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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 (0E U3w?]  
    I9}+(6  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 / R_ u\?k(  
    x.b; +p}=  
    PwW^y#96  
     ,`<^F:xl  
    建模任务 +_qh)HX  
    e'1 ^+*bU  
    8jy-z"jc  
    概述 atY *8I|  
    /Hv* K&}M  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 g1ZV&X=2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 cMDRWh  
    ^^G-kg  
     ?k{|Lk  
    \O kc5;kB2  
    光线追迹仿真 lPY@{1W  
    Zc-#;/b3T  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M^z=1YrMd  
    •单击go！ LZ~2=Y< U(  
    •获得了3D光线追迹结果。 7p)N_cJD  
    `Kh]x9Z  
     =G( *gx  
    $^}[g9]1  
    光线追迹仿真 k}D[Hp:m  
    r4E`'o[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 XwcMt r*  
    •单击go！ 4P|$LkI  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )ZH c$+fU  
    (lb6]MtTHY  
     Sv7 i! j  
    R'zu"I  
    场追迹仿真 'WK;$XQ  
    0Cl,8P  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 cVp[ Z#B  
    •单击go！ 7_DG 5nT  
    e RA7i  
     "Y7+{  
     V1<ow'^i  
    场追迹仿真（相机探测器） 7Rnm%8?T  
    0<g<GQ(E  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4otl_l(`yv  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MY!q%  
    =_[2n?9y  
     BRb\V42i;  
    wf?u (3/%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9 ~~qAoD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5G#$c'A{4  
    Jen%}\  
    id^|\hDR  
     F?z<xL@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .d~\Ysve  
     8lwFAiC8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5SUN.%y  
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