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摘要 Zm^4p{I%o* ) j_g*< 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bncIxxe ?,O{,2} d7qHUx'=z 2D,9$ 0k_] 设计任务 <9B\(' `)/G5 fB c 7E=1*C< *O+G}_} M9[Fx=
qY 光栅特性与参数的严格分析 ]]J2#mN:n 6$lj$8\ 不同光栅周期的衍射效率 bT2 b)nf XL1v&'HLV 49E<`f0 U5[xW 考虑光栅周期的选择 ^duNEu0* @YHB>rNf(7 RU|{'zC\v 偏振相关衍射特性 Gcna:w>6d 51u8.%{4
h S/oOeG<Y M1^,g~e 偏振相关衍射特性 al.~[T-O+ FY|.eY_7 {
Pq ZMuUd ^w/_hY!4/ 偏振相关衍射特性 l\vtz5L ^F"Q~?D) NjIe2)}' ]L@VpHEj 基于参数优化的光栅设计 C0eP/d k4FxdX 具有固定周期的二维参数优化 3Sv<Viuo q$ (@
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"5S; 二维参数优化 - 设计#1 -
&Aw]+ T0J"Wr>WY
t."hAvRL 2"*7HS 二维参数优化 - 设计#2 9=p^E# d a;jXMR
q-P$ \": ![YLY&}s 制造公差分析 - 设计#2 sDL@e33Yb .{%~4$yu7
lS&$86Jo( |!NKKvf 不同光栅周期的三维参数优化 ^tc2?T mojD
@.T(\Dq^ .]}kOw:(# 制造公差分析 ?&W1lYY K<'L7>s3lA
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