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摘要 V*X6 <} {t<E*5N]a 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 >yr:L{{D}G v?Z30?_&h
cR'l\iv+ i2]7Bf)oV 设计任务 LhN?j5XqM ]_!5g3VQh
z l?Gd4 ,E8:!r)6 纯相位传输的设计 gD}lDK6N [Dr' 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 ?VUU[h8"v5 %b8ig1
_{Q)5ooP - BQoNEh 结构设计 `fTH"l1zn _yH{LUIj 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 8DAHaS; ~
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O;zq(/,-l j) G<PW 使用TEA进行性能评估 }
Xbmb8 4= 7#=F1 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 JXFPN| 3jSt&+
JVfSmxy. S2y_5XJ<D 使用傅里叶模态法进行性能评估 p.wed%O. ~Up5 +7k@ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 %y96]e1 /thFs4
Z hqGUb P 2-^j) 进一步优化–零阶调整 hn`yc7<}(u ,>
Ya%;h2k 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 {lam],#r %#go9H(K
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PiwMl)E|! @\*`rl] VirtualLab Fusion一瞥 Lm-f0\( Rb/|ae XE#a# As{Q9o5j/ VirtualLab Fusion中的工作流程 Ez1-Nx fA$2jbGW • 使用IFTA设计纯相位传输 |*fi!nvk@ •在多运行模式下执行IFTA $)YalZ •设计源于传输的DOE结构 SO|!x}GfI −结构设计[用例] R|m!*B~ •使用采样表面定义光栅 d Dg[ry −使用接口配置光栅结构[用例] wiFA3_\G •参数运行的配置 *P01 yW0 −参数运行文档的使用[用例] MZrLLnl6\ "cZ ){w
9kzJ5} ?]%ZJd VirtualLab Fusion技术 WJlJD*3 1b=,lm
SuR+Vv 9] L4`.HM 文件信息 /Moyn"Kj{ sC'PtFK8z
FfRvi8 >qy$W4 更多阅读 Mdw"^x$7 - Grating Order Analyzer r1&eA% eh - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Qef5eih - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern g#iRkz%l)& - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark h.pVIO` %ONU0xtq k wzj:PS QQ:2987619807 Q<Q?#v7NX
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