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摘要 !4WEk 5+- I5HX|~ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 i0:>Nk lwT9~Hyp
=>|C~@C? er2cQS7R 建模任务 06 i;T~Y \}5p0.=
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BQ/PGY> 5|I55CTx 结果-容差分析 A(8n yHeEobvb
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rY0u|8.5Q EpYy3^5d 在VirtualLab Fusion中查看 HfB@vw^ jjzA .8?(7 J~#$J&iKh +9XQ[57 VirtualLab Fusion的工作流程 `_vB+a kW@,$_cK •构造光栅结构 `.%JjsD< - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] id^sr
Mw - 倾斜光栅的高级配置[用例] +nL+N •分析光栅衍射效率 5D Y\:AF - 光栅级次分析器[用例] QA#3bFZt1n •使用参数优化优化光栅参数 (:pq77 •使用参数运行进行容差分析 h3*
x[W - 参数运行文档的用法[用例] F_;DN:
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