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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ]7h&ZF  
    m"H9C-Y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s x`C<c~u  
    Q? W]g%:)  
    %8S!l;\H5  
     ,h8)5Mj/J  
    建模任务 l~F,i n.  
    %S$P+B?  
    sI9~TZ :  
    概述 ,^AkfOY7"  
    Rjm5{aa-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }KS[(Q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DC[ -<:B  
    =]Qu"nRB  
     ec"L*l"  
    QVzLf+R~  
    光线追迹仿真 96MRnj*Y[  
    G78rpp  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]9;WM.  
    •单击go！ 7/Ve=7]  
    •获得了3D光线追迹结果。 9FJU'$FN  
    pm3?  
     }v=q6C#Q>  
    Q\ro )r  
    光线追迹仿真 \$riwL  
    If]g6 B.=  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /PHktSG  
    •单击go！ (Ozb+W?  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 '3%!Gi!g  
    3&x_%R  
     2\EMtR>.M'  
    d:<{!}BR3  
    场追迹仿真 h'IBVI!P  
    gt}/C4|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;uR8pz e  
    •单击go！ -I\_v*nA  
    s{< rc>  
    3smcCQA%  
     [dOPOA/d  
    场追迹仿真（相机探测器） U/0NN>V  
    P%%Cd  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d~GT w:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {9'"!fH  
    ]yCmGt+b  
     o8Q(,P  
    f[h=>O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "o=h /q5&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gh42qar`  
    d3^LalAp  
    8l;0)`PU  
     0+cRUH9Ew  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ZaXK=%z  
     @: %}clZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "+Xwc+v^  
    |Q.?<T:wt=  
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    文件信息 }Ct_i'Ow  
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    更多阅读 9OXrz}8C  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer HT kce,dQ  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     a,lH6lDk  
    t(Iy[-  
      X-~Q  
    QQ：2987619807 w#XE!8`  
     
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