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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 {Z-5  
    R8":1 #&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |mMW"(~  
    ~a/yLI"'g  
    yKDg ~zsh  
     *2;w;(-s  
    建模任务 v,g,c`BjK  
    \?g)jY  
    ^+,mxV'8!  
    概述 eYsO%y\I  
    4I{|M,+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !aLByMA  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;=B&t@  
    M}38uxP  
     ^z0[{1  
    $2;YJjz(  
    光线追迹仿真 j q1qj9KZ  
    &w/aQs~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m#%5H  
    •单击go！ b3Y9  
    •获得了3D光线追迹结果。 Z)6bqU<LQE  
    nwO;>Qr  
     f$(w>B7..  
    7(gQ6?KsZ  
    光线追迹仿真 BT`/O D@  
    $XT&8%|*7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 iW)FjDTP  
    •单击go！ N;Hf7K  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ijyj}gpWha  
    Q#:,s8TW[  
     $9Z8P_^.0(  
    ]IyC  
    场追迹仿真 rl4daV&,U  
    (qB$I\  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 go{'mX)}u  
    •单击go！ hnE@+(d=qJ  
    1s!hl{n<~  
    IybMO5Mwn  
     wXNFL9F8  
    场追迹仿真（相机探测器） <niHJ*  
    &a48DCZ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6PJ0iten  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /!7m@P|&D  
    )5yZSdA  
     aEX+M57k~  
    j g$%WAEb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B8w 0DJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qx`*]lX  
    o{zo-:>Jp  
    WOgbz&S?J  
     6S`eN\s  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :/Sx\Nz78  
     -V4@BKI8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xj%h-@o6  
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