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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 v,@E}F~-f1  
    2tlO"c:_/  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d<)s@Ntgm  
    w-8)YJ Y  
    K-ju,4A  
     pIrv$^  
    建模任务 "Vq@bNtu+  
    N)Qlkz$X  
    lP-kZA!  
    概述 ~ |J*E38  
    GZ}*r{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?\l!]vu*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =54Vs8.  
    Ty(yh(oYF`  
     {m>~`   
    re2Fv:4{  
    光线追迹仿真 +EQpD.  
    fjF!>Dy  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Rqt[D @;m  
    •单击go！ >zN" z)  
    •获得了3D光线追迹结果。 kz3?j<  
    D'Jm!Ap  
     [Ja(ArO3|[  
    m.|qVN  
    光线追迹仿真 Bl:{p>-q  
    Kn3YI9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fB@K'JQG  
    •单击go！ P((S2"D<4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 KLj4 LOs  
    GC,vQ\  
      [ ((h<e  
    3m?@7F  
    场追迹仿真 1 yxZ  
    xop-f#U*  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?nj"Ptzs  
    •单击go！ ^/ULh,w!fP  
    YY1{v?[  
    w+URCj  
     r|u6OF>  
    场追迹仿真（相机探测器） |SwZi'p  
    !- Cs?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $ l0eI  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5(mCBH  
    mdmZ1:PBM  
     401/33yBJ  
    Ncs4<"{$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） EIy]qAE:f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QE`:jxyad  
    ui0J}DM  
    d&$.jk8 2  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） &mO/u= u  
     \.XT:B_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QSl:=Q'  
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    更多阅读 Lv`8jSt\  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer %nG~u,_2f  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     7>c 0V&  
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    QQ：2987619807 7><* 9iOW  
     
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