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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 8vqx}2  
    )lZoXt_3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Zk] /m  
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    [nASMKK0  
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    建模任务 (L<q Jd1Q  
    pf$gvL  
    #IR,KX3]A  
    概述 iY*fp=c9  
    p|+TgOYOc  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Jo''yrJpB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8I[=iU7]l  
    oJ?,X^~_  
     U'aJCM  
    es^@C9qt  
    光线追迹仿真 jS ?#c+9  
    w ZfY~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 rS8}(lf  
    •单击go！ ,@kLH"a0  
    •获得了3D光线追迹结果。 $p|Im,  
    s}F.D^^G  
     =m;,?("7t3  
    <?>tjCg'  
    光线追迹仿真 ;ObrBN,Fu  
    "H#pN;)+   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uJ`:@Z^J  
    •单击go！ :s*t\09V7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2m^qXE$  
    6WX?Xc]$3  
     -AN5LE9-  
    d$^ @$E2f  
    场追迹仿真 -tIye{  
    ^8KxU  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <JIqkGeAi  
    •单击go！ I?RUVs  
    d uP0US  
    ,BFw-A  
     =QK ucLo  
    场追迹仿真（相机探测器） w3;{z ,,T  
    .k$Yleg  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 NxSSRv^rx  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y-lwS-Ii  
    #jJ0Mxg  
     EU Z7?4o  
    jx{ fel  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $_3 )m  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :k-@w5(  
    ;d<O/y,:4  
    W[R`],x`  
     wrc1N?[bn  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &@FufpPw/  
     z%BX^b$Hj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Jd~Mq9(  
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    文件信息 5g.w"0MkY  
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     Xvk+1:D  
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    QQ：2987619807 QeN7~ J  
     
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