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摘要 h`}3h<
8 2w$twW- 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6R29$D|HFO {+g[l5CR[ ro[Y-o5Q0 KZBrE$@%5 设计任务 $Vv}XMxw OW(&s,|6x ~/tKMS6T Y3ZK%OyPR :;!\vfZbU 光栅特性与参数的严格分析 da$BUAqU Ab1/.~^ 不同光栅周期的衍射效率 @lUlY2 Q^Bt1C k 2%S`/: v1.q$ f^( 考虑光栅周期的选择 0%;146.p @)8]e
S7 Y#01o&f0n 偏振相关衍射特性 8S;CFyT\n i(6J>^I
n|4;Hn1V m$$?icA 偏振相关衍射特性 0D(cXzQP G;oFTP>o
(a6?s{( Ok%}|/P4 偏振相关衍射特性 NgB 7?]vu WIh@y2&R .]}N55M nD,{3B#
基于参数优化的光栅设计 !|m9| 5GAy "Xd 具有固定周期的二维参数优化 <V_7|)'/A w9#R'
} IlP: 二维参数优化 - 设计#1 Z# Lx_*p]Q J%dJw}
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p`+VrcCBOd 77:'I 制造公差分析 - 设计#2 8t.dPy< Ws49ImCB
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