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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 `)xU;-  
    x X=IMM3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 vY TPZ@RL  
    .\hib. n3  
    |] f"j':  
     :[ZC-hc\  
    建模任务 <8xP-(wk;  
    eG2qOq$[  
    k%4A::=  
    概述 f%"_U'  
    Wcay'#K,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s D8xH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {D_4~heF  
    e&]`X HC9  
     b~jvmcr  
    86) 3XE[ 5  
    光线追迹仿真 wW)&Px n  
    2w.9Q (Sn  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'c+qBSDA  
    •单击go！ 5/eS1NJ@  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~IN$hKg^  
    H)}1xQ{3F  
     ch2e#Jf8  
    7{/:,  
    光线追迹仿真 4) I/\  
    VRN9yn2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Wx\"wlJ7.3  
    •单击go！ E0?\DvA  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 uB)6\fkTB  
    ?jM7C}  
     1V9X(uP  
    R`3>0LrC8  
    场追迹仿真 )PZ}^Fa  
    W3-Rs&se  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 06W=(fY  
    •单击go！  ,IvnNnl2  
    JSZ j0_ B  
    `"-!UkD+  
     qYrGe  
    场追迹仿真（相机探测器） ;[\2/$-  
    .j4ziRa-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _"t.1+-K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 BU?MRcHC  
    m ?tnk?oX  
      $.]t1e7s  
    F'_8pD7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c(=O`%B{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D]`B;aE>A*  
    HG 6{`i  
    u2\qg;dP  
     |JQP7z6j]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $5AtI$TV_!  
     nR'EuI~(}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,* vnt6C*  
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    更多阅读 l6U'  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer snNg:rT L  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     s(9rBDoY(8  
    @Lv_\^2/}  
     +VCo=oA  
    QQ：2987619807 $i] M6<Vxn  
     
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