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摘要 8@ f!,!Wn ^EN
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d@^%fVhG
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 L[: A U e :G98u X t 在VirtualLab Fusion中查看 L9^ M?.a #c' B2Jn  [< g9jX5 @ x*xgf VirtualLab Fusion的工作流程 L1+s0g> g T+wn-3 •构造光栅结构 i@D4bd9lR - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] o R8'^G0< - 倾斜光栅的高级配置[用例] ->OVNmCB`+ •分析光栅衍射效率 EF$ASNh" - 光栅级次分析器[用例] >Mh\jt\ •使用参数优化优化光栅参数 `e;r$Vpd_ •使用参数运行进行容差分析 t%e<]2 -8 - 参数运行文档的用法[用例] %H{;wVjK
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