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摘要 m%)S<L7
l 4gn|zSe>^ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FOS*X Bn*QT:SKC *I`Eb7
^ 8D`TN8[W 设计任务 5YQJNP %=i/MFGX mN'sJ1L- Q*R9OF ,A>cL#Oe 光栅特性与参数的严格分析 NX?6
(lO, :-cqC|Y 不同光栅周期的衍射效率 :<xf'. SHqz&2u kjOI7` DU M0woJt[& 考虑光栅周期的选择 BJnysQ -
*xn`DH 8FQNeQr 偏振相关衍射特性 oX?~ `6{4?v
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gX/? 0t)5K O 偏振相关衍射特性 (YHK,aC>u KZ|p_{0& 10m`LG CjLiLB
基于参数优化的光栅设计 W(PNw2 [V41 Gk 具有固定周期的二维参数优化 *.+N?%sAP) Qe]aI7Ei
2.&%mSN 二维参数优化 - 设计#1 /rv=mlpRL s h}eKwh
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二维参数优化 - 设计#2 G[Jz(/yNH R5fZ}C7
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Ad` T$tO[QR/ 制造公差分析 - 设计#2
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_j|U>s {\ogw0X 不同光栅周期的三维参数优化 &e5,\TQ V#V<Kz
@|@6pXR. g HKA:j`c 制造公差分析 1|5TuljTd MDfC%2Q
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