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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 =@V4V} ?  
    )d0&iE`@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *sB=Ys?  
    c3i|q@ k  
    \f0I:%-  
     8~\Fpz|Og  
    建模任务 8r)eiERv  
    C6CX{IA]  
    DQH _@-q  
    概述 u\&oiwSIP  
    $* 8c0.{U  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Af ^6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {Am\%v\  
    Z(*n ZT,  
     a%Cq?HZ7  
    ?GB($D=Y'&  
    光线追迹仿真 (Qq! u  
    M+)%gnq`u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +5? s Yp\  
    •单击go！ [WX+/pm7>  
    •获得了3D光线追迹结果。 6bo,x  
    U|-4*l9Ed  
     0%`\ 8  
    WO^sm Ck  
    光线追迹仿真 VH,k EbJ  
    f+%J=Am  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  6<sB   
    •单击go！ hH )jX`Ta  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 f![x7D$  
    52wq<[#tK  
     ?VS {,"X  
    JR'Q Th:z  
    场追迹仿真 )|uPCZdLZ  
    dUOjPq97  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 eey <:n/Z  
    •单击go！ ?ti7iBz?  
    /M v\~vg$1  
    m$pXe<  
     zrRt0}?xl  
    场追迹仿真（相机探测器） T!(I\wz;Bo  
    /PQg>Pa85  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 91mXvQ:u  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 V4/P  
    7$,["cJX  
     DtXXfp@;  
    w v9s{I{P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h7[VXE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1K0 9iB  
    1fViW^l_  
    7ABHgw~?8r  
     >`'#4!}G5j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） iDp]l u  
     pb_mW;JVu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~k|~Q\   
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    文件信息 ZJ=-cE2n  
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    更多阅读 C.%iQx`   
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer [WY NA-O  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     V<:kS  
    *~prI1e(  
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    QQ：2987619807 zu*0uL  
     
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