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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 <VPtbM@(m  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O;tn5  
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    建模任务 N/p_6GYMa  
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    概述 fA5# 2P{  
    !<'R%<E3 Q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Su~`jRN $  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'ZZ/:MvQa  
    W[ DB !ue  
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    光线追迹仿真 m-]"I8 [  
    2Ev,dWV  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 d?qz7#kc  
    •单击go！ !Ai;S  
    •获得了3D光线追迹结果。 I-I5^s  
    wz57.e!Me=  
     TY}?>t+  
    CJ>=odK[  
    光线追迹仿真 @(L|  
    O5w\oDhMb  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E&AR=yqk  
    •单击go！ 'AU!xG6OQ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'tj4;+xf^  
    oc3/ IWII  
     *BV .zbGm  
    )sr]}S0  
    场追迹仿真 -_dgd:or  
    el<nY"c  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sQ$FtKm6  
    •单击go！ s&l[GKR  
    3h>Ji1vV  
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    场追迹仿真（相机探测器） 'AoH2 |  
    t&0p@xLQ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &+sN= J.x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9cQSS'`F  
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    HD>{UU?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _<8y^ymo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 okW3V}/x/z  
    >_".  
    YZ}gZQ.A0  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） FWj~bn  
     ?!ig/ufZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F&\o1g-L  
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    文件信息 oj/tim  
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