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摘要 4)E$. F^ 1R7w
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )PjU=@$lI
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 J42/S [Rt
FZ=xy[q]~ 建模任务 9qX)FB@'i; ({ WV<T&  T 8 >aU 概述 LHd9q ^D F4 =V* /7 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U'0e< IcY •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .._UI2MA sc$I,|d2
 ug S I)q"M]~ 光线追迹仿真 ;>< m[ l6 j},3@TFh •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 QEc4l[^{.B •单击go！ jAy 0k
•获得了3D光线追迹结果。 IRT0
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 80 ck h q:u,)6 光线追迹仿真 J1@skj4#\~ G]O5irsV •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gvoYyO#cm •单击go！ (W+aeB0 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 QfRo`l/V9 y1 a1UiHGP
 |H>;a@2d Nf)$K'/ 场追迹仿真 )F,z pGG (ty&$ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `j!XWh*$ •单击go！ /n1L},67h hr3<vWAD  7R$O ~R3p
CI^s~M > 场追迹仿真（相机探测器） Ih)4.lLcKn 5K w?# •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |G/W S0 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1h?QEZ,6a ]D[\l$(
 ~,.'#=V in `| .# 场追迹仿真（电磁场探测器） r0*Y~
KHw •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 USZBk0$ >35W{ d  JJy.)-R
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场追迹仿真（电磁场探测器） __}ut+H^5p
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