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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ZpwFC7LW  
    cA90FqUH  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2UBAk')O}  
    (;N#Gqb6l  
    1l.HQ IS  
     ++|e z{  
    建模任务 >G vd?r  
    |k: FNu]C  
    b: I0Zv6  
    概述 P;IM -]  
    !H9zd\wc  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 IY@N  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [|C  
    &5%~Qw..  
     1CUI6@Cz)  
    >5t]Zlb`  
    光线追迹仿真 5E${  
    a{.-qp  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 , LqfwA|  
    •单击go！ ABq#I'H#@2  
    •获得了3D光线追迹结果。 @[TSJi  
    LS<*5 HWX  
     GCxmqoQ  
    q9Lq+4\  
    光线追迹仿真 ]-OF3+l4  
    <^e  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QC1\Sn/  
    •单击go！ l% {<+N  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UQBc$`v  
    mU>lm7'  
     %)o;2&aD  
    * YLp C^&  
    场追迹仿真 fDChq[LAn  
    N1l^%Yf J  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 hz-^9U  
    •单击go！ LiEDTXRz  
    A%EGu4  
    =o[H2o y  
     XU`vs`/   
    场追迹仿真（相机探测器） J c:j7}OOV  
    uLt31G()  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'pT8S  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 k !g%vx  
    2:1 kSR^Ky  
     6 _#CvQ  
    e8)8QmB{o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @CA{uP;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #\6k_toZ  
    `bNLmTS  
    Gr~J-#a3~D  
     yDi'@Z9R?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F^!_!V B  
     E$4Ik.k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lt{"N'Gw6  
    v;Rm42k  
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    文件信息 9lqD~H.  
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    更多阅读 /,+&O#SX  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 0He^r &c3  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     &[[Hfs2:-]  
    W'5c%SI  
     O?Qi  
    QQ：2987619807 !PEP`wEKdp  
     
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