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摘要 O/bpm-h`8c mZb[Fi 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 xH/Pw?^ HA::(cXL
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H;iAv LSN%k5G7. 纯相位传输的设计 p@bcf5' {fAj*,pzl 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 84UI)nE:Q eE-c40Bae
@gHWU>k,A v|K<3@J 结构设计 #E#.`/4 @N,I}_ 9- 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 #Hy fjj _/%,ZoZ2
'q9='TOk cri.kr9Y 使用TEA进行性能评估 >Vvjs XVNJ3/ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 SFRQpQ06 *>f-UNV
KD)+&69 gBCO>nJws 使用傅里叶模态法进行性能评估 +ZxG<1& <4QOjW 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 :KL5A1{ ^lYa9k
f*Dy>sw ^J_rb;m43 进一步优化–零阶调整 56Gc[<nR Lavm 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Z_Z; g]|! M4m90C;dq
}9,^=g- MEZc/Ru-[ 进一步优化–零阶调整 &@anv.D >!7 \Rx 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 5gnmRd F"*.Qq
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OA VirtualLab Fusion一瞥 /"*eMe!= [J71aH c5e
wG Z}*{4V`R VirtualLab Fusion中的工作流程 %Yi^{ZrM }|W n6X • 使用IFTA设计纯相位传输 js#72T/_n •在多运行模式下执行IFTA j/<z[qr •设计源于传输的DOE结构 hR1n@/nh −结构设计[用例] 3]u[NR •使用采样表面定义光栅 !Hp H −使用接口配置光栅结构[用例] *MBu5
+u%e •参数运行的配置 0~0OQ/>7 −参数运行文档的使用[用例] |#6))Dh bEz1@"~
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aHvsgp] #^FDFl VirtualLab Fusion技术 {zf)im[. V<+=t{
2/]74d8 &/7D4!N] 文件信息 YLEa;MR u{_jweZ
n,E=eNc }&{z-/;H 更多阅读 O5:2B\B - Grating Order Analyzer W$X@DXT=o - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces :Vyr8+] - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern 6mH --!j - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark #kt3l59Ty m.K@g1 G =vaC?d3 QQ:2987619807 >){"x(4`
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