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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ]@ruizb8  
    |$\K/]q -  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5n?P}kca)  
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     x=cucZ  
    建模任务 <|l}@\iRX  
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    概述 # >k|^*\  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -6+7&.A+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &{e ]S!D  
    TVNgj.`+u!  
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    WkXgz6 P  
    光线追迹仿真 Po58@g  
    MsXw 8D  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0!,uo\`  
    •单击go！ ~Ykn|$_"I  
    •获得了3D光线追迹结果。 kqCsEtm]  
    %M`48TW)  
     E !ndXz 59  
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    光线追迹仿真 hdDT'+  
    " AUSgVE+h  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `h@fW- r  
    •单击go！ @Fc:9a@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ": vGs_$  
    4|K\pCw  
     g4A{RI  
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    场追迹仿真 %)7t2D  
    Aax;0qGbH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kBZ1)?   
    •单击go！ bY#BK_8 :  
    BP9#}{kE  
    ir<e^a  
     Os<E7l zqO  
    场追迹仿真（相机探测器） >[Vc$[62  
    _Gq6xv\b1  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Kn:Ml4[;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8</wQ6&|  
    -Fd&rq:GB(  
     +4-T_m/W/  
    |^l_F1+w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mcQL>7ts  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l(NQk> w  
    AY5iTbL1  
    u79- B-YW^  
     e4` L8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3'.@aMA@  
     J- S.m(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1<G+KC[F  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer @F 5Af/  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     zzZ EX  
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    QQ：2987619807 ^;_~ mq.  
     
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