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摘要 Ye '=F (~R [K,G 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 rNgFsFQ>. D5wy7`c
e;y\v/A VOkEDH 建模任务 jm_b3!J 1keH 1[
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ju5 y"Fp4$qb 在VirtualLab Fusion中查看 i'GBj,: uQwKnD?F+e z|w@eQ", 1Na*7| VirtualLab Fusion的工作流程 Y:GSjq )ZU)$dJ>V •构造光栅结构 v99gI%TA' - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] aZ[
aZU - 倾斜光栅的高级配置[用例] N$8do? •分析光栅衍射效率 uSeRn@ - 光栅级次分析器[用例] SLzxF uV •使用参数优化优化光栅参数 j.? '*?P •使用参数运行进行容差分析 (;f7/2~` - 参数运行文档的用法[用例] ?;s}GpEY: K%Dksx7ow
wT;3>%Mtr N7S?m@ VirtualLab Fusion技术 X@;o<2^ ,G";ny[$
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