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摘要 ~%C F3?e6 qTN%9!0@9 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Aq*?Q/pV .}v" `>x
096Yd=3h z#ki# o 建模任务 E>f{j:M }]PHE(}7
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Bdxdx*zt SOOJq C 1阶的参数优化 5OtdB'UITd tpC^68*F
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DKu$u ]Z IsE3-X| 在VirtualLab Fusion中查看 BWy-R6br ,LN^Zx* Z\EA!Cs3 R-9o3TPa VirtualLab Fusion的工作流程 Zfcf?&>< A8{ xZsH •构造光栅结构 !CcDA/0 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] MO0NNVVi%U - 倾斜光栅的高级配置[用例] )J> dGIb •分析光栅衍射效率 $x+7.%1m)~ - 光栅级次分析器[用例] p\&/m •使用参数优化优化光栅参数 h!K"
;qw •使用参数运行进行容差分析 8K-P]] - 参数运行文档的用法[用例] 'JJKnE zQ SFd_k9
qbfX(`nS QfAmGDaYQ VirtualLab Fusion技术 1' U ;Vat\,45pg
wCg7JW# 3PZ(Kn< 文件信息 1x;@BV
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