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摘要 ey@ccc*sZ9 gY&WH9sp?9 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 g{^~g GIZw/L7Yb
=}g-N)^ QpD-%gN 设计任务 H~
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v`@M IOv UZpQ%~/ 纯相位传输的设计 YeS5%?Fk 7!dj&? 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 R} X"di G=/^]E
)G),iy kvG.?^ v 结构设计 .*edaDi #>M^BOR8 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 2m^qXE$ {T-=&%||
-AN5LE9- d$^@$E2f 使用TEA进行性能评估 a<J<Oc! ^8KxU 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 <JIqkGeAi ,rV;T";r
L*OG2liJ `S+n,,l 使用傅里叶模态法进行性能评估 2@W`OW Njm EU7nS3K)O~ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 EW`3$J; R"j<C13;%
T|,/C|L w75Ro6y 进一步优化–零阶调整 0V?7'Em @?>5~ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 eX1_=?$1P *j(UAVp
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|bu= T VirtualLab Fusion一瞥 B}nT>Ub P_5 G'[ +@c$n`>) m&yHtnt VirtualLab Fusion中的工作流程 5g.w"0MkY MV w.Fl • 使用IFTA设计纯相位传输 BNe>Lk o •在多运行模式下执行IFTA TqSjL{l% •设计源于传输的DOE结构 5`@yX[G −结构设计[用例] /;vHAtt;f •使用采样表面定义光栅 nch#DE82 −使用接口配置光栅结构[用例] 6v74mIRn'? •参数运行的配置 "_2;+@+ −参数运行文档的使用[用例] 65nK1W`i -?l`LbD
rp^:{6O Rn`DUYg VirtualLab Fusion技术 xs
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RP^vx`9h gLY15v4? 文件信息 bc:3 5. ;VE KrVD
=f23lA *CbV/j"P? 更多阅读 <Ql2+ev6 - Grating Order Analyzer rxs:)# ?A - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces R\Ckk;<$ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern u{w,y.l1h - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark #2lvRJB 8C?E1fH\ OG_v[ C5 QQ:2987619807 GZHJ4|DK
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