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摘要 6"_FjS3Sl !xe<@$ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 |&RdOjw$u {Qw,L;R
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Qi9N d6hWmZVC 建模任务 s/,St!A4! 3$HFHUMQsk
.' .|s?s :kFWUs= 1阶的参数优化 fWKv3S1dT bd)A6a\h
Y=}b/[s6; K bwWrf> 结果-容差分析 NaVZ) zyCl`r[}
xTAC&OCk^[ {Ja#pt 结果-容差分析 Z#4? /' Ns1u0$fg
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#7 hsfVKlw- 在VirtualLab Fusion中查看 FirmzB Il5 YJ!6)d?C. ]MB^0:F- :Z=A,G VirtualLab Fusion的工作流程 y@_4OkR@ WfO6Fvx% •构造光栅结构 vn,L),"= - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] #;^.&2Lt - 倾斜光栅的高级配置[用例] 0kC!v, •分析光栅衍射效率 MR+ndB< - 光栅级次分析器[用例] yiI&>J)) •使用参数优化优化光栅参数 M:C*?;K: •使用参数运行进行容差分析 *5|\if\ - 参数运行文档的用法[用例] M>T#MDK\( &1B)mj
WVwNjQ2PM 40q8,M VirtualLab Fusion技术 c]xpp;% ] |5![k<o#
Xb;CY9& TH6g:YP`7 文件信息 t3bDi/m ^(&:=r.PC
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