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摘要 f2v~: u -B- HZ_ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0}T 56aD=!
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t rU_c2k 建模任务 %+UTs'I z(>:LX"xz  k RSY;V 概述 gI@nE:(m t$R0Upr K •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s= z$;1C •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?,[$8V pK/RkA1
 vSH-hAk A-$ C6q 光线追迹仿真 -Q ];o~ RL/5 o" •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hl DU.k •单击go！ L[Wi[S6=)g •获得了3D光线追迹结果。 y \dx \ >gn@NJ2 N
 <UGM/+aO pNu?DF{
3 光线追迹仿真 2<V` |t#s h •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i"E_nN" V •单击go！ Z hCjY •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Z Ox;]D"s x$S~>H<a
 K;TTGK |47 2X &e 场追迹仿真 = Fq{#s C> x'%vL",% •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :
>$v @d •单击go！ /~?[70B }E 1Eryw~,,9i  +hH7|:J Q
V {}TG] 场追迹仿真（相机探测器） RGY#0 .Z} a"k,x-EL( •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *_ a jb: •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 jd`]]FAww 7EL0!:P p3
 CdtwR0 y e| 2gH 场追迹仿真（电磁场探测器） Y&i&H=U •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NpA%7Q~B$, }UG<_ bE|  fRzJiM{
s:tWEgZk? 场追迹仿真（电磁场探测器） Z_T~2t
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7|M •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /[q_f +bWo{
 =knBwjeD qJXf c||Zg 文件信息 iciRlx.$c t
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