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摘要 iQS?LksQX HA"LU;5>2J 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Yr!<O&= wN"irXG zaR~ fO Z3"f7l6 设计任务 tHD
mX 2i8'*L+j e$ E=n hNSV}~h SbrBlP:G 光栅特性与参数的严格分析 no^I![_M g7#_a6 不同光栅周期的衍射效率 Wv$e/N`l dAohj
QH: GiI2nHZc GXJJOy1"! 考虑光栅周期的选择 F6YMcdU *}cF]8c5W L@9"6& 偏振相关衍射特性 MX6;ww o=4d2V%m
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5Yn `QAotSO+ 偏振相关衍射特性 ^=FtF9v .,<-lMC+
"VB-=. A 5k<qJ9 偏振相关衍射特性 ^~8l|d_ Z3T:R"l; d|w%F= cPkN)+K 基于参数优化的光栅设计 K%$%9y jW"C: {Ol; 具有固定周期的二维参数优化 @tRq(*(/: r68'DJ&m3
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二维参数优化 - 设计#1 3QZw >Ix)jSNLgo
)!e-5O49r {pm>F}Cwy 二维参数优化 - 设计#2 +Q8Bin TBvv(_
&=xm>;`3 _Z@- q 制造公差分析 - 设计#2 owJPEx @ $4(!80-
[D^KM|I%+ 5! NK 不同光栅周期的三维参数优化 DU|0#z=*t5 uJ {N?
B}C"Xc 2_R'Kl![ 制造公差分析 zl=RK {xMY2I++
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