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摘要 ZI$P Qz2i *j,noHUT~> 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 %<Qv?`B gJwX
{s*1QBM$\Z wH=7pS"s 设计任务 _z]v;Q K\ pZ
'^7Z]K <v h^IizrqU 纯相位传输的设计 BH}rg,]G !F6rcDK I 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 T[[E )f1[ "3 2Ua3m:G
9@M;\ @&g 1$}Tn 结构设计 H_Hr=_8}- _8`S&[E? 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 60|m3|0o rwwyYIlEg
6eB~S)Ko A#pH$s 使用TEA进行性能评估 g:c?%J J~@W":v 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 %ID48_>* M!VW/vdywL
{ }Afah W1M Bk[:Q 使用傅里叶模态法进行性能评估 z:Ru` vXdI)Sx[ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 Frx_aGLH1 >W:kTS<
N^[MeG,8 44^jE{,9 进一步优化–零阶调整 qMO(j%N5 _!vuDv% 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 "0>AefFd# JGhK8E
vvG*DGL)qL Yv{$XI7 进一步优化–零阶调整 'OhGSs| FV OPC:}bj 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 _lH:%E* 7/=r-
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VirtualLab Fusion一瞥 /GNm>NSK Ni;jMc 6%c]{eTd9 1NN#-U VirtualLab Fusion中的工作流程 7;#o?6!7 M;.:YkrUH • 使用IFTA设计纯相位传输 JVx-4? •在多运行模式下执行IFTA xiC.M6/ •设计源于传输的DOE结构 0)vX
−结构设计[用例] kf' 4C
"} •使用采样表面定义光栅 QcdAg%"yy −使用接口配置光栅结构[用例] Jjx1`S*i •参数运行的配置 #("E)P −参数运行文档的使用[用例] N71%l S;!7/z
I<&) P#" YO.+06X VirtualLab Fusion技术 $C{-gx+: %F0.TR!!n
f Lns^ jpiBHi]5+ 文件信息 ?j8_j s<LYSr d
R{Me~L? [-=y*lx%g 更多阅读 EHq?yj; - Grating Order Analyzer 0*/[z~Z-1 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces j;&su=p" - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern ~N+H7T.L - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark Kl :x?"g) $viZ[Lu!m ? C6tYd QQ:2987619807 [jKhC<t}
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