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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 J7Hl\Q[D1  
    lc1(t:"[  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `*cxH..  
    m{cGK`/\  
    CMG&7(MR  
     *:LK8U  
    建模任务 li'YDtMKCY  
    J~ zUp(>K  
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    概述 :W.(S6O(  
    {{D)YldtA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y^;ovH~ ve  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FF(#]vz'  
    r,1!?s^L  
     (pCrmyB  
    RYQR(v  
    光线追迹仿真 M2>Vj/  
    tGh~!|P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 fo#fg8zX%  
    •单击go！ 6azGhxh  
    •获得了3D光线追迹结果。 i$:*Pb3mV  
    c"n\cNP<  
     Fa Qe_;  
    2W96Zju\  
    光线追迹仿真 G )trG9 .a  
    oim9<_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +\c5]`  
    •单击go！ F|o:W75  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +ocol6G7W  
    Yz/md1T$  
     mzaWST]  
    0d"[l@UU0  
    场追迹仿真 nwB_8mN|  
    4n !aW?%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4$iz4U:P  
    •单击go！ LqoB 10Kc\  
    F3v !AvA|  
    B:;pvW]  
     I {S;L  
    场追迹仿真（相机探测器） h5{'Q$Erl  
    <;eW=HT+uq  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?cBwPetp  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hYT0l$Ng  
    fo*2:?K&  
     G7` ko1-  
    [fya)}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6y%qVx#!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bw)/DM]  
    LEbB(x;@  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） d6?j`~[7#-  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W7R<%?  
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    文件信息 _wbF>z  
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