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摘要 b'OO~>86 TM}F9!*je 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 {,
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<Hp"ZCN ^"Y'zIL 设计任务 WY,t> 1c 1^;h:,e6
I%&9`ceWY <\8 纯相位传输的设计 W>~%6K>p v Y\O=TZT 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 ]UI+6}r 2mO#vTX4
Q. XsY.{ LJ)) 结构设计 g5Vr2 s,k1KTXg<B 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 $SXxAS1 -7$'* V9$
vz:0"y Z:hrrq9 使用TEA进行性能评估 c-T
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aR a(~YrA%~ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 J*Hn/m V[M#qZS
L8zqLDi& =s]{ 使用傅里叶模态法进行性能评估 ]*@$%iCPE $.1'Ym 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 Zz-;jkX) jq]"6/xxb
Yel(}Ny Mh|`XO.5I 进一步优化–零阶调整 $te,\$&} nc~d*K\! 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 [J`G`s! Zsogx}i-
B|=maz:_ N]}+F w\5 进一步优化–零阶调整 +I n"OR% 2S6EDXc 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 :\JbWj_j ~BZV:Es
Bqi2n'^O2 m#$za7 VirtualLab Fusion一瞥 KL mB cOZ^huK -ikuj b=UMoWS VirtualLab Fusion中的工作流程 <M?#3&5A .4W>9
8 • 使用IFTA设计纯相位传输 dO;vcgvb •在多运行模式下执行IFTA s~ZFVi-i •设计源于传输的DOE结构 yn[ZN-H~ −结构设计[用例] |a$w;s>\ •使用采样表面定义光栅 eKz~viM' −使用接口配置光栅结构[用例] "EYjY-> •参数运行的配置 (y=o]Vy −参数运行文档的使用[用例] Ww&- `. t/WnDR/fM
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RWa _1> 4Q% VirtualLab Fusion技术 (OcNC/9 !TL}~D:J
xO-U]%oq )UZ0gfx 文件信息 >MWpYp !K3cf]2UD
v6-~fcX0G s|j<b#<xQ 更多阅读 6a?$=y - Grating Order Analyzer h_chZB' - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces (g/X(3 - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern Rfc&OV - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark `6N-MsP e_k
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