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摘要 r5gqRh}+ ./I? |ih 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 kI"9T`owR o}=*E
{`):X _$T fgqCX:SWz 设计任务 (&.T qb;b.P?~D$
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I%8@ : 纯相位传输的设计 f@`|2wG Ab[o~X" 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 GLIY!BU<C F;_c x
@(c^u; )@9Eq|jMC 结构设计 Z;N3mD+\ye .<vXj QE 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 u3Z]!l gaC4u,Zb
Zrwd t;Z9p7rk 使用TEA进行性能评估 \s[L=^! `StuUa 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 [^GBg>k /&\V6=jA1
@-K[@e/uwy %h(%M'm? 使用傅里叶模态法进行性能评估 //N="9)@ 2ZV; GS# 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 KC&XOI % ]35`N<Ac
>VZxDJ$R W{Je)N 进一步优化–零阶调整 uO]|YF S]=.p-Am 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 OYxYlUq x] `F#5j
@r[SqGa: Py#EjF12 进一步优化–零阶调整 `%~}p7Zu Lj|wFV 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 \:F$7 *Ne :FU?vh$)
i`f!) 1 T^MY w VirtualLab Fusion一瞥 \15'~]d OcWKK!A UW} @oP$r JFc,f VirtualLab Fusion中的工作流程 "oiN8#Hf iku*\,6W • 使用IFTA设计纯相位传输 _1Rw~}O •在多运行模式下执行IFTA ceJ#>Rj •设计源于传输的DOE结构 C7R3W, −结构设计[用例] >`&2]Wc) •使用采样表面定义光栅 1yz%ud-l −使用接口配置光栅结构[用例] 55ec23m •参数运行的配置 >WZbbd- −参数运行文档的使用[用例] Vb#a ,t G"m0[|XH
(x/:j*`K FXY>o>K%h VirtualLab Fusion技术 g i/k#3_m `WCL-OoZc5
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文件信息 h4KMhr _IOUhMo
`Rq|*:LV Q3=5q w^ 更多阅读 h]~FYY - Grating Order Analyzer >Q(\vl@N= - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Bca$%3M - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern 1 Vc_jYO@ - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark q$yg^:]2 RuVk>(?WK% 'xai5X QQ:2987619807 1; kMbl]
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