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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 V`R)#G>IH%  
    f74%YY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AT%* ~tr  
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    建模任务  e8XM=$@  
    PuCwdTan_  
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    概述 ^ Hz  
    KlVi4.]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~{1/*&P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C}(<PNT  
    8m/FKO (r  
     v2M"b?Q  
    |n|U;|'^  
    光线追迹仿真 5eiZs  
    ^Txu ~r0@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {2}tPT[a(  
    •单击go！ #sz]PZ\  
    •获得了3D光线追迹结果。 >0Fxyv8  
    ~8H&m,{j  
     #Dj"W8'zh  
    _KSfP7VU  
    光线追迹仿真 )XmCy"xx  
    xQNw&'|UU  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K;<NBnH  
    •单击go！ pY{; Yn&t  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 PtVo7zO ye  
    N5q}::Odc  
     ou<S)_|Iu  
    }j+~'O4m  
    场追迹仿真 o9KyAP$2  
    Tm%$J  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8N=%X-R%  
    •单击go！ x !#Ma  
    90  
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     ,~?A,9?%:  
    场追迹仿真（相机探测器） w8AJ#9W  
    R4#;<)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $l#v/(uFa  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 & cM u/}  
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     o/tVcv  
    h|J;6Sm@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9nT?|n]>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /~H[= Pf  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） jo 7Hyw!g  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .o-0aBG  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer f Ub1/-}  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     * <B)Z  
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    QQ：2987619807 whV&qe;sw  
     
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