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摘要 l@JSK; 1L nyWZ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 _[K"gu _oFs #kW
52_# Q`%R[# 建模任务 L<V3KS2y IA&L]
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AK!hK>u` =sJ
_yq0#R 在VirtualLab Fusion中查看 4Y> Yi*n %V`F!D<D I` K$E/ns M:KbD| VirtualLab Fusion的工作流程 *l+OlQI0+ $2^`Uca •构造光栅结构 (>4aibA'P - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] D]a:@x`+Bz - 倾斜光栅的高级配置[用例] ?~"bR% •分析光栅衍射效率 g>rp@M - 光栅级次分析器[用例] YTQt3=1ii •使用参数优化优化光栅参数 }9HmTr| •使用参数运行进行容差分析 kum#^^4G| - 参数运行文档的用法[用例] f3j{V N %@a8P
J_;N:7'p .nu @ o40 VirtualLab Fusion技术 w]b,7QuNz NcOPL\
g]c[O*NTL :F,O 文件信息 5!YA o\S p(;U@3G
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