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摘要 a0.3$ }_22 wjm~ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 fEc_r:|\6 hNo>)$v!s  [\
YP8^.. ({VBp[Mh 设计任务 ^z; ,deoGh Hc%\9{zH  vxT "BvN ]r1{%:8 %Nl(Y@dD* 光栅特性与参数的严格分析 $)]FCuv B/hHkOoo 不同光栅周期的衍射效率 %pkq ?9 ee ^_Dh4  y ( 'aP*++^ 考虑光栅周期的选择 5)5bt q)[ E}vO*ZZEw  N>Y50 偏振相关衍射特性 $#FlnM<= ]q7 LoH'S
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 b ]&zDo|8 0P40K 偏振相关衍射特性 cu`J2vm3 gNN"
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.^IhH|U 基于参数优化的光栅设计 ]N"F?3J 8 4
6lEJ 具有固定周期的二维参数优化 WTYFtZD[yH
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 Q_0x6]/! zHOE.V2Qo 二维参数优化 - 设计＃2 ;Fem<p)V 5 t`ap
 ZHF(q6T _<*GU@ 制造公差分析 - 设计＃2
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