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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 mQ[$U  
    \nl(tU#j  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S$mv(C  
    q}{E![ZTu  
    U&^q#['  
     &W<7!U:2m  
    建模任务 R/hf"E1  
    iU)I"#\l'k  
    ,Z`}!%?  
    概述 \""^'pP@  
    D!j/a!MaKk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Kd\0nf6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PgBEe @.  
    p Cz6[*kC  
     @C;1e7  
    _4S^'FDo  
    光线追迹仿真 q<YM,%mgj  
    A7p4M?09  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -U|c~Cqc  
    •单击go！ C=?S  
    •获得了3D光线追迹结果。 Sn=6[RQ>P  
    ]S2rqKB  
     Y{Z&W9U  
    B,>02EZ  
    光线追迹仿真 'E| %l!xO  
    r%,?uim#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 qGinlE&\  
    •单击go！ #:)'D?,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 EC+t-:a]  
    OSu&vFKz  
     N?\X 2J1  
    )_#V>cvNG  
    场追迹仿真 +B ?qx Q  
    ?ANW I8'_j  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M.}9)ho   
    •单击go！ Jh"[ug  
    15:9JVH3D  
    )nN!% |J  
     4^7 v@3  
    场追迹仿真（相机探测器） Gek?+|m  
    %YG?7PBB  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w2LnY1A  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &V38)83a  
    yF)o_OA[uR  
     n Kkpp-  
    ~Ntk -p  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $|$@?H>K  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +t!]nE #  
    y0%@^^-Ru  
    Mh%{cLM  
     @-@Coy 4Tt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (UkP AE  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *yZ6"  
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    文件信息 H,> }t S  
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    更多阅读 >.<VD7p  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer n_kwtWX(  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     z}vT8qoX  
    f2g tz{r  
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    QQ：2987619807 ()lgd7|+  
     
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