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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 0ft81RK  
    e{EKM4  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Q'5]E{1<'n  
    lD)ZMaaS3  
    K~$A2b95  
      Gf_Je   
    建模任务 @{P<!x <Q  
    io%WV%1_  
    X [IVK~D}z  
    概述 [1nfSW  
     `fMdO  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i=T!4'Zu  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [U'I3x,  
    `yJ3"{uO  
     2n+tc  
    Of0(.-Q w  
    光线追迹仿真 )-VpDW!%_  
    %;/?DQU  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 r&+8\/{  
    •单击go！ sB`.G  
    •获得了3D光线追迹结果。 o1lhVM`15  
    ~+|Vzm|S}  
     w_qX~d/  
    0"}qND  
    光线追迹仿真 ZZq]I  
    7" Qj(N  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #djby}hi  
    •单击go！ n x4:n@J  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  B0 E`C  
    $-Iui0h  
     L7\V^f%yCm  
    3D 4-Wo4  
    场追迹仿真 M5 \flE2  
    jKr\mb  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 W%@r   
    •单击go！ v}\4/u  
    Xna58KF/  
    _cvA1Q"  
     @n,V2`"  
    场追迹仿真（相机探测器） w3Lr~_j  
    &_cH9zw@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .>#X*u  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sg`   
    V#X#rDfJZ  
     MHj RPh  
    #{_iNra9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Mc,3j~i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U}T{r%9  
    Upw`|$1S  
    f8e :J#jbS  
     a\-AGG{2/X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j%+>y;).  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .jUM'; l  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer n g%~mt  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     v}LI-~M>U  
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