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摘要 SE)_5|k* d{0b*l% 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 2/sD#vC f/H rO6~k%
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qe4hNFq OYzt>hdH 在VirtualLab Fusion中查看 vP^]Y.6 Zq~2 BeB GRCc<TM,U 5#g<L ~ VirtualLab Fusion的工作流程 L!V`Sb GK)3a 9; •构造光栅结构 V.)y7B - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] qGuz`&i - 倾斜光栅的高级配置[用例] O_K@\<;~ •分析光栅衍射效率 /%po@Pm#I - 光栅级次分析器[用例] `!S5FE"- •使用参数优化优化光栅参数 V9-pY/v9 •使用参数运行进行容差分析 #pBAGm3 - 参数运行文档的用法[用例] +P/"bwv0 <*0MD6$5
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