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摘要 W58?t6!
= !9r%d8!z 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FhBV.,bU,m Ex]Ku ~$^>Vo *v8daF 设计任务 <{ v
%2 sb_/FE5e 9vDOSwU* ^uw]/H3?L j$6Q]5KdoS 光栅特性与参数的严格分析 :F[s kQ&Q_FSO 不同光栅周期的衍射效率 8#,_%<?UVy @C=gMn.E FaWc:GsfB 6)i>qz). 考虑光栅周期的选择 7 J6Z? 6; )5v gWj r|m< 偏振相关衍射特性 ;C1#[U1Uy #Q=c.AL{
a0A=R5_ !^NZp%Yd 偏振相关衍射特性 hCgk78O? dS Tyx#o
8[AU`F8W 6q`)%"4k 偏振相关衍射特性 qW4\t sieC7raO {gu3KV hRB?NM 基于参数优化的光栅设计 UNv!G/i-5 csJ)Pt?d 具有固定周期的二维参数优化 sL\ {.ad5 yEh{9S%6p
Gi@c`lRd1 二维参数优化 - 设计#1 x2HISxg }{,Wha5\n
tfm3IX 6'uCwAQU 二维参数优化 - 设计#2 (5+g:mSfr \=|=(kt)
NZ8X@|N T?Z^2.Pvc 制造公差分析 - 设计#2 d2U?rw_ Q3bU"f
'+iLW~ |)&d9|] 不同光栅周期的三维参数优化 N|"kuRN# @6R6.i5d
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