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摘要 zqY)dk 2!BsEvB( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 )}quw"H #sS9vv7i
6vF/e#}, v O PMgEI 设计任务 4'` C1 a ;c$@@l
*l:&f_ngV Fk aXA.JE 纯相位传输的设计 zx7#)* Hl/7(FJqc> 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 Rh[Ib m56 my4\mi6P
ZzT&$J7]`{ &/iFnYVhy 结构设计 22|"K**3J| ? -CV
%l 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 loBtd%wY .x>HA^4
V'C-'Ythwf ex!XB$X 使用TEA进行性能评估 ?3Pazc]+| fy`+Efuj 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 UDMyyVd SYeE) mI
ZJ9x6|q %6Rn4J^^ 使用傅里叶模态法进行性能评估 ?d~]Wd !z 4QO/ff[ o 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 P,U$ %C! $HxS:3D%D
"Tv:*L5 X5 j=C] 进一步优化–零阶调整 =!<^^6LZ -<PC"B 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 "ee'2O F;-90w
w2C&%Xk X>{p}vtvf> 进一步优化–零阶调整 :PUK6,"5]O O2% ` 2h 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 *%I[ ke * (_U^
05"qi6tncz gvGi%gq VirtualLab Fusion一瞥 W_%W%i| 8""mp]o9 O k*Z SOs,) VirtualLab Fusion中的工作流程 S~> 5INud GkciA{ • 使用IFTA设计纯相位传输 eG4>d^`c •在多运行模式下执行IFTA Dp`HeSKU^ •设计源于传输的DOE结构 SY|Ez!tU:N −结构设计[用例] !)nD xM`p •使用采样表面定义光栅 >D~w}z/fk −使用接口配置光栅结构[用例] =U
c$D* •参数运行的配置 -%H%m`wD −参数运行文档的使用[用例] c|Y!c!9F H]]c9`ayt
2f^-~dz S/fW/W*/} VirtualLab Fusion技术 ED/FlL{ y?Onb3%
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3nrqo<X Ka.Nr@Rq*~ 更多阅读 x2m]Us@LIU - Grating Order Analyzer S>#R_H<( - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces jtCZfFD? - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern `iQqhx - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark SM<d u7#z^r r)8z#W>s QQ:2987619807 cix36MR_
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