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摘要 ^ =n7E (3lA0e`Y 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @fJsRWvGq [U8/nT ZJQFn <+-n
lK4 设计任务 Hz."4nhv abm 3q!a- N0Y4m_dm* <Q/)SN6_E BWy-R6br 光栅特性与参数的严格分析 u~j
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Z\EA!Cs3 不同光栅周期的衍射效率 R-9o3TPa Zfcf?&>< A8{ xZsH !CcDA/0 考虑光栅周期的选择 MO0NNVVi%U WV.hQX9P %" 7UYLX 偏振相关衍射特性 )=d)j^t9 )!\6 "{
VOM@x% 6#c ?z#*eoPr 偏振相关衍射特性 "q+Z* V%PQlc.X
mV`R'*1UC c/A?-9 偏振相关衍射特性 3&7? eO7* oJr+RO m2jts(stp Z>bNU 基于参数优化的光栅设计 A1-,b.Ni xZ P
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r8:"\%"f> 二维参数优化 - 设计#1 xS tsw5d n|&=6hiI
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' `|?<KF164 二维参数优化 - 设计#2 (b//YyqN XV]xym~
LdG? kbJ&y 3kC|y[.& 制造公差分析 - 设计#2 cMZy~> q%])dZ!lE
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` UHvA43 不同光栅周期的三维参数优化 c, .@Cc2 J.R\h!
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