切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1546阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7040
    光币
    29345
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 4(, .<#  
    $l)RMP}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 MVM Jl">  
    MY{Kq;FvRP  
    =X(N+(1~  
     w5q6c%VZ  
    建模任务 =9,mt K~  
    Q:) 4  
    (f"Qz~R|6_  
    概述 =0&XdxX  
    ecm+33C  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T.De1 Q|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hcU^!mp  
    V@+sNM  
     oBmv^=cH  
    +;!^aNJ,  
    光线追迹仿真 ~~Cd9Hzi  
    lLVD`)  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zk }SEt-  
    •单击go！ 7/&taw%i  
    •获得了3D光线追迹结果。 &pl)E$Y  
    ]l }v  
     L]=mQo  
    )%/ Ni^  
    光线追迹仿真 j^/<:e c.  
    Wv3p!zW3I  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [*K9V/  
    •单击go！ n{|j#j  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {<IHiB35q  
    H^*[TX=#[  
     bPV}T`  
    s4 , `  
    场追迹仿真 ZLaht(`+  
     Dt5AG  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;t N@  
    •单击go！ Lniz>gSc  
    WjVm{7?{  
    M+-odLltw  
     JWu0VLo  
    场追迹仿真（相机探测器） Hj-n 'XZ  
    PtPx(R3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {2xc/   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [C ezz5  
    g:^Hex?Yfd  
     E08!a  
    Mj0jpP<uf  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r"L:Mu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cgcU2N6y;  
    sNG 7fi.|  
    {o'(_.{  
     JWM4S4yZHR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (<`> B  
     UM1h[#?&V)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0kp{`3ce  
    ZDK+>^A)  
     $W;r S7b  
    gT fA]  
    文件信息 yqb$,$  
    Nc EPPl 0I  
     2zsDb'r  
    x;JC{d#  
    更多阅读 w$qdV,s 7  
    Fyz1LOH[X  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 'eQ*?a43  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     !':y8(Ou  
    ^6UE/4x!y  
     d<_IC7$u>  
    QQ：2987619807 R-Tf9?)  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表