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摘要 {hf_Xro& izl-GitP 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 jJvd!,=) @Q nKaZ8jW  v;?W|kJ.u `\ IaeMvo 设计任务 .) %, R A/lznBHR  XJl
3\* !J {[XT ,d.5K*?aI 光栅特性与参数的严格分析 Ji=`XsV s{X+0_@Q 不同光栅周期的衍射效率 OaoHN& " ~@ <o-|# 
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