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摘要 N IO; 54bF)<+ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 A5`#Ot*3 !Mm+bWn=mB
}6F_2S3c uHTKo(NG 建模任务 +*WUH513 g4?Q.'dZr
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R V_MWv =P@M&Yy' 结果-容差分析 wR`w@5,d g6tWU
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GFSlYG U)IsTk~}O 在VirtualLab Fusion中查看 98"z0nI% +?J_6Mo@X R(n0!h4 ]DL>
.<]d VirtualLab Fusion的工作流程 =PeW$q+ S|z( •构造光栅结构 ~ ]m@k'n - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] MfZ}xu - 倾斜光栅的高级配置[用例] vh:UXE lm •分析光栅衍射效率 ZipK;!9by - 光栅级次分析器[用例] iPtm@f,bI •使用参数优化优化光栅参数 *cb
D&R\ •使用参数运行进行容差分析 sbq44L) - 参数运行文档的用法[用例] nFf\tf%8 Rzn 0-cG
o#KPrW`XJ/ A{n*NxKCX! VirtualLab Fusion技术 tZc.%TU gP_d>p:b
v=yI#5 * zJiii 文件信息 +'YSpJ MIMPJXT#.
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