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摘要 7t-Lz|
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ^;F{)bmu+)
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 J7-^F)lu- l54 |Q 在VirtualLab Fusion中查看 )"O{D`uX kReG:  e&X>F"z2 Zzd/K^gg VirtualLab Fusion的工作流程 w\|Ei( gp|1?L 54 •构造光栅结构 B94
&elu - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] qg,N b - 倾斜光栅的高级配置[用例] m$ y]Lf •分析光栅衍射效率 Fm j= - 光栅级次分析器[用例] r>qA $zD^ •使用参数优化优化光栅参数 0kCQ0xB[a5 •使用参数运行进行容差分析 [^PCm Z6n - 参数运行文档的用法[用例] oJaAM|7uv
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