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摘要 aqM_t `{wku@ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 KB"iF}\P0 u.[JYZ
>1~`tP w3w*"M 设计任务 2wBU@T1 9(l'xu X
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_cw^5 nTU~M~gky 结构设计 \z`d}\3(R #Q@6:bBzv 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 "|'`'W 9`v:$(I
|<|,RI? (YJAT 使用TEA进行性能评估 3Gl]g/ C9H11g7{ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 L[G\+ ePpK+E[0Z
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A\ fF>qU- 使用傅里叶模态法进行性能评估 (I[h.\% IaTq4rt 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 ;v+uv f z){UuiUM+=
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n 进一步优化–零阶调整 kw^Dp[8X /N]Ow 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 lMzCDx!m g}
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YV3TxvXMR 9 QCpXy VirtualLab Fusion一瞥 dI
ZTLb"a Y\g90 ^z%o]; zUEfa!#? VirtualLab Fusion中的工作流程 &X]=Qpl >uchF8)e| • 使用IFTA设计纯相位传输 L >Ez- •在多运行模式下执行IFTA %hQMC'c •设计源于传输的DOE结构 #1jtprc −结构设计[用例] lq\' •使用采样表面定义光栅 =wlm −使用接口配置光栅结构[用例] ycl>git] •参数运行的配置 c6Yf"~TD0 −参数运行文档的使用[用例] kHJDX; "x.6W!
V6z@"+ u_p7Mcb VirtualLab Fusion技术 ezg^5o; "%}Gy>;
ET,0ux9F s#+"5&!s 文件信息 gI^L
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409x!d~it ~}7$uW0ol 更多阅读 R8=I)I-8 - Grating Order Analyzer SG
dfhno; - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces >/!7i3Ow- - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern (c(-E|u. - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark r
1l/) ; Xr@l+zr 7d|*postv QQ:2987619807 /RJ6nmN@}
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