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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 [4Q;(67  
    !BQt+4G7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 '6N)sqTR  
    m6Dm1'+  
    {vu\qXmMv  
     ing'' _  
    建模任务 2Kxb(q"  
    91R# /i  
    a %#UF@ I  
    概述 is;g`m  
    *byUqY3(  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <\229  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !Dd'*ee-;  
    ieyK$q  
     gawY{Jr8I  
    {;$oC4  
    光线追迹仿真 [RF,0>^b  
    PT>b%7Of  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >.<VD7p  
    •单击go！ _c>iux;  
    •获得了3D光线追迹结果。 n_kwtWX(  
    >}SEU-7&\  
     &h:4TaD  
    KhjC'CU,  
    光线追迹仿真 Dk  `&tr  
    ^".OMS"!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8xy8/UBIk0  
    •单击go！ 4Kj.o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 XYU5.  
    * + T(i  
     jKUEs75]  
    ZU 3Psj  
    场追迹仿真 ,{*g Q%7  
    .s{ "NqRA  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7Kw'Y8  
    •单击go！ Nm)3   
    oidZWy  
     +n1!xv]  
     >LBA0ynh {  
    场追迹仿真（相机探测器） qd a 2  
    @.;+WQE  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 x?AG*' h&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YZ~MByu  
    M`Y^hDl6  
     )^:H{1'  
    5]O{tSj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ::Zo` vP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~[CFs'`(2  
    z:Am1B  
    \%7*@&  
     e!VtDJDS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [CQR  
     ysnW3q!@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JBY.er`6C  
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    文件信息 9=>q0D2  
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    更多阅读 /+*"*Br/  
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    QQ：2987619807 ]N'3jf`W  
     
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