切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1378阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6613
    光币
    27214
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 w6s[|i)&  
    +b-ON@9]J`  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P{9:XSa%  
    <}J !_$A  
    'V7LL1K^>  
     -i8KJzPL f  
    建模任务 #zl1#TC{(  
    FY'0?CT$  
    KdCrI@^  
    概述 K[y")ooE<j  
    B!/kC)bF:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  tA#$q;S  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8lV:-"+5  
    #tR:W?!  
     Rv&"h_"t  
    bJ_rU35s>  
    光线追迹仿真 NwF"Zh5eMW  
    nNCR5&,q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |Ml~Pmpp  
    •单击go！ Y_Gd_+oJ  
    •获得了3D光线追迹结果。 y[XD=j  
    WPRk>j  
     b23A&1X  
     NAD^10  
    光线追迹仿真 BsFO]F5mmX  
     zjUQ]  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 t+KW=eW  
    •单击go！ z[f]mU  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4<($ZN8  
    9&* 7+!  
     Sl8+A+  
     ]ltCJq  
    场追迹仿真 :Vxt2@p{  
    hA ){>B<;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )3CM9P'0  
    •单击go！ E.*hY+kGZ  
    SPV+ O{  
    6vK`J"d{~D  
     c$  /.Xp  
    场追迹仿真（相机探测器） Gt*<Awn8  
    %$ya>0?mq  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1e[?}q]*  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {LiJ=Ebt  
    1#x5 o2n  
     Hpix:To  
    9\Gk)0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _9=87u0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (LK@w9)i;  
    (/uN+   
    bR7tmJ[)Z  
     _qE9]mU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d[?RL&hJO  
     WuE]pm]c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 uM$b/3%s  
    1#N`elm  
     8d*S9p,/  
    m u9,vH  
    文件信息 <*J"6x  
     C@*x  
     8(n>99 VVK  
    Ei:m@}g  
    更多阅读 sFZdj0tQ4  
    C5(XZscq  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer #Tc`W_-  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     Y"t|0dO%b  
    |\Gkhi>;  
     B4un6-<i  
    QQ：2987619807 t? &;   
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表