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摘要 =HSE o`#;[
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 T&!>lqU!J U{;i 864:}
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xF ,J[Aj hsl Js^ 在VirtualLab Fusion中查看 1.';:/~( 51rM6
BT zcA"\ ]{y ';MZ VirtualLab Fusion的工作流程 5%W3&F6% N.VzA
6C •构造光栅结构 `yVJ `}hm - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] *|4~
0w - 倾斜光栅的高级配置[用例] %;zA_Wg •分析光栅衍射效率 R{*p\; - 光栅级次分析器[用例] ]`|bf2*eA •使用参数优化优化光栅参数 6L*y$e"Qc •使用参数运行进行容差分析 5[ @4($q8 - 参数运行文档的用法[用例] #cApk 8..itty
f[%iRfUFw ]])i"oew VirtualLab Fusion技术 E(S}c*05O jm*v0kNy
J"SAA0)@ -Y+[`0$' 文件信息 fygy#&}~ Y@pa+~[{h3
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