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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 *C tsFS~  
    77*v-8c  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,K`E&hS  
    fc["  
    KC#kss  
     cYE./1D a  
    建模任务 )Fw @afE~  
    5XhK#X%:A  
    {c&qB`y<.  
    概述 #IH<HL)t%e  
    ~r{\WZ.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d%S=$}o  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z%++\.g_  
    7AS.)Q#=x  
     X v`2hf  
    >SY 2LmV'a  
    光线追迹仿真 L?AM&w-cg9  
    tCd{G c  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \Ac}R'  
    •单击go！ Fc34Y0_A  
    •获得了3D光线追迹结果。 LuQ"E4;nY%  
    0\8*S3,q  
     uEc0/ a :.  
    x e"4u JO  
    光线追迹仿真 |G|*  
    }wa}hIqx  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tjBh$)  
    •单击go！ 9;>@"e21R  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y|&.v <  
    YlZYS'_  
     U)O?| VN^o  
    yEMX`  
    场追迹仿真 !$%/ rQ9  
    JL}hOBqfI  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *u:;:W&5y  
    •单击go！ J3]qg.B%z  
    .( TQ5/ ~  
    fxLE]VJQ  
     EqNz L*E  
    场追迹仿真（相机探测器） ~`nm<   
    -6hu31W  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BK`Q)[  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "ZA$"^  
    ,(;p(#F>  
     !mpMa]G3  
    JLFFh!J  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j?d;xj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 knNhN=hG+  
    97:t29N  
    }mtC6G41Q  
     2XETQ;9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mG}^'?^K  
     uMiD*6,$<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \Y>#^b?  
    oP43NN~  
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    K4h-4Qbn  
    文件信息 z$I[kR%I{  
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     q:EzKrE  
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