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摘要 +/ #J]v- h.67]U7m 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 })J]D~!p _%t w#cM
MFC= oKD l!oU9 建模任务 }Iu 6]?|' =/zQJzN
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P/^:IfuR 5Eq_L 在VirtualLab Fusion中查看 b6#V0bDXHD J&lQ,T!?B S:Hg
=|R ]E, VirtualLab Fusion的工作流程 u\6:Txqq OYe @P •构造光栅结构 P}cGWfj - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] m,-:(82 - 倾斜光栅的高级配置[用例] K !`t EW[ •分析光栅衍射效率 Cfa?LgSz - 光栅级次分析器[用例] n`}vcVL; •使用参数优化优化光栅参数 ujHqwRh •使用参数运行进行容差分析 <
=sO@0(< - 参数运行文档的用法[用例] q4Q1Ib-<2 $=t&NM
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