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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 EfTuHg$pe  
    ;>#YOxPl  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Re`'dde=  
    mW_B|dM"  
    _z`g@[m:t  
     BQ\o?={  
    建模任务 /hx|KC&:e  
    -UJ; =/  
    j?5s/  
    概述 +W{ELdup%q  
    &W'X3!Te  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BQWe8D  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]!v:xjzT  
    t%xD epFQ  
     rD7L==Ld  
    ynWF Y<VX  
    光线追迹仿真 82mKI+9&"  
    @qszwQav$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T B!z:n  
    •单击go！ X>0$zE@0  
    •获得了3D光线追迹结果。 y":Y$v,P  
    !|SVRaS  
     Bu:h_sV D  
    s]D&):  
    光线追迹仿真 ncF|wz  
    :P!"'&gCL  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #osP"~{  
    •单击go！ L?W F[nF R  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^xBF$ua37)  
    YlF<S49loC  
     @Ido6Z7  
    A7|CG[wZ  
    场追迹仿真 @raw8w\Zj+  
    QT!!KTf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $]{20"  
    •单击go！ N-lo[bDJh  
    mX4u#$xs:  
    2;82*0Y%  
     ZSB_OS[N  
    场追迹仿真（相机探测器） \wyn  
    ]8Eci^i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^oL43#Nlo  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 R{GT? wl  
    @L p;p$G`  
     T7wy{;  
    F(yx/W>Br_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） s,tZi6Z=%E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U',.'"m  
    r-r)'AAO  
    $p(,Qz(.8  
     7tEK&+H`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SO~]aFoYt  
     -G!W6$Y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q|!}&=  
    YY&3M  
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    文件信息 Usa  
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     X2 Z E9b  
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    更多阅读 SGZ]_  
    ^KBE2C  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer UL46%MFQ\  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     P ~pC /z  
    T:/68b*H\:  
     v(ATbY75  
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