切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1173阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6080
    光币
    24553
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 O)y|G%O  
    gnjh=anVX1  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 J1@X6U!{  
    J#h2~Hz!  
    Aofk<O!M  
    y0!-].5UH  
    建模任务 $#3O:aW  
    [{]/9E /&  
    kD&% 7Vz  
    概述 a$0,T_wD  
    F't4Q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BHoy:Tp  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Gk<M@d^hQ  
    Y?ADM(j  
    x*]&Ca0+  
    z+ch-L^K4  
    光线追迹仿真 [1+ o  
    c1!0Z28  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `w&Y[8+E  
    •单击go! ^|u7+b'|t  
    •获得了3D光线追迹结果。 05 P#gs`<  
    Yp*Dd}n`  
    :{:R5d(_I  
    *P\$<4l  
    光线追迹仿真 ,8=`Y9#  
    ]!@z3Hv3  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 criQa<N"  
    •单击go! W 9i}w&  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 DGR[2C)@N  
    xEW >7}+\  
    #%Z 0!  
    ZGILV  
    场追迹仿真 (T290a9y>  
    I},]Y~Y3  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9'1XZpM1  
    •单击go! vBFMne1h  
    gLm ]*  
    _/FpmnaY  
    .<#oLM^  
    场追迹仿真(相机探测器)  Ptt  
    47S1mxur  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 A_h|f5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ;k W+  
    rM?O2n  
    `S`,H  
    8C,}nh  
    场追迹仿真(电磁场探测器) mP!=&u fcU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8i epG  
    8iv0&91Z  
    eo#2n8I>=1  
    XZh1/b^DMN  
    场追迹仿真(电磁场探测器) /Bt+Ov3k  
    Ff eX;pi  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ch] `@(l  
    (]_smsok  
    "3&bh>#qY  
    L=7Y~aL=  
    文件信息 p`+=) n  
    aXv[~  
    ";kwh8wB  
    [6ycs[{!  
    更多阅读 1 N{unS  
    Z=[qaJ{]  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 8;%F-?  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
     1{fu  
    g-C)y 06  
    "c9T4=]&t  
    QQ:2987619807 ;7:_:o[.  
     
    分享到