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摘要 f e Nr!/ {zb H.V[
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 l3-Ksw U
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 O;H/15j:sK v#-%_V>ph 在VirtualLab Fusion中查看 l*nS gUg 1O(fI|gcO  QREIr |q' CXUNdB VirtualLab Fusion的工作流程 R#1m_6I .W yI.Y1 •构造光栅结构 t$\]6R U - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] s <<vHzm - 倾斜光栅的高级配置[用例] Dm 'Q& •分析光栅衍射效率
HkEp}R - 光栅级次分析器[用例] %A82{ •使用参数优化优化光栅参数 B Am{Gb •使用参数运行进行容差分析 Bc t>EWQ - 参数运行文档的用法[用例] .YS[Md{
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