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摘要 0AL=S$B) ;,%fE2c 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 V_ .5b&@ Sw ig;`
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f@wquG' B"1c 在VirtualLab Fusion中查看 SJn;{X>)q /T0F"e)Ci IL#"~D? 6*78cg Io VirtualLab Fusion的工作流程 2*;~S44 HdUQCugxx: •构造光栅结构 gwuI-d^ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] _Xe>V0 - 倾斜光栅的高级配置[用例] 5H<m$K4z •分析光栅衍射效率 hd%Fnykq - 光栅级次分析器[用例] -P$PAg5"2 •使用参数优化优化光栅参数 @<hb6bo,N •使用参数运行进行容差分析 N2^=E1|_ - 参数运行文档的用法[用例] _7Ju 99e.n0
S6Q q$d>(vbq VirtualLab Fusion技术 JzQ_{J`k oM>l#><nq
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