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摘要 Hs[}l_gYn 4)c+t"h 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 *I:mw8t ,3:QB_
[zY!'cz? 6RH/V:YY 设计任务 X$BXT R]CZw;zS_
8W-]t1O%! ]@*tfz\YaH 纯相位传输的设计 McEmd.S<n w`M]0'zls 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 >W8bWQ^fK dav vI$TA
@(i*-u3Tq %z1{Kus 结构设计 N\_( w:q BiA>QQ 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 :tKbz
nd/ hgj CXl
\C|;F /ca(a\@R 使用TEA进行性能评估 )nhfkW=e 7.%f01/i 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 a
]>V ZOet c+1vqbqHG
?^U c= u-lrTa""z 使用傅里叶模态法进行性能评估 ?LM:RADCm y0;,dv] 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 Y\.DQ aJI>FTdK
7k>zuzRyF ;JYoW{2 进一步优化–零阶调整 ?3[tJreVj VR"8Di&) 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 QS\Uq(Ja\ \ZqK\=
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-NMe 1c'79YU 进一步优化–零阶调整 +hpSxdAz4 ~+<<bzY 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 THJ
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C}9Kx }q @2u#93Y VirtualLab Fusion一瞥 ?C}sR: K/ k'x#t( z=B<
`}@3 2pz4rc VirtualLab Fusion中的工作流程 WI6(#8^p M=W
4:H,gx • 使用IFTA设计纯相位传输 L/)B}8m\ •在多运行模式下执行IFTA ^L ]B5,}- •设计源于传输的DOE结构 ANotUty;y −结构设计[用例] z<t>hzl7 •使用采样表面定义光栅 o,J^ e_ −使用接口配置光栅结构[用例] 0F1u W>D1 •参数运行的配置 b9y)wBC%` −参数运行文档的使用[用例] J=@xAVBc M"B@M5KT
*(icR S4)A6z$ VirtualLab Fusion技术 I
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!f`5B( @ Uh}+"h5 文件信息 W]zwghxH 4j^bpfb,
N2T&,&,t O~atNrHD 更多阅读 GoazH?% - Grating Order Analyzer W1hX?!xp! - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces bH,M,xIL2 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern J
B(<.E2 - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark aV#h5s lQWBCJ8y <W2ZoqaV QQ:2987619807 8A!'I<S1
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