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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 )/Y~6A9>  
    j$P I,`  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /~hbOs/ L  
    ]Z@k|Nw  
    rg)h 5G  
     PrnrXl S  
    建模任务 ,U=E[X=H  
    xs1bxJ_R  
    2ksA.,UB^9  
    概述 j jY{Uq  
    &oN/_7y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'p)QyL`d  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~ x`7)3  
    -Bv 12ymLG  
     d]7*mzw^j  
    el*9 Ih  
    光线追迹仿真 Czu1)y  
    R}k69-1vL  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =J3`@9;  
    •单击go！ P9yw&A  
    •获得了3D光线追迹结果。 qJ Gm8^b-  
    .<w)Bmh  
     dXZP[K#  
    cjY@Ot*i$  
    光线追迹仿真 )%#?3X^sI  
    ;&mxqY8`'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O5MDGg   
    •单击go！ j+0.= #{??  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %UG/ak%z  
    yBe(^ n  
     &;U|7l~vl  
    ?`i|" y #  
    场追迹仿真 2Iz fP;V?  
    R0IF'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,;3:pr  
    •单击go！ Rp4FXR jC  
    ,\>g  
    p">WK<N  
      2}!R T  
    场追迹仿真（相机探测器） L9J;8+ge  
    enPYj.*/0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %mmxA6I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J/[7d?hI/  
    hg&u0AQ2  
     l#ygb|=x  
    k(9s+0qe  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >3$uu+p1F  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $w`veP  
    P2QRvn6v  
    S5/p=H:  
     H<z30r/-w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Gl"wEL*  
     QRiF!D)Nk  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q'C 4pn@  
    !p"Kd ~  
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    文件信息 2_I+mQ  
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    更多阅读 > XZg@?Iw  
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    QQ：2987619807 "V:XhBG?  
     
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