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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 f?^xh  
    \4X{\ p<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !VTS $nJ4  
    0A 4|  
    `B 0*/ml  
     uM<+2S  
    建模任务 07Cuoqt2  
    gUtbCqDS  
    #_|^C(]!  
    概述 ?qW|k6{O  
    .7rsbZzs  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 SO<K#HfE$?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 HUI!IOh  
    w%H#>k  
     g*AqFY7|  
    bu5)~|?{t  
    光线追迹仿真 e(5R8ud  
    9h=WWu',  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U}Fk%Jj  
    •单击go！ G ~\$Oq8  
    •获得了3D光线追迹结果。 EwZt/r  
    )pH{b]t  
     w2V E_  
    u)MA#p {  
    光线追迹仿真 @V u[Tg}J  
    lv&wp@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #Og_q$})f  
    •单击go！ ;<rJ,X#  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 M$A!  
    2*FZ@?X@r  
     4D$E  
    \MPy"uC  
    场追迹仿真 w$HC!  
    6>%NL"* ]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #2=30  
    •单击go！ M#|xj <p  
    A 76yz`D  
    r?7 ^@  
     (U<wKk"  
    场追迹仿真（相机探测器） BpE[9N  
    "0mR*{nF  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 D=]P9XDvb.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 pqX=l%{4ES  
    CeemR>\t  
     ~C+T|  
    tO$M[P=b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;pq4El_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8a1{x(\z.  
    ::w%rv  
    J)f?x T*  
     wDzS<mm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @ZZ Lh=  
     -K4RQ{=>UZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mmti3Y  
    ZN/")  
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    更多阅读 0jq#,p=l;  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer J<D =\  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     +`xp+Q  
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    QQ：2987619807 -lHJ\=  
     
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