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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 JR/:XYS+  
    p/jC}[$v  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l);M(<  
    ;Awt:jF  
    : vN'eL|#  
     p!5oz2RK  
    建模任务 0#}Ed Q  
    !#0Lo->OO  
    5S4kn.3  
    概述 PCzC8~t  
    9\9:)q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 nNNs3h(Ss  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B"rV-,n{  
    G gmv(!  
     k}T#-Gb  
    0k"n;:KM8  
    光线追迹仿真 KF^5 C  
    7x8/Vz@\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !1 :%!7  
    •单击go！ +3]1AJa  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,CiN@T \&  
    m\QUt ;  
     8Jnb/A}  
    x6Q,$B  
    光线追迹仿真 &'{6_-kh  
    ;T1OXuQ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }7p`8?  
    •单击go！ ktlI(#\%  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 o6LeC*  
    UIS\t^pJD  
     ]PWK^-4P  
    F+yu[Dh:  
    场追迹仿真 V$U#'G>m  
    D@9adwQb  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3[mVPV  
    •单击go！ fBtTJ+51}  
    W&E?#=*X  
    m-V_J`9"  
     S]_iobWK  
    场追迹仿真（相机探测器） OV<'v%_&  
    M<h2+0(il  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a3t[Tk;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;2Aqztp  
    [D/q  
     ;+:C  
    sfb)iH|sW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Zb> UY8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4%k{vo5i  
    #0OW0:Q  
    tf1iRXf8  
     a=m4)tjk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 44e:K5;]7  
     hnOo T? V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b;kgP`%%  
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    文件信息 Y.>F fL  
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    更多阅读 l Vb{bO9-O  
    VsIDd}~C%  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer V{qpha4'P  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     -jXO9Q  
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    QQ：2987619807 3^!Y9$y1  
     
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