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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Px<;-H`  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Q-\: u~  
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    建模任务 8W{R&Z7aL  
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    概述 R8HFyP  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^Oo%`(D?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ` sSI;+  
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    % 74}H8q_z  
    光线追迹仿真 .k}h'nE  
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    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #(OL!B  
    •单击go！ ]c08`  
    •获得了3D光线追迹结果。 bFcI\Q{4  
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    光线追迹仿真 SJ<nAX  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E;yP.<PW  
    •单击go！ )gZ yW  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 uKK+V6}!kj  
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    场追迹仿真 kEi!q  
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    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zhS\|tI  
    •单击go！ F8q|$[nH  
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    场追迹仿真（相机探测器） h DCR>G  
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    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 yN9/'c~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }}<^f M  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） n}EH{k9#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *4]}_ .rG#  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 12.|Ed*72  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `Ps&N^[  
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