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摘要 j/^0q90QO $orhY D3gv 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 |(S=G'AtU X0U{9zP
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Z _/MKU!\l 设计任务 0kC!v, .[O*bk
KZDB \T 2I>C A[qp 纯相位传输的设计 @~a52'\ NO9Jre 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 vx-u+/\ NTVG'3o
k92189B9j/ pK$^@~DE 结构设计 .g4bV5ma3 Jnv91*>h8 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 ,L_p"A Em
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使用TEA进行性能评估
?f &*mp ][_:{ N/ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 AY * VDQ&BmJE
u,'c:RMV 8K1+ttjm 使用傅里叶模态法进行性能评估 ExnszFX* eL-92]]e 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 3HfT9 &f!!UZMt)
(r7~ccy4 4I2ppz 进一步优化–零阶调整 '9RHwKu&s 5a_K|(~3I 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 '3<YZWS ,',fO?Qv'
e4?}#6RF XFM6.ye 进一步优化–零阶调整 7AtJ6 Ak4iG2 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 w+ _'BU1# 0WYVt"|;}c
+n%WmRf6! ~omX(kPzK VirtualLab Fusion一瞥 `)SkA?yKI ?2.<y_1 mT\] h`jtmhoz VirtualLab Fusion中的工作流程 9#pl BtQ** QvqX3FU • 使用IFTA设计纯相位传输 bC"#.e •在多运行模式下执行IFTA r)h+pga5^E •设计源于传输的DOE结构 Jd)|==yD −结构设计[用例] 1uS
_]59= •使用采样表面定义光栅 /S P^fB*y −使用接口配置光栅结构[用例] ^bS&[+9E •参数运行的配置 ?$8OVq.w, −参数运行文档的使用[用例] }JvyjE &K|CH?
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T2^@x9 WM*7p;t@) VirtualLab Fusion技术 "4i(5|whp? r@k&1*&
CA:t](xqQ eX$u 文件信息 )*$'e<?` E}4R[6YD
c00a;=ji >`\~=ivrD 更多阅读 qKZ~)B j - Grating Order Analyzer ANi}q9SC - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces $)z(4Ev - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern s$| GVv1B - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark Lk=f^qJ
] 4GeWo@8h lP\7=9rh^x QQ:2987619807 )t&j0`Yq
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