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摘要 CL1*pL mXp#6'a 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 rN}8~j "4\
EwN{| 34C &=kv69v 设计任务 F6[F~^9D j@z IJ
dz([GP'-* Dc-K08c 纯相位传输的设计 } jJKE lEFd^@t 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 %}9tU>?F# p lnH
1$vG Q 6[A\cs 结构设计 PO"lY'W.U nTr%S&<+" 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 W"vLCHTh Ldz]FB|
5U475& CLaQE{ 使用TEA进行性能评估 <3B^5p\/ hYkkr& 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同
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E C [Xu8~c X 使用傅里叶模态法进行性能评估 ,w#lUgp I
</P_:4G 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 3E|||3rf H<_Tn$<zH.
c]|vg=W |})s 0TU 进一步优化–零阶调整 Hloe7+5UD ]H
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gt}Atr6>_ SF:98#pg VirtualLab Fusion一瞥 $k\bP9
1YV1Xnn, F6q=W#~ I3nE]OcW@ VirtualLab Fusion中的工作流程 w"9h_;'C_ Ep;uz5 ^8 • 使用IFTA设计纯相位传输 JI!1
.]& •在多运行模式下执行IFTA b\}a
•设计源于传输的DOE结构 v8f3B<kj −结构设计[用例] #H~55 ))F •使用采样表面定义光栅 l ubsL I −使用接口配置光栅结构[用例] qB$-H' j:; •参数运行的配置 8?nn4]P −参数运行文档的使用[用例] -t4:%-wv cn} CI
7He"IJ XS&Pc VirtualLab Fusion技术 zq</(5H &s`)_P[
swj\X,{ Dr.eos4 ~ 文件信息 @o0HDS uBww
jv~#'=T' :5~Dca_iU4 更多阅读 R1LirZlzJ - Grating Order Analyzer IE \RP! - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces `C>h]H( - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern $=plAi - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark SdlO]y9E QgU]3`z" _|C3\x1c QQ:2987619807 55O}S Us!P
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