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摘要 uPz+*4+ 46 A sD 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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}T?X6LA$I8 5p0~AN) 在VirtualLab Fusion中查看 v ccH(T pi"H?EHk MKHnA|uQ]( }%< ?] VirtualLab Fusion的工作流程 > G\0Z[<v, VdHT3r •构造光栅结构 E'AR.! - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 0j$\k|xFXZ - 倾斜光栅的高级配置[用例] 37U8< •分析光栅衍射效率 Xoe|]@U` - 光栅级次分析器[用例] h,{m{Xh •使用参数优化优化光栅参数 ZbFD |~[ V •使用参数运行进行容差分析 }LUvh - 参数运行文档的用法[用例] BIx*t9wA iQG!-.aX
!nmZ"n|}p 9[eiN VirtualLab Fusion技术 L!Jx`zM^ o|xf2k
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