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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 uTrGb:^  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7,9zj1<  
    ol4!#4Y&{  
    IP 1{gMG  
     R&R{I/;i*.  
    建模任务 G!ryW4  
    CBx5:}t  
    UB;~Rf(.  
    概述 `p^xdj}  
    9VTE?,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 oP<E)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v[ y|E;B  
    g5&,l  
     f=MR.\  
    Y2p~chx9  
    光线追迹仿真 MdNV3:[\  
    BtWm ZaKi  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kObgoMT<[  
    •单击go！ Vuo 8[h>  
    •获得了3D光线追迹结果。 L@5g#mSl  
    PmE2T\{s!  
     m4T` Tg#P  
    !}uev  
    光线追迹仿真 myY@Wp  
    Uw_z9ZL  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .mS'c#~5Y  
    •单击go！ gI~jf- w  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Rh#TR"  
    n1)m(,{  
     ?r6uEZ  
    Os7 3u#!'  
    场追迹仿真 rU1{a" {  
    ]+0I8eerd  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  TBqJ.a  
    •单击go！ cvf#^Cu   
    Bx&wS|-)D  
    {YgB?kt5  
     9Lxj ]W2^  
    场追迹仿真（相机探测器） x-{awP  
    >;@hA*<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (PCv4:`g  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^t\AB)(8  
    nK9A=H'Hc  
     S}*%l)vfR  
    #G ZGk?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W|kKH5E&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NLxsxomj  
    `#~HCl  
    wMB<^zZmv  
     LA^H213N|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k/#& ]8(  
     ~FV Z0%+,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bP 2IX  
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    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     Ot]PH[+  
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    QQ：2987619807 F+S;u=CKx  
     
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