y
VirtualLab Fusion 工作流程 "kA*Vc# UDL
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