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摘要 q'9}Hz %p d-{KR 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 Ec4+wRWk85 ,Nk{AiiN
9*&RvsrX Et0[HotO 设计任务 _(zPA4q8q WAzn`xGxR"
tqYwPSr v<u`wnt 纯相位传输的设计 S`t@L} |%HTBF 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 _*1{fvv0{ 7Z7e}|
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rzV(_ 结构设计 &ZR} Z7E*= Bsc 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 j~;kh_ kKlcK_b;
4n5r<?rY ^|kqy<<X 使用TEA进行性能评估 r0'6\MS13 `{v!|.d< 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 H4Lvw8G y}
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QKVFH:"3 ^6kE tTO* 使用傅里叶模态法进行性能评估 :d{-"RAG" lXnzomU 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 m2esVvP c8<qn+=%?
]8~{C>ch$ lHI;fR 进一步优化–零阶调整 i"Z l.3|0lopX) 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ):5M + r&0IhE
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V VirtualLab Fusion一瞥 |%~Zo:Q<$> +B#+' 0~( f<: T
P#Hq VirtualLab Fusion中的工作流程 appWq}db tsf)+`vt • 使用IFTA设计纯相位传输 tH^]`6"QUa •在多运行模式下执行IFTA 15dbM/Gj •设计源于传输的DOE结构 W9M~2<
L −结构设计[用例] -Ed<Kl •使用采样表面定义光栅 )z
Hib;O −使用接口配置光栅结构[用例] zg+6<
.Sf •参数运行的配置 ~[ZRE @ −参数运行文档的使用[用例] -?}Z0e(w glI4Jb_[
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+0 VirtualLab Fusion技术 jBLLx{ !L?diR
(Ee5Af,4 7%)KB4(\_ 文件信息 =6H +rN&@}Jt.
Z#znA4;) |SSe n#PYp 更多阅读 K|V<e[X[V - Grating Order Analyzer `E:&a]ul - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces mnm7{?#[ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern {[:]}m(c - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark rZ:-%#Q4 4uy:sCmu D@?Tq,=
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