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摘要 O)y|G%O gnjh=anVX1 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 J1@X6U!{ J#h2~Hz!
Aofk< O!M y0!-].5UH 建模任务 $#3O:aW [{]/9E/& kD&%
7Vz 概述 a$0,T_wD F't4Q •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BHoy:Tp •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Gk<M@d^hQ Y?ADM(j
x*]&Ca0+ z+ch-L^K4 光线追迹仿真 [1+ o c1!0Z28 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `w&Y[8+E •单击go! ^|u7+b'|t •获得了3D光线追迹结果。 05
P#gs`< Yp*Dd}n`
:{:R5d(_I *P\$<4l 光线追迹仿真 ,8=`Y9# ]!@z3Hv3 •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 criQa<N" •单击go! W9i}w& •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 DGR[2C)@N xEW>7}+\
#%Z 0! ZGILV 场追迹仿真 (T290a9y> I},]Y~Y3 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9'1XZpM1 •单击go! vBFMne1h gLm ]* _/FpmnaY .<#oLM^
场追迹仿真(相机探测器) Ptt 47S1mxur •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 A_h|f5
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ;kW+ rM?O 2n
`S`,H 8C,}nh 场追迹仿真(电磁场探测器) mP!=&u fcU •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8i
epG 8iv0&91Z eo#2n8I>=1 XZh1/b^DMN 场追迹仿真(电磁场探测器) /Bt+Ov3k FfeX;pi •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ch] `@(l (]_smsok
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