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摘要 |M0 XLCNd_ Ff%m.A8d,4 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 dax|4R ~d){7OG
(|h<{ -L v>7t J[s 设计任务 ?jz{fU >-EoE;s
g 9>p?XY (Q#ArMMORI 纯相位传输的设计 $(#o)r>_R uh`~K6&*\w 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 1QjrL@$>15 N~Ax78TX
]wdudvS@6r plb'EP>e 结构设计 z&cfFx#h) 75I*&Wl 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 D;d'ss; tAbIT;>
[sACPn$f ~'v^__8 使用TEA进行性能评估 @b-?KH S#2'Jw 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 klv^310 %D e<H*
DCP" tH17Z 使用傅里叶模态法进行性能评估 q'",70"\ Lu1>A {et 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 r$G;^ };29'_.."x
nb(#;3DQ \muyL? 进一步优化–零阶调整 j$N`JiKM %6kD^K- 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 LOR$d^l ;)cSdA9
vE6/B"b $o{f)'.>n 进一步优化–零阶调整 Lr40rLx;u C0KP,JS& 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 tdZ: w eEezd[p
m'z <d &$< S1 VirtualLab Fusion一瞥 z}u tUz!]P2BUO wjKW 3 9QWS[E4 VirtualLab Fusion中的工作流程 > YN<~z- \HTXl] • 使用IFTA设计纯相位传输 GS<,adD •在多运行模式下执行IFTA EQu M|4$ix •设计源于传输的DOE结构 \>:(++g −结构设计[用例] :+!hR4Z~\; •使用采样表面定义光栅 \T<?=A −使用接口配置光栅结构[用例] _oe2pL& •参数运行的配置 SijCE~P −参数运行文档的使用[用例] 7NoB 4`!(M]u=
WElB,a-RCp 0m51nw~B VirtualLab Fusion技术 YI&^j2 M6y:ze
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5* YuLW]Q?v 文件信息 =(.HO:# g%[lUxL
TpZ)v.w~l7 d}ue/hdw 更多阅读 pkBmAJb@ - Grating Order Analyzer ]7c715@ - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ECU:3KH>MF - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern +r4^oT[- - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark /d8PDc " H.!M_aJH b[$l{RQ[? QQ:2987619807 q31swP
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