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摘要 T _sTC) &a #k_H N}B 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 f ` :i.Sr _u{c4U0,  BDVHol*g M7+nW ; e% 设计任务 `VKf3&|<A !,[C] Q1  T32+3wb"I Yu?95qk tP V6t,BJjS 光栅特性与参数的严格分析 Vl_:c75" fQL"O}Z 不同光栅周期的衍射效率 Mr?Xp(.}G @)
s,{ F  ]Tkc-ez (4' $y`Z 考虑光栅周期的选择 M&N B/ PH?#)l D  =
QQ5f5\l 偏振相关衍射特性 `!D s6 Ggl~nxz
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2WtRJi?b| 偏振相关衍射特性 \2ZPj)&-E
?*?R P)V
 A,\6 nO67 dDm):Z*`b 偏振相关衍射特性 yHHt(GM|o K?s+ 3  T/^Hz4uA7
MF~H"D
n 基于参数优化的光栅设计 w QNxL5B _<a7CC g 具有固定周期的二维参数优化 cU{e`<xjA
Kv.>Vf.T}_
 -8 r 二维参数优化 - 设计＃1 TJ: ]SB Ku\Y'ub
 A,%C,*)Cg ;QW3CEaUq 二维参数优化 - 设计＃2 AtF3%Z v2 ,z;ky 5Ct
 uL3Eq>~x zX0md x<|< 制造公差分析 - 设计＃2 4'-|UPhx Si_%Rr&jW
 taFn 6KVn nK E<C&Cjz:H 制造公差分析 E2c B U{x
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文件信息 srYJp^sC
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