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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 sL[&y'+  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y &6vTU  
    tF}Vs}  
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    建模任务 @zSI@Oq_  
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    概述 R2|v[nh  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kC"lO'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -rb]<FrL^  
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     Y]!8Ymuww@  
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    光线追迹仿真 {x$jGiag+8  
    yhhW4rz  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w 4-E@>%  
    •单击go！ zkHwoAD;t8  
    •获得了3D光线追迹结果。 B! $a Y  
    \D}K{P  
     MBXja#(k  
    n#8N{ya5x1  
    光线追迹仿真 Vj(}'h-c\  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G9"2h \  
    •单击go！ a"ZBSg(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Q}.zE+  
    l?F-w;wHN  
     oNH&VHjU  
    hYO UuC  
    场追迹仿真 s4h3mypw  
    K89 AZxH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m/vwM"  
    •单击go！ [+dOgyK  
    `3GC}u>}  
     o0t/  
     X-[_g!pV  
    场追迹仿真（相机探测器） T"ors]eI  
    S^ ij%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `hJSo?G>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $C@v  
    H%2Y8}  
     CDOqdBQ  
    nW?DlECo?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2\ 3}y(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wa/ :JE  
    n u|paA  
    ETQ.A< v  
     l'h[wwEXm{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :"BZK5{8  
     (5AgI7I,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U)mg]o-VE  
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    QQ：2987619807 QvB]?D#h  
     
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