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摘要 "@DCQ Sw>AgES 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 h$y1"!N( S-g`rTx
'Q?nU^:F# <5G*#0gw 建模任务 Ggsfr;m\` 8g^OXZ
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[6H W1i Kn $*{PUj |U>BXX P VirtualLab Fusion的工作流程 1Hp0,R} @I_A\ U{ •构造光栅结构 2(Vm0E - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ]@)X3}"! - 倾斜光栅的高级配置[用例] `[2nxP>w` •分析光栅衍射效率 pg ;agtI - 光栅级次分析器[用例] g< M\zD •使用参数优化优化光栅参数 :I1)=8lO •使用参数运行进行容差分析 (G*--+Gn - 参数运行文档的用法[用例] 1BmevEa) {;=I69X
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