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摘要 ^\ [p6> !yd B,S 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 +YvF+E E;a,].
CP7Fe{P =o9s?vOJ 建模任务 >?@5>wF jSp&\Wj b
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(g_\ 1阶的参数优化 dL0Q8d\^T 7ui<2(W@0
H\>{<`sD;f <odi>!ViH 结果-容差分析 FOG{dio .aNh>`OT'
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)J 'F]s (7g"ppf 在VirtualLab Fusion中查看 0
P YYG '7'/+G'~& {]dxFhe) liS' VirtualLab Fusion的工作流程 XY'=_5t ;KQU%
k$ •构造光栅结构 cNd&C'/N - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 0T`Qoo>u - 倾斜光栅的高级配置[用例] -YQh
F;/ •分析光栅衍射效率 -9dZT - 光栅级次分析器[用例] $V87=_} •使用参数优化优化光栅参数 {?yVA •使用参数运行进行容差分析 +ayC0 - 参数运行文档的用法[用例] wH|%3@eJ {"'M2w:|D1
@(#vg\UH }uIQ@f` VirtualLab Fusion技术 /l7 %x. XCI
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