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摘要 ~er\~kp yU8{i&w4 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 oS7(s 9lGOWRxR)
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t Wx~k&[&E 建模任务 _~rI+l A /9zE^YcT
]da^xWK 34wkzu 1阶的参数优化 ={5#fgK> rAs,X
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G!Um,U/g es>W$QKlo 结果-容差分析 05snuNt]- ~BDu$
`ORECg) $2M#qkik- 在VirtualLab Fusion中查看 ^2$ lJ 3/b;7\M Pfm_@'8 '0\@Mc U] VirtualLab Fusion的工作流程 K"b`#xN(t %e`$p=m •构造光栅结构 rp6q?3=g - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] &BtK($ - 倾斜光栅的高级配置[用例] ^{xeij/ •分析光栅衍射效率 <c%W")0 - 光栅级次分析器[用例] @FC"nM
•使用参数优化优化光栅参数 n @?4b8" •使用参数运行进行容差分析 PH*\AZJCl - 参数运行文档的用法[用例] vTaJqEE b:R-mg.VT{
G NS`.fS ?[&2o| VirtualLab Fusion技术 = <j"M85. ;U<rc'qE
6<N5_1 LY[~Os W 文件信息 8[|UgI,>z i~3u>CT
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