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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 G_3O]BMKd)  
    DnMwUykF>0  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fo*2:?K&  
    G7` ko1-  
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     zUkgG61  
    建模任务 E:sf{B'&  
    nX6u(U  
    @w#-aGJO  
    概述 d6?j`~[7#-  
    t9kzw*U9  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W7R<%?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k$z_:X  
    (Ft+uuG  
     fn jPSts0  
    _JzEGpeG  
    光线追迹仿真 ITE{@1  
    *KZYv=s,u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?yrX)3hyH  
    •单击go！ =t#llgi~  
    •获得了3D光线追迹结果。 iW]j9}t  
    }W C[$Y_@  
     [64:4/<}  
    '%s.^kn  
    光线追迹仿真 sQ UM~HD\a  
    P%V'4p c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 zsEc(  
    •单击go！ E<{ R.r  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 X:f UI4  
    q~b  &  
     Go`vfm"S  
    )al]*[lY  
    场追迹仿真 y2Q&s 9$Do  
    ,uSMQS-O'4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2@n{yYwy  
    •单击go！ Dzpq_F!;V  
    lK?uXr7^  
    dc+>m,3$  
     ;V:i!u u  
    场追迹仿真（相机探测器） (R[[Z,>w.  
    c?(4t67|  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a5dLQx b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *<$*"p  
    gDQ^)1k  
     6+#Ydii9E  
    j2t7'bO_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） JK7G/]j+Ez  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9@SC}AF.  
    !{+,B5 Hc  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） \0^Kram>  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /7(W?xOe  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer WJ]T\DI  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     : p1u(hflS  
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