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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 =_L"x~0I-  
    w 7=Y_  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (lEWnf=2h  
    <\Y>y+$3  
    MLa]s* ; d  
     {b]WLBy  
    建模任务 T6AFwo,Q  
    u%h]k ,(E  
    Rn-L:o@?  
    概述 rmWG9&coW  
    G ytI_an8  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Ct #hl8b:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7jEAhi!Cq(  
    iM}cd$r{  
     r1F5&?{q  
    mN ~;MR;  
    光线追迹仿真 L`];i8=I  
    |$6Gp Aq!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]iPTB  
    •单击go！ KDHR} `  
    •获得了3D光线追迹结果。 V&\ZqgDF  
    :Wb+&|dU  
     ]RGun GJ  
    c3K(mM:  
    光线追迹仿真 '4N[bRCn  
    i,b>&V/Y$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G0a UZCw  
    •单击go！ ]+fL6"OD/2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Lqwc:%Y:_  
    &8~U&g6C  
      ) VJ|  
    MPM_/dn-  
    场追迹仿真 }ZR3  
    {?eD7xL:-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9)mJo(  
    •单击go！ (QqKttL:  
    #l{qb]n]  
    VI37  
     2/(gf[elX  
    场追迹仿真（相机探测器） W 4 )^8/  
    =`.9V<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 FnL~8otPF'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 mezP"N=L~  
    vgsu~(L;  
     oh,Nu_!  
    S@T> u,t'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \s+ <w3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^Z2%b>  
    qmJFXnf  
    rS6iZp,  
     a-8~f8na{(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ioh_5 5e  
     kw?RUt0-V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S(/@.gI:f  
    [(UQQa=+  
     .B>|>W O  
    K;S&91V)=  
    文件信息 VZw("a*TB  
    @HaWd 3  
     rZGA9duy  
    !4-NbtT  
    更多阅读 PvKe|In(  
    =d( 6 )  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer e|]g ?!  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     P_Po g^  
    Y$Os&t@bu  
     D`,@EW].  
    QQ：2987619807 g/JAr<  
     
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