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摘要 X ka+1c %Y,Ru)5} 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 PPh<9$1\g Q
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=uEpeL~d;+ ))<vCfuz2 设计任务 %gWQ}QF ~NLthZ(O
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纯相位传输的设计 o ZQ@ Yu3 E~VV19Bv]/ 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 R / ND f` {&L^|X
*!E~4z= /F46Ac}I 结构设计 %Y"pVBc lr?SL\D 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 FHEP/T\5 (F9e.QyWb
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D 使用TEA进行性能评估 KW3<5+w]c G/#m.=t 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 An^)K W*Ow%$%2
5ArgM% i7cUp3 使用傅里叶模态法进行性能评估 78 ]Kv^l^_ ,In%r`{i 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 jatlv/, |MagK$o
U$3DIJVI 0-;>O|U3 进一步优化–零阶调整 2 |JEGyDS- q+2A>:| 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 /W .G-|: =F}qT|K
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A/ J*Ie# :J] 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 iOSt=-p d R=0K
T>7N "C BkPt 1i VirtualLab Fusion一瞥 U OGjil{. Qe-Pg^PS] +\;Ro18? ;#S]mso1 VirtualLab Fusion中的工作流程 ]9)iBvQlj !]E]Xd< • 使用IFTA设计纯相位传输 jSH.e? •在多运行模式下执行IFTA JtsXMZz •设计源于传输的DOE结构 VH<d[Mj −结构设计[用例] IG{Me •使用采样表面定义光栅 MkjB4:" −使用接口配置光栅结构[用例] f F)M'C •参数运行的配置 >;R`Q9s7 −参数运行文档的使用[用例] <2L,+ ?1c7wEk
)UpVGT) Bha("kG VirtualLab Fusion技术 c
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:uB?h1| 6R^32VeK($ 更多阅读 -mGG:#yP - Grating Order Analyzer /5z,G r - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces :T?WN+3 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern <66%(J> - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark 54JZOtC3~ 'q_ Z
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