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摘要 j^;P=L0= 3=o4ncg( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 vNs`UkA q.<)0nk
2@?X>, WtKKdL 设计任务 "wcw`TsK Z m%,L$F*L
CS(XN>N 1_Ks*7vuq 纯相位传输的设计 TDbSK&w :s 6]Q#4 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 aeI0;u hr&&b3W3p
b{,v?7^4 A`JE(cIz3 结构设计 pZK 1G ;du},>T$n 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 u{va2n/ d(XOZF
Itv cN 1<Mb@t 使用TEA进行性能评估 XkkzY5rxOc ~OsLbz: 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 '(C+qwdRv ^n<YO=|u
ZA. SX|m [ `1`E1X 使用傅里叶模态法进行性能评估 h~]e~u V N8df1>mW 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 4eB oR%2o )+'=Zvgej=
GDC@s<[k hu} vYA7ZH 进一步优化–零阶调整 9B;WjXSe P
qC#[0Qy 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 ||*F.p 2A@oa9
sbX7VfAR` B|"/bQ 进一步优化–零阶调整 "adic?5 0{%@"Fb0O 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Al6%RFt AD<>)(
9XtO#!+48 1\UU" VirtualLab Fusion一瞥 "_LqIW1 vdvnwzp!l <XG]aYBR )92(C VirtualLab Fusion中的工作流程 0Fon`3(^\ P (7Q8i' • 使用IFTA设计纯相位传输 a%U#PF6
•在多运行模式下执行IFTA zSD_t •设计源于传输的DOE结构 l,]%D −结构设计[用例] p&V64L:V •使用采样表面定义光栅 "=
%"@"<) −使用接口配置光栅结构[用例] svDnw cl •参数运行的配置 mF~]P8 −参数运行文档的使用[用例] C P&u <yX u!
8@LWg d 9O-~Ws ; VirtualLab Fusion技术 J^7M0A4K 60{DR >S
f 42F@M(: r ~UDK]?V 文件信息 pO7OP"q1 'Ca;gi !U
c%hXj#; y;fF|t<y 更多阅读 ^78N25RU( - Grating Order Analyzer N0^SWA|S - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 4FZR }e\ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern `Rfe*oAf - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark r9N?z2X b(R.&X l#T%N@X QQ:2987619807 '6){~ee
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