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摘要 [2,u:0 " r8~U@$BBK 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 S&P5##.u` :I }_
uv[e0,@ :Y [r^=> 建模任务 }f6x> 9bT,=b;
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.-N9\GlJ,d b`K~l'8 在VirtualLab Fusion中查看 8L 9;VY^Y JCZJ\f*EZ p$@=N6)I.k <96ih$5D1 VirtualLab Fusion的工作流程 ?xX`_l y\@;s?QL •构造光栅结构 N_r*Ig - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] "O|fX\}5 - 倾斜光栅的高级配置[用例] _ #l b\ •分析光栅衍射效率 (vjQF$Hp - 光栅级次分析器[用例] cuquA ~ •使用参数优化优化光栅参数 g m], •使用参数运行进行容差分析 M)EUR0>8 - 参数运行文档的用法[用例] 4aB`wA^x rsP-?oD8)
gpr];lgS =fi.*d?$7 VirtualLab Fusion技术 +.\JYH=yEr zAB-kE\)
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