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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ?}'N_n ys  
    5/B#)gm  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {ExII<=6  
    t_jyyHxoZ:  
    Hp btj  
     [D3+cDph  
    建模任务 c ]>DI&$;J  
    >u=%Lz"J  
    [ rQMD^:M$  
    概述 #^|| ]g/N  
    WD15pq l  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )|y#OZHR  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 CifA,[l34  
    2E^"r jLm  
     fL!V$]HNt  
    O( VxMO  
    光线追迹仿真 :KEq<fEI  
    9s! 2 wwh  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `6&`wKz  
    •单击go！ b,#`n  
    •获得了3D光线追迹结果。 8h2D+1,PZC  
    vqq6B/r@Fu  
     WgE@89  
    807al^s x  
    光线追迹仿真 sffhPX\I  
    B@ -|b  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?4^} ;wDb2  
    •单击go！ N99[.mErU  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p-.Ri^p   
    4~!Eje!  
     {'NBp0i  
    mge#YV::  
    场追迹仿真 ~?gzq~~t  
    E W`W~h[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *oCxof9JA  
    •单击go！ P{?;T5ap6  
    d$w(-tV42  
    ;;:">@5  
     Gb;99mE  
    场追迹仿真（相机探测器） tl|ijR  
    S+r^B?a<oM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ".gNeY6)x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KYp[Gs  
    nE_Cuc>K\  
     Hb+X}7c$  
    u t$c)_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a0PE^U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Oukd_Ryf   
    /0(%(2jIWl  
    _6ZzuVv3/  
     jgG$'|s}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GMl"{ Oxo&  
     }MP>]8Aq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xx_tpC?  
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    文件信息 LT/mb2  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer |d[5l^6  
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